检索结果-内蒙古大学图书馆

第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：鲍敏杭孙远程黄宜平王跃林微电子学系专用电路国家重点实验室复旦大学(上海) 上海微系统和信息技术研究所中国科学院(上海)

对用于测试惯性力的电容式传感器来说,必须引入用于检测电容变化的交变测试信号.然而由于该静电力的存在,其与惯性力和机械力联合作用必然会对传感器的可靠工作带来不利影响,如可能导致传感器的惯性质量块与静态电极永久吸合.在我们以... 详细信息

对用于测试惯性力的电容式传感器来说,必须引入用于检测电容变化的交变测试信号.然而由于该静电力的存在,其与惯性力和机械力联合作用必然会对传感器的可靠工作带来不利影响,如可能导致传感器的惯性质量块与静态电极永久吸合.在我们以前的工作中已讨论了准静态惯性信号的可靠工作条件.结果表明器件要可靠工作所能承受的最大惯性信号同静电测试信号紧密相关.测试信号越大,器件的可靠工作量程就越小.我们知道在现实条件下惯性信号往往是动态的,而且阻尼比可能很小.因此在准静态条件下,电与机械的相互作用显然被低估了.这里我们进一步对低阻尼电容式结构在动态信号(阶跃信号和脉冲信号)作用下的可靠工作量程进行了研究.分析结果表明静电力的作用远比准静态时大.本文给出了可靠工作条件下所能承受的最大脉冲加速度的表示式,并且绘出了临界加速度曲线.一般来说动态工作条件下所能承受的最大阶跃加速度信号仅为准静态时的50﹪至70﹪.对脉冲信号来说,器件的可靠工作量程同脉冲幅度与脉冲信号时间宽度的乘积有关.文中给出了解析表达式,并对双面和单面电容式结构进行了比较.

关键词：阶跃响应微电子机械器件电容式传感器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路

电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路

引用

第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宋朝辉贾孟军李昕欣马广富陈志龙传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海) 控制科学与工程系哈尔滨工业大学(中国哈尔滨) 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海) 控制科学与工程系哈尔滨工业大学(中国哈尔滨)

电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机... 详细信息

电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号.为了提高陀螺的工作宽带和线性度,检测电路采用了力平衡方式.本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路.并介绍了接口电路中用到的几种主要器件.

关键词：接口电路微机械陀螺电磁驱动电容检测

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

引用

第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宗登刚王聪和王钻开鲍海飞陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海)

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,... 详细信息

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.分析了误差的来源及其对实验结果的影响.报道了低应力和标准LPCVD氮化硅薄膜的研究结果.

关键词：微机械微桥法 LPCVD氮化硅杨氏模量残余应力弯曲强度

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

离子束增强沉积二氧化钒多晶薄膜的成膜机理

离子束增强沉积二氧化钒多晶薄膜的成膜机理

引用

第十届全国光电技术与系统学术会议

作者：李金华袁宁一江苏工业学院信息科学系功能材料实验室(常州) 中国科学院上海微系统及信息技术研究所离子束开放实验室(上海)

设计了一种用离子束增强沉积制备高性能VO薄膜的新方法.在溅射VO粉末靶的同时,用氩、氢混合束,对沉积膜作高剂量离子注入,然后经500°C以上的退火,获得热电阻温度系数(TCR)高达4﹪的VO薄膜.成膜机理是,利用高剂量氩离子注入的损伤... 详细信息

设计了一种用离子束增强沉积制备高性能VO<,2>薄膜的新方法.在溅射V<,2>O<,5>粉末靶的同时,用氩、氢混合束,对沉积膜作高剂量离子注入,然后经500°C以上的退火,获得热电阻温度系数(TCR)高达4﹪的VO<,2>薄膜.成膜机理是,利用高剂量氩离子注入的损伤效应使V<,2>O<,5>的V-O键断裂;利用注入氢的还原效应将V<,2>O<,5>转换成VO<,2>薄膜.利用轰击效应使薄膜致密;利用混合效应使界面结合牢固、薄膜结构均匀;利用搀杂效应,使氩出现在晶格的间隙位置,产生张应力、降低了薄膜的转换温度,高了其TCR.

关键词：二氧化钒薄膜离子束增强沉积成膜机理

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

REBa2Cu3O7-δ晶体生长和REO1.5-BaO-CuOx相图

REBa2Cu3O7-δ晶体生长和REO1.5-BaO-CuOx相图

引用

第七届全国超导学术研讨会

作者：姚忻张宏曾新华许实上海交通大学物理系上海200030 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030 上海微系统与信息技术研究所上海200050 上海交通大学物理系上海200030

REO1.5-BaO-CuOx系统的氧化物超导体从材料成分的角度,可分为REBa2Cu3O7-δ化合物(如YBa2Cu3O7-δ,简称YBCO或Y123)和RE1+xBa2-xCu3O7-δ固溶体(如Nd1+xBa2-xCu3O7-δ和Sm1+xBa2-xCu3O7-δ,简称NdBCOss和SmBCOss).YBCO超导材料非常容易获得精确化学计量比的123成分.而后者,作为固溶体材料的NdBCOss和SmBCOss,成分、结构和性能完全取决于晶体生长的热力学参数.本研究通过提拉法研制REBa2Cu3O7-δ单晶体,并结合REO1.5-BaO-CuOx系统的三元相图特征,讨论REBa2Cu3O7-δ单晶体生长中的成分、结构和性能的控制.

关键词：氧化物超导体晶体生长提拉法单晶体三元相图

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

NdBCO厚膜籽晶生长YBCO块体材料

NdBCO厚膜籽晶生长YBCO块体材料

引用

第七届全国超导学术研讨会

作者：曾新华姚忻张宏许实上海交通大学物理系上海200030 上海交通大学物理系上海200030 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030 上海微系统与信息技术研究所上海200050

本研究采用液相外延生长(Liquidphaseepitaxy,简称LPE)的NdBa2Cu3O7-δ(NdBCO)高温超导厚膜作籽晶,通过冷籽晶熔融织构的方法生长YBa2Cu3O7-δ(YBCO)块体材料.与通常使用的籽晶相比,NdBCO厚膜籽晶具有如下优点:相对于非超导材料籽晶(MgO... 详细信息

本研究采用液相外延生长(Liquidphaseepitaxy,简称LPE)的NdBa2Cu3O7-δ(NdBCO)高温超导厚膜作籽晶,通过冷籽晶熔融织构的方法生长YBa2Cu3O7-δ(YBCO)块体材料.与通常使用的籽晶相比,NdBCO厚膜籽晶具有如下优点:相对于非超导材料籽晶(MgO等),NdBCO具有和YBCO相似的晶体结构和晶格常数,并对体系不会造成污染;与单晶体及熔融织构获得的籽晶相比,LPE获得的大尺寸NdBCO厚膜,有可能得到大单畴结构的YBCO块体材料;与NdBCO薄膜籽晶相比,NdBCO厚膜具有更高的结晶性能.本文讨论NdBCO厚膜籽晶生长YBCO块材过程中籽晶的影响及其热力学稳定性等问题.

关键词：高温超导材料块体材料籽晶生长熔融织构单畴结构热力学稳定性

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中的半导体导电行为

防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中的半导体导电行为

引用

第四届全国腐蚀大会

作者：钟庆东郑金徐乃欣印仁和周国定上海电力学院电化学研究室国家电力公司热力设备腐蚀与防护(部级)重点实验室(上海) 上海电力学院电化学研究室国家电力公司热力设备腐蚀与防护(部级)重点实验室(上海) 上海大学化学系(上海) 中国科学院上海微系统及信息技术研究所(上海) 上海大学化学系(上海)

采用电位—电容法及Mott—Schottky分析技术研究了自腐蚀电位条件下防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中失效过程的导电机制转变行为.防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中的失效过程存在半导体导电特征,随着浸泡时间的延长,防锈油膜从浸泡初期的p型半导体... 详细信息

采用电位—电容法及Mott—Schottky分析技术研究了自腐蚀电位条件下防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中失效过程的导电机制转变行为.防锈油膜在5﹪硫酸钠溶液中的失效过程存在半导体导电特征,随着浸泡时间的延长,防锈油膜从浸泡初期的p型半导体转变为n型半导体,转变过程中,防锈油膜中出现两个空间电荷过渡层.随着浸泡时间的延长,防锈油膜中的空间电荷层厚度皆逐渐减小,载流子密度则逐渐增加,并且计算了不同转变时期防锈油膜中的电子给体(N<,D>)和电子受体(N<,A>)密度大小.

关键词：防锈油膜失效导电机制绝缘薄膜

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟

引用

航空学报 2002年第3期23卷 211-214页

作者：车录锋熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配 ,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸 ;根据建立的陀螺振动的等效电路模型 ,对检测振动的性能进行了模拟分析 ,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础。

关键词：振子框架式微机械陀螺优化设计等效电路模型模拟

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

p型量子阱太赫兹振荡器研究

引用

固体电子学研究与进展 2002年第2期22卷 241-243页

作者：曹俊诚李爱珍封松林中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 200050

采用非抛物平衡方程理论研究了直流偏置下 p型量子阱负有效质量 p+ pp+ 二极管电流的时空特性。在适当的掺杂和偏置条件下 ,由于高场畴的形成 ,二极管中将产生太赫兹 (THz,1 THz=1 0 1 2 Hz)电流自振荡。计算了自振荡频率对直流偏置的... 详细信息

采用非抛物平衡方程理论研究了直流偏置下 p型量子阱负有效质量 p+ pp+ 二极管电流的时空特性。在适当的掺杂和偏置条件下 ,由于高场畴的形成 ,二极管中将产生太赫兹 (THz,1 THz=1 0 1 2 Hz)电流自振荡。计算了自振荡频率对直流偏置的依赖性 ,提出了设计可调谐

关键词： P型量子阱太赫兹振荡器负有效质量自振荡二极管

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

高量程加速度计的力学性能分析

引用

机械强度 2002年第4期24卷 515-517页

作者：王钻开宗登刚陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的... 详细信息

提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试。

关键词：高量程加速度计静态测试加速度传感器微电子机械系统灵敏度频率

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：