检索结果-内蒙古大学图书馆

现代物理知识 2014年第6期26卷 42-55页

作者：鲍海飞中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

一、前言2014年10月7日,瑞典皇家科学院将诺贝尔物理奖授予了日本科学家赤崎勇(Isamu Akasaki),天野浩(Hiroshi Amano)和中村修二(Shuji Nakamura),表彰他们成功研制出一种有效的、环境友好的光源——蓝光发光二极管(LED,light-emitting... 详细信息

一、前言2014年10月7日,瑞典皇家科学院将诺贝尔物理奖授予了日本科学家赤崎勇(Isamu Akasaki),天野浩(Hiroshi Amano)和中村修二(Shuji Nakamura),表彰他们成功研制出一种有效的、环境友好的光源——蓝光发光二极管(LED,light-emitting diode)。这是继热辐射型白炽灯、充氩、汞的荧光放电灯和金属卤化物灯等类型后的新型固体光源,是一次继爱迪生发明的灯泡之后,在凝聚态固体物理上一次划时代的光革命。就如同人类从未停止对火,对电,到对光的追求、应用和研究一样,人类始终对

关键词：发光效率 LED 多量子阱结构蓝光二极管蓝宝石衬底薄膜质量 MOCVD

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硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作

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磁性材料及器件 2014年第2期45卷 23-27页

作者：刘文俊王敏昌秦嵩颜培力宓斌伟张颖张铁军焦继伟中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039 总参陆航部驻上海地区军事代表室上海200233

设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振... 详细信息

设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振动模态,远少于传统电磁式微扬声器使用的聚合物薄膜振动模态数,减少了尖声信号出现,提高了声音的质量。悬臂梁结构可以提供较大的振动幅度以及很好的振动线性度,从而获得更高的声压。扬声器结构硅基薄膜直径1mm,厚度25μm,悬臂梁宽度20μm,厚度25μm,具有音质好、声压大的特点。

关键词：微扬声器硅基薄膜结构设计

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利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管

利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：梁晨周玉修王文荣王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文介绍了一种利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管的方法.自对准掩膜版由MEMS工艺制成.利用此硬掩膜版,可以避免在场效应管电极制备过程中的光刻,从而减小光刻胶对石墨烯的污染.测试表明,器件栅压对石墨烯电学性能有调制作用,器件... 详细信息

本文介绍了一种利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管的方法.自对准掩膜版由MEMS工艺制成.利用此硬掩膜版,可以避免在场效应管电极制备过程中的光刻,从而减小光刻胶对石墨烯的污染.测试表明,器件栅压对石墨烯电学性能有调制作用,器件中石墨烯呈现p型掺杂,迁移率为261 cm2/V*s.此器件制备方法工艺简单,成本低廉,有利于将来石墨烯电子器件的大规模应用.

关键词：场效应管石墨烯金属沉积工艺自对准硬掩膜版

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CMOS兼容硅纳米线阵列制备及其光电特性研究

CMOS兼容硅纳米线阵列制备及其光电特性研究

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：高安然戴鹏飞鲁娜王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050

文中基于各向异性湿法腐蚀技术的硅纳米线加工技术,采用传统的光刻、刻蚀和沉积技术,利用Si(111)面的自停止腐蚀和硅纳米线的自限制氧化特性,成功地实现了硅纳米线的制造.该方法工艺简单,可控性强,特别适合批量制造的需要.制造的纳米结... 详细信息

文中基于各向异性湿法腐蚀技术的硅纳米线加工技术,采用传统的光刻、刻蚀和沉积技术,利用Si(111)面的自停止腐蚀和硅纳米线的自限制氧化特性,成功地实现了硅纳米线的制造.该方法工艺简单,可控性强,特别适合批量制造的需要.制造的纳米结构尺度均一,工艺重复性好,具有优异的调制特性,易于集成和制作硅纳米器件.在此基础上,研究了硅纳米线的光电响应特性,响应度与加载电压的关系表明,随源漏电压的增大,器件的响应度逐渐减小,当栅极偏压小于10V时,电流响应度近似于线性增长,而偏压高于10V时,响应度趋于饱和.

关键词：半导体材料硅纳米线制备工艺光电响应特性

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单晶硅杨氏模量的温度特性

单晶硅杨氏模量的温度特性

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：姚邵康徐德辉蒋万里熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050 中国科学院大学北京 10049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050

文中基于杨氏模量随温度的变化是源于晶格热膨胀的机理,并结合描述晶格热膨胀与定容比热关系的Grüneisen关系式,本论文理论推导了单晶硅杨氏模量随温度变化的表达式.通过理论模型计算了单晶硅沿、、晶向的杨氏模量在0K～1300K温度... 详细信息

文中基于杨氏模量随温度的变化是源于晶格热膨胀的机理,并结合描述晶格热膨胀与定容比热关系的Grüneisen关系式,本论文理论推导了单晶硅杨氏模量随温度变化的表达式.通过理论模型计算了单晶硅沿<100>、<110>、<111>晶向的杨氏模量在0K～1300K温度范围内随温度的变化,以及杨氏模量的温度系数.理论计算的杨氏模量和杨氏模量的温度系数与文献报道的实验数据吻合.理论计算结果表明单晶硅杨氏模量在绝对零度附近服从T4定律,在高温下随温度线性减小;尽管单晶硅杨氏模量是各项异性,但是杨氏模量的温度系数是各项同性,杨氏模量温度系数随温度的变化趋势和定容比热一致,在绝对零度附近服从T3定律,在高温下逐渐趋于定值:-78ppm/K.

关键词：半导体材料单晶硅杨氏模量温度特性

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循环肿瘤细胞预测直肠癌新辅助放化疗疗效的临床研究

循环肿瘤细胞预测直肠癌新辅助放化疗疗效的临床研究

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中华医学会第十一次全国放射肿瘤治疗学学术会议

作者：孙文洁贾春平盛伟琪李刚章真复旦大学附属肿瘤医院中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

目的新辅助放化疗后进行根治性手术已经成为局部晚期直肠癌的标准治疗模式,准确预测新辅助放化疗的疗效有助于直肠癌患者个体化治疗的实施.本研究旨在探究循环肿瘤细胞(circulating tumor cells,CTCs)在评估和预测局部晚期直肠癌新辅...

目的新辅助放化疗后进行根治性手术已经成为局部晚期直肠癌的标准治疗模式,准确预测新辅助放化疗的疗效有助于直肠癌患者个体化治疗的实施.本研究旨在探究循环肿瘤细胞(circulating tumor cells,CTCs)在评估和预测局部晚期直肠癌新辅助放化疗疗效方面的价值.

关键词：

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便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

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第十二届全国化学传感器学术会议

作者：葛玉卿许宝建景奉香金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信... 详细信息

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信息快速检测与传感,并基于物联网技术构成致病菌无线监控平台与微系统,使用免疫磁珠分离肠出血性大肠杆菌，经验证使用便携式微生物检测仪检测灵敏度可达到lOCFU/mL，检测时间不超过50min。本传感器和微系统技术在典型食品安全领域获得重要应用，为保证我国食品安全提供先进可靠的传感检测技术。

关键词：微生物检测仪微生物试剂盒制备工艺肠出血性大肠杆菌致病菌信息

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离心式气相扩散型蛋白质结晶芯片

离心式气相扩散型蛋白质结晶芯片

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第九届全国微全分析系统学术会议、第四届全国微纳尺度生物分离分析学术会议、2014国际微流控芯片与微纳尺度生物分离分析学术会议

作者：王丽李刚赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室上海200050

目前蛋白质结晶是限制结构生物学研究的一个重要瓶颈。近年来，为了降低样品消耗、提高结晶筛选的通量和效率，人们将微流控技术引入了蛋白质结晶领域[1]，但是从结晶筛选模式来说，现有的微流控蛋白质结晶芯片大多是围绕液-液扩散结晶... 详细信息

目前蛋白质结晶是限制结构生物学研究的一个重要瓶颈。近年来，为了降低样品消耗、提高结晶筛选的通量和效率，人们将微流控技术引入了蛋白质结晶领域[1]，但是从结晶筛选模式来说，现有的微流控蛋白质结晶芯片大多是围绕液-液扩散结晶方法和批量结晶方法来设计制作的，而目前结构生物学实验室中应用最广泛的气相扩散结晶筛选方法还未在微流控平台上真正实现，因此导致现有的微流控结晶芯片并未得到广泛接纳和应用。针对现有蛋白质结晶芯片的局限，本文研究了一种可实现气相扩散结晶模式的微流控蛋白质结晶芯片。图1显示了该气相扩散型蛋白质结晶芯片的结构示意图。该芯片由含管道结构的疏水性PDMS片和亲水性玻璃基片可逆键合而成，包括24个结晶单元，每个单元均包含结晶剂定容管道、蛋白质定容管道、结晶反应腔、隔离腔及结晶剂储液管道等关键功能结构，其中隔离腔两侧通过连接管道分别与结晶反应腔和结晶剂储液管道相连，使得反应腔中的结晶液和储液管道中的结晶剂处于一个共通的空间，彼此之间可以发生气相物质交换，从而可以实现基于气相扩散模式的结晶实验。该芯片中的流体操控类似于我们以前研制的圆盘式批量型蛋白质结晶芯片，是通过毛细作用和离心力的协同作用来实现的[2]，首先加入进样口的样品和结晶剂在毛细力的作用下自动充满进样管道和定容管道，在定容管道与结晶反应腔结合处，由于毛细微阀的作用，流体自动停止于此处;然后，将完成充样的结晶芯片放置于离心机上，通过旋转离心，使得定容管道中的样品和结晶剂克服毛细微阀的阻力进入结晶反应腔中，实现定量分配和混合。由于连接管道与隔离腔结合处截面很小，所形成的毛细微阀阻力极大，因此可保证离心过程中结晶反应腔中的液体不会因离心力的作用而进入隔离腔中。图2a和图2b分别显示了结晶芯片中毛细自动充样后和离心分配后的照片。为了评估本文所提出的气相扩散型蛋白质结晶芯片的实用性，我们以结晶模式蛋白溶菌酶为实验对象，进行了芯片上的蛋白质结晶实验。实验结果初步证明了该芯片可以实现基于气相扩散结晶模式的蛋白质结晶条件筛选(如图3所示)。本文所提出的气相扩散型蛋白质结晶芯片将结构生物学实验人员最熟悉和偏爱的气相扩散结晶方法移植到微流控芯片上，有可能提高微流控技术在结构生物学实验室的接纳度，充分发挥微流控技术低耗样、高通量、快速的优势，为提高蛋白质结晶效率服务，同时气相扩散型蛋白质结晶芯片也更有利于传统结晶方法积累的大量宝贵经验有效地转移至微流控结晶芯片上，实现传统方法与新技术的充分融合，促进结构生物学的快速发展。

关键词：微流控气相扩散离心式蛋白质结晶

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痕量危险化学品荧光传感材料与器件

痕量危险化学品荧光传感材料与器件

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中国化学会第29届学术年会

作者：贺庆国付艳艳高宜逊陈蕾朱德峰曹慧敏程建功中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室中国科学院大学

近年来,由于众所周知的国家安全和环境问题的需要,危险化学品的痕量探测成为近年来关注的焦点。荧光传感技术尤其是荧光共轭聚合物由于其灵敏度高、选择性好、响应快等受到广泛关注。通过特殊的化学反应、能级调节和形貌控制等合成了系... 详细信息

近年来,由于众所周知的国家安全和环境问题的需要,危险化学品的痕量探测成为近年来关注的焦点。荧光传感技术尤其是荧光共轭聚合物由于其灵敏度高、选择性好、响应快等受到广泛关注。通过特殊的化学反应、能级调节和形貌控制等合成了系列的高性能传感材料。以取向性纳米线阵列为基底,利用倏逝波等效应,实现了弱光激发信号放大,提高了传感性能,制备了高性能荧光传感器件。

关键词：危险化学品痕量检测荧光纳米结构器件

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塑性形变对单晶硅微结构的影响研究

塑性形变对单晶硅微结构的影响研究

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：蒋万里姚邵康徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050 中国科学院大学北京100049

在MEMS器件高温工艺过程中,单晶硅微结构在载荷的作用下会产生塑性变形.本文以MEMS器件中常见的单晶硅圆膜微结构为研究对象,研究其发生塑性变形的临界条件以及发生塑性变形后对微结构应力分布的影响.基于Von Mises屈服准则,微结构发生... 详细信息

在MEMS器件高温工艺过程中,单晶硅微结构在载荷的作用下会产生塑性变形.本文以MEMS器件中常见的单晶硅圆膜微结构为研究对象,研究其发生塑性变形的临界条件以及发生塑性变形后对微结构应力分布的影响.基于Von Mises屈服准则,微结构发生塑性变形的临界条件可以通过比较微结构的最大等效应力和单晶硅的屈服强度来预测.通过ANSYS 有限元软件仿真塑性变形后微结构上的应力分布,得到不同结构尺寸微结构的应力随塑性形变大小的变化.研究表明,Von Mises应力随着塑性形变量的增加而下降,下降速度与微结构尺寸有关,圆膜厚度变化对Von Mises应力影响比圆膜半径更大.塑性形变所导致的应力变化使微结构刚度变大,灵敏度降低,严重影响器件性能.

关键词：半导体材料单晶硅微结构塑性形变

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