检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2003年第3期9卷 313-318页

作者：王浙辉李铁王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57... 详细信息

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。

关键词：光开关微动作器大位移静电驱动有限元分析设计制作微机械光通信自对准

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一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器

一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：黄树森李昕欣戈肖鸿解健芳陈士清王跃林传感器国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所

本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了使... 详细信息

本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了使用SOI硅片制作传感器的制造工艺.工艺过程包括一次反应离子刻蚀和一次深反应离子刻蚀(DRIE).本文最后给出了器件的封装和特性测试结果.

关键词：微梁直拉直压压阻加速度传感器有限元模拟深反应离子刻蚀(DRIE)

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离子注入法制备掺Er-Al<,2>O<,3>薄膜的研究

离子注入法制备掺Er-Al<,2>O<,3>薄膜的研究

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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

作者：肖海波张昌盛林志浪陈志君张峰邹世昌中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室(上海)

通过离子束辅助沉积(IBED)在热氧化SiO上沉积AlO薄膜,在能量120keV剂量5×10cm下离子注入Er离子,Ar气环境下500~1000℃退火1h.低温下测试PL谱线,发现700℃退火样品强度特别低.光透射谱表明几乎所有的测试范围内尤其在1.53um处700℃... 详细信息

通过离子束辅助沉积(IBED)在热氧化SiO<,2>上沉积Al<,2>O<,3>薄膜,在能量120keV剂量5×10<'15>cm<'-2>下离子注入Er离子,Ar气环境下500~1000℃退火1h.低温下测试PL谱线,发现700℃退火样品强度特别低.光透射谱表明几乎所有的测试范围内尤其在1.53um处700℃退火样品的透射谱强度最强,波导损耗最低.1.53um波长处透射强度随退火温度的变化跟PL谱中发光强度的变化相反.说明Er离子在514.5nm泵谱吸收界面σ跟Al<,2>O<,3>的光吸收损耗有一定关系.

关键词： EDWA 光致发光泵谱吸收界面离子注入法 Er-AlO薄膜

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隧道结在多结太阳电池中的应用

隧道结在多结太阳电池中的应用

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2003年中国太阳能学会学术年会

作者：朱诚张永刚李爱珍中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

目前多结太阳电池器件广泛采用隧道结连接各分电池,隧道结的电学和光学特性对太阳电池性能的影响相当重要。本文主要应用高掺杂的p-n结理论进行隧道结的计算研究工作,针对GaInP/GaAs双结电池的结构,选择不同的宽禁带材料研究隧道结Ⅰ-... 详细信息

目前多结太阳电池器件广泛采用隧道结连接各分电池,隧道结的电学和光学特性对太阳电池性能的影响相当重要。本文主要应用高掺杂的p-n结理论进行隧道结的计算研究工作,针对GaInP/GaAs双结电池的结构,选择不同的宽禁带材料研究隧道结Ⅰ-Ⅴ特性,并且对其进行必要的优化工作,以增大隧穿电流。研究对于GaAs材料,不同的掺杂浓度对于其Ⅰ-Ⅴ特性的影响,寻找出掺杂浓度与隧穿电流的关系曲线。

关键词：隧道结随穿电流串接太阳电池 I-V特性

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电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计

电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计

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中国微米/纳米第六届学术年会

作者：宋朝辉贾孟军李昕欣中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,故驱动和检测间的耦合大大地减小.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响,并针对初步确定的... 详细信息

介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,故驱动和检测间的耦合大大地减小.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响,并针对初步确定的结构尺寸,利用COVENTER WARE软件进行了静力学和动力学分析,对理论计算结果进行了验证.

关键词：微陀螺折叠梁有限元分析电容检测振动质量模态频率

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传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示

传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：王跃林王渭源李昕欣焦继伟陆德仁熊斌罗乐吴亚明李铁杨建义传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海)

近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示... 详细信息

近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示,以期对我国传感技术及MEMS的发展能提供一定的借鉴作用.

关键词：微机电系统微光机电系统传感器

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感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究

感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：鲍海飞熊斌戈肖鸿王渭源王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原... 详细信息

在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原子力显微镜考察了样品的表面形貌、黏附力和摩擦行为.在给定的扫描尺寸范围内,样品的粗糙度在纳米量级.在小于25纳牛载荷下,测试了钝化膜的摩擦特性.同硅相比,在相同的载荷下,钝化膜的表面摩擦力均比硅的小,钝化膜的表面摩擦与表面形貌和粗糙度以及贴片方式有关.

关键词：纳米摩擦钝化膜深反应离子刻蚀

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一种新颖的光调制热成像器件设计

一种新颖的光调制热成像器件设计

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：冯飞熊斌焦继伟王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海)

基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F... 详细信息

基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F—P腔),可动微镜的反射面和半透镜的反射面构成F—P腔的两上反射面.通过理论计算和ANSYS模拟,对器件结构进行了优化设计,器件的关键性能指标—热灵敏度可达10<'-8>m/K.

关键词：光调制热成像微机械热灵敏度红外成像

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热堆红外探测器模型的建立

热堆红外探测器模型的建立

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：刘月英沈德新传感器国家重点实验室中科院上海微系统及信息技术研究所(中国上海)

基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数... 详细信息

基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数学模型较为准确地反映了器件的工作状态.并且利用这个模型所计算出的热电堆的主要工作参数与实验结果比较,验证了此模型的正确性.

关键词：热电偶微电子微机械红外辐射热电堆传感器

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SiGe-On-Insulator新结构的SIMOX制备

SiGe-On-Insulator新结构的SIMOX制备

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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

作者：安正华刘卫丽张苗林成鲁中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室(上海)

SiGe-on-Insulator(SiGeOI)是一种新型的SOI材料,是一种具有广阔应用前景的微电子衬底材料.本文采用超高真空化学气相淀积(UHVCVD)方法在Si衬底上外延高质量的单晶SiGe层,然后向样品中注入60keV、3×10cm的氧离子,从而在异质结附近... 详细信息

SiGe-on-Insulator(SiGeOI)是一种新型的SOI材料,是一种具有广阔应用前景的微电子衬底材料.本文采用超高真空化学气相淀积(UHVCVD)方法在Si衬底上外延高质量的单晶Si<,0.86>Ge<,0.14>层,然后向样品中注入60keV、3×10<'17>cm<'-2>的氧离子,从而在异质结附近形成富氧层,最后经高温退火工艺得到所需的SiGeOI结构.

关键词： SIMOX制备化学气相淀积 Si衬底退火工艺 SiGeOI结构

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