检索结果-内蒙古大学图书馆

Journal of Semiconductors 2005年第2期26卷 373-378页

作者：董林玺车录锋王跃林浙江大学信息学院信电系杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围... 详细信息

分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容极板完全平行时的 0 4 5 ,0 5 6 .对力平衡的双边梳齿电容结构 ,当倾斜角由 0 1°变到 0 15°时 ,可靠工作范围分别变为原来的 0 92 5 .并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理 ,讨论了改进方法 .

关键词：电容式传感器惯性传感器可靠工作范围脉冲信号

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无通孔共面波导到微带的转换效应

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高技术通讯 2005年第3期15卷 17-19页

作者：李凌云孙晓玮毛军发区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室上海交通大学上海200030上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海200050 上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海200050 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室上海交通大学上海200030

分析了无通孔接地板对共面波导(CPW)至微带转换过渡的影响.计算和实验结果显示,如果在缩短其长度的同时加宽其宽度,可以有效地增加转换的带宽.通过等效电路做出了一定的解释,同时提供了简单的无通孔CPW至微带转换设计指导方法.

关键词：微带共面波导通孔 CPW 带宽等效电路接地转换设计显示加宽

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大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性

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Journal of Semiconductors 2005年第1期26卷 148-152页

作者：陈永焦继伟王惠泉金仲和张颖熊斌李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信电系杭州310027

设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低... 详细信息

设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声 .制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性 .结果表明 ,该陀螺的噪声谱密度不超过 6 0 μV/Hz,灵敏度为 10mV/(°·s-1) .

关键词：陀螺微机械加工噪声滑膜阻尼

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相变型半导体存储器研究进展

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物理 2005年第4期34卷 279-286页

作者：刘波宋志棠封松林中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心信息功能材料国家重点实验室上海200050

文章系统地介绍了相变型半导体存储器的原理、相变材料、特点、器件结构设计、研究现状及面临的几个关键器件工艺问题.C-RAM由于具有非易失性、循环寿命长、元件尺寸小、功耗低、可多级存储、高速读取、抗辐照、耐高低温、抗振动、抗电... 详细信息

文章系统地介绍了相变型半导体存储器的原理、相变材料、特点、器件结构设计、研究现状及面临的几个关键器件工艺问题.C-RAM由于具有非易失性、循环寿命长、元件尺寸小、功耗低、可多级存储、高速读取、抗辐照、耐高低温、抗振动、抗电子干扰和制造工艺简单等优点,被认为最有可能取代目前的FLASH、DRAM和SRAM而成为未来半导体存储器主流产品.

关键词：半导体存储器相变型研究进展抗电子干扰 FLASH 相变材料结构设计非易失性工艺问题研究现状循环寿命多级存储耐高低温制造工艺 SRAM DRAM 抗辐照抗振动器件

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聚乙二醇干扰素治疗慢性丙型肝炎疗效及其影响因素

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中华肝脏病杂志 2005年第4期13卷 302-304页

作者：金根娣龚启明毛红菊徐道振陆志檬第二医科大学附属瑞金医院临床病毒研究室上海200025 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室北京地坛医院

丙型肝炎病毒(HCV)是引起输血后肝炎和散发性非甲非乙型肝炎的主要病原,其中20%～30%的患者可进展为肝硬化甚至肝癌,对人类危害极大.10多年来,干扰素α曾被选择性地用于治疗慢性丙型肝炎(简称慢丙肝)[1],它对于改善患者肝功能、预防肝... 详细信息

丙型肝炎病毒(HCV)是引起输血后肝炎和散发性非甲非乙型肝炎的主要病原,其中20%～30%的患者可进展为肝硬化甚至肝癌,对人类危害极大.10多年来,干扰素α曾被选择性地用于治疗慢性丙型肝炎(简称慢丙肝)[1],它对于改善患者肝功能、预防肝纤维化乃至HCV相关的肝癌具有重要意义,然而只有10%～15%的患者能治疗成功.近年,聚乙二醇干扰素(PEG-IFN)已被用于慢性肝病和肝硬化治疗的临床研究,其持久的病毒应答、生物化学和组织学的应答显著高于传统的干扰素[2].研究旨在探讨PEG-IFNα-2a治疗慢丙肝的疗效及其影响因素.

关键词：聚乙二醇干扰素治疗慢性丙型肝炎影响因素

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基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺

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Journal of Semiconductors 2005年第1期26卷 138-142页

作者：王文辉唐衍哲戈肖鸿吴亚明杨建义王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系杭州310027

研究了基于绝缘材料上的硅 (SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺 .利用电感耦合等离子体刻蚀 (ICP)技术 ,在SOI材料上制作了垂直度大于 89°的光滑的光栅槽面 .氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度 (RMS)有 3nm的改... 详细信息

研究了基于绝缘材料上的硅 (SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺 .利用电感耦合等离子体刻蚀 (ICP)技术 ,在SOI材料上制作了垂直度大于 89°的光滑的光栅槽面 .氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度 (RMS)有 3nm的改善 ,达到 7 2 7nm(采样面积 6 2 μm× 2 6 μm) .通过采用集成波导拐弯微镜代替弯曲波导使 1× 4分波器的器件尺寸仅为 2 0mm× 2 5mm .

关键词：刻蚀光栅波导镜电感耦合等离子体刻蚀绝缘材料上的硅分波器

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基因芯片法特异性检测丙型肝炎病毒的基因分型

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中国免疫学杂志 2005年第9期21卷 687-689页

作者：李宁毛红菊祁自柏刘康栋关洪全赵建龙上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯实验室沈阳110032 中国药品生物制品检定所北京100050 辽宁中医学院基础医学院

目的:采用基因芯片特异性检测血清中丙型肝炎病毒(HCV)并进行基因分型。方法:设计HCV基因型特异探针,将其固定在玻璃片上制成微阵列芯片。阳性组血清60份,阴性组血清15份,乙型肝炎血清5份(抗HCV阴性)。经核酸提取,多聚酶链式反应(PCR)扩... 详细信息

目的:采用基因芯片特异性检测血清中丙型肝炎病毒(HCV)并进行基因分型。方法:设计HCV基因型特异探针,将其固定在玻璃片上制成微阵列芯片。阳性组血清60份,阴性组血清15份,乙型肝炎血清5份(抗HCV阴性)。经核酸提取,多聚酶链式反应(PCR)扩增,与芯片上的探针杂交,最后分析结果并与测序分型结果比较。结果:阳性组血清全部检测到HCVRNA,均有基因芯片分型结果。基因芯片分型结果与测序分型结果一致者56例。阴性组血清HCVRNA全部阴性。乙型肝炎血清全部阴性。结论:基因芯片可准确对HCV感染血清做定性检测并同时检测HCV基因型,简便快捷,特异性好,并且不需荧光标记和昂贵的荧光扫描仪器,与乙型肝炎血清无交叉反应。可替代基因测序分型,适于临床大量样品的检测。

关键词：基因芯片丙型肝炎病毒基因型

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人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究

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中国科学（E辑） 2005年第3期35卷 225-241页

作者：王向晖柳襄怀张峰李昌荣俞柳江郑志宏王曦徐静芳陈安清蒋振斌华东师范大学理工学院物理学系中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室上海200050 华东师范大学信息学院电子工程系上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室华东师范大学信息学院电子工程系上海市中山医院心血管病研究所

心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣... 详细信息

心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣膜材料进行表面处理以改善其血液相容性及使用安全性的研究结果.

关键词：人工心脏瓣膜生物材料抗凝血性能安全性等离子体浸没离子注入技术离子束辅助沉积血液相容性

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新型侧壁绝缘体硅微机械工艺

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仪表技术与传感器 2005年第1期 7-9页

作者：程保罗李昕欣王跃林焦继伟车录锋张鲲戈肖鸿宋朝晖浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能... 详细信息

介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能出现的问题、制作流程的摸索等进行了探讨,并且给出使用该工艺实现的一个带自检驱动功能的加速度计。该加速度计采用压阻原理,器件的压阻敏感电阻部分,通过在侧面进行半导体杂质扩散而形成。

关键词：微机电系统体硅工艺侧壁扩散绝缘工艺加速度传感器

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用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制

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真空科学与技术学报 2005年第6期25卷 422-426页

作者：杨尊先于映李昕欣福州大学电子科学与应用物理系福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制... 详细信息

本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制造技术、高电隔离性的加热电阻制作技术及其纳机电探针上加热电阻与压阻传感器集成技术等.室温下,测得该器件加热电阻器的阻值为(500～600) Ω,压阻传感器的阻值为(6～8) KΩ,在2×10-7 N预力作用于针尖处时,悬臂梁上的压阻器件灵敏度(电阻相对变化)达到了3.12×10-4,满足纳米数据坑读出对于灵敏度要求;纳米针尖曲率半径小于40 nm,满足器件高密度存储对于硅尖要求.建立一套适用于该纳机电探针的电热理论模型,利用该模型计算的结果与器件电热测试结果相吻合.

关键词：纳米硅尖制造技术电阻加热器压阻灵敏度高密度存储技术

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