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机构

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作者

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  • 46 篇 车录锋

语言

  • 1,960 篇 中文
检索条件"机构=上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室"
1960 条 记 录,以下是1661-1670 订阅
排序:
Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究
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电源技术 2006年 第4期30卷 261-265,268页
作者: 陈聪 郑丹 张熙贵 杨辉 夏保佳 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 上海应用技术学院化学工程系 上海200235
采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 详细信息
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掩埋隧道结在长波长VCSEL结构中的应用
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Journal of Semiconductors 2006年 第Z1期27卷 309-313页
作者: 刘成 吴惠桢 劳燕锋 黄占超 曹萌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
采用气态源分子束外延技术在InP(100)衬底上分别生长了δ掺杂的p+-AlIn-As-n+-InP和p+-InP-n+-InP两种隧道结结构,用电化学C-V和I-V特性曲线表征了载流子浓度和电学特性,发现p+-AlInAs-n+-InP隧道结性能优于p+-InP-n+-InP隧道结.在InP(1... 详细信息
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曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
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光电工程 2006年 第9期33卷 138-144页
作者: 杨尊先 李昕欣 于映 福州大学电子科学与应用物理系 福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动... 详细信息
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改进型Ge浓缩技术制备SGOI及其机理
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Journal of Semiconductors 2006年 第Z1期27卷 252-256页
作者: 张苗 狄增峰 刘卫丽 骆苏华 宋志棠 朱剑豪 林成鲁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 半导体功能薄膜工程技术研究中心信息功能材料国家重点实验室上海200050 香港城市大学 中国香港
对Ge浓缩技术进行改进,通过对Si/SiGe/Si三明治结构氧化退火,成功制备了Ge含量高达18%的SGOI材料.实验结果表明:顶层的Si可以有效抑制SiGe层氧化初期Ge元素的损失,退火过程有助于Ge元素在SiGe层中的均匀分布,同时也减轻了Ge元素在氧化... 详细信息
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脉冲激光沉积氮化铝薄膜的电学性能研究
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功能材料与器件学报 2006年 第4期12卷 264-268页
作者: 门传玲 林成鲁 上海理工大学动力学院 上海200093 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在硅片上合成了A lN薄膜。X射线衍射(XRD)结果证实制备的A lN薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿晶体结构,并且结晶质量随Si衬底温度的提高而改善。电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)、极化曲线结果表明温生长... 详细信息
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基于连接酶检测反应的并行分型系统检测AGT M235T和ACE I/D基因多态性
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华东理工大学学报(自然科学版) 2006年 第9期32卷 1050-1054页
作者: 张世扬 肖振贤 赵建龙 肖君华 曹慧敏 华东理工大学生物反应器工程国家重点实验室 上海200237 中科院微系统与信息技术研究所 上海200050
基因多态性蕴藏着大量遗传信息,分型技术研究多态性的主要研究手段。本文建立了一个基于连接酶检测反应的基因多态性并行检测系统,该系统应用连接酶检测反应与基因芯片技术。对AGT M 235T 3种基因型和ACE I/D 3种基因型分型,同直接测... 详细信息
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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2156-2159页
作者: 董培涛 李昕欣 陈聪 夏保佳 王跃林 封松林 李圣怡 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073
针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定... 详细信息
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ICP刻蚀对InAsP/InP应变多量子阱的损伤
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Journal of Semiconductors 2006年 第1期27卷 178-182页
作者: 曹萌 吴惠桢 劳燕锋 黄占超 刘成 张军 江山 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 中国科学院研究生院 北京100039 武汉邮电科学研究院
为了研究ICP刻蚀对InAsP/InP应变多量子阱的损伤情况,用气态源分子束外延技术生长了经特殊设计的InAsP/InP应变多量子阱结构.采用感应耦合等离子体对其进行刻蚀.通过测量刻蚀前、后量子阱结构的光致发光谱,确定了刻蚀75nm后样品损伤深... 详细信息
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微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析
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测试技术学报 2006年 第1期20卷 21-26页
作者: 鲍海飞 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成... 详细信息
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