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机构

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作者

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语言

  • 1,961 篇 中文
检索条件"机构=上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室"
1961 条 记 录,以下是1581-1590 订阅
排序:
双随机相位加密系统的选择明文攻击
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光学学报 2007年 第5期27卷 824-829页
作者: 位恒政 彭翔 张鹏 刘海涛 封松林 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 深圳大学光电子学研究所教育部光电子器件与系统重点实验室 深圳518060 中国建设银行总行电子银行部 北京100032 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
在光学信息安全领域,双随机相位加密方法最引人注目并得到广泛研究,但由于双随机相位加密系统是基于傅里叶变换的系统,其本质上是一种线性变换系统,明文、密文之间的函数依赖关系比较简单,这就为其安全性留下了很大的隐患。双随机相位... 详细信息
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线粒体DNA突变与相关人类疾病
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遗传 2007年 第11期29卷 1299-1308页
作者: 陈刚 杜卫东 曹慧敏 安徽医科大学省部共建教育部重要遗传病基因资源利用重点实验室 安徽省基因研究重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
在过去的20年里,人们发现线粒体DNA(mitochondrial DNA,mtDNA)突变与多种人类疾病相关,其致病范围从单器官组织损害到多系统受累。文章目的在于探讨mtDNA突变与人类疾病的关系。文章重点论述:(1)线粒体遗传学特征;(2)mtDNA突变与人类遗... 详细信息
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Pyrex玻璃的湿法深刻蚀及表面布线工艺
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功能材料与器件学报 2007年 第6期13卷 566-571页
作者: 许晓昕 高翔 徐静 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 中科院研究生院 北京100039
高表面质量的pyrex玻璃对提高MEMS器件尤其是光学器件性能至关重要。本文采用TiW/Au+AZ4620厚胶作为多层复合刻蚀掩模,重点研究了玻璃湿法深刻蚀工艺中提高表面质量的方法,并分析了钻蚀和表面粗糙度产生的机理。结果表明,采用TiW/Au+AZA... 详细信息
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音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析
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机械工程学报 2007年 第8期43卷 114-118页
作者: 姜涛 王安麟 刘广军 张颖 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达微陀螺批量加工过程带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响。提出的影响因子这一概念... 详细信息
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基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺
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Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1630-1635页
作者: 段飞 焦继伟 王育才 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院
设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏... 详细信息
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基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制
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功能材料与器件学报 2007年 第4期13卷 367-370页
作者: 孙佳胤 陈静 王曦 王建峰 刘卫 朱建军 杨辉 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中科院半导体研究所 北京100083
本文研究了SOI衬底上采用MOCVD方法生长GaN材料的应力释放机制。采用SIMOX工艺制备的具有薄膜顶层硅的SOI材料作为外延生长的衬底材料,采用MOSS在位检测系统以及拉曼测试作为GaN内部应力的表征手段。结果表明,SOI材料对硅基GaN异质外延... 详细信息
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SiO_2/Si上直流磁控反应溅射制备AlN薄膜
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材料科学与工程学报 2007年 第1期25卷 48-51页
作者: 范克彬 沈伟东 王立春 熊斌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
利用正交设计分析了直流磁控溅射中溅射气压,衬底温度和N2浓度对SiO2/Si衬底上制备的AlN薄膜的(002)择优取向的影响水平。利用X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶向和表面形貌进行了分析,得到制备高... 详细信息
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开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
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Journal of Semiconductors 2007年 第8期28卷 1295-1301页
作者: 贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林 中国科学院研究生院 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过Cov... 详细信息
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热敏材料掺磷非晶硅的退火行为
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功能材料与器件学报 2007年 第6期13卷 588-592页
作者: 马铁英 李铁 周萍 刘文平 王跃林 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术国家实验室 中国科学院研究生院 北京100039
本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加... 详细信息
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三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计
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传感技术学报 2007年 第8期20卷 1752-1756页
作者: 董培涛 周伟 李昕欣 张屯国 王跃林 封松林 李圣怡 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻... 详细信息
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