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  • 34 篇 期刊文献
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  • 37 篇 电子文献
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机构

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  • 1 篇 中国科学院研究生...
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  • 1 篇 香港中文大学
  • 1 篇 上海市中山医院
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中科院上海微系统...

作者

  • 17 篇 王曦
  • 11 篇 柳襄怀
  • 9 篇 张峰
  • 8 篇 陈猛
  • 7 篇 郑志宏
  • 7 篇 林志浪
  • 6 篇 邹世昌
  • 6 篇 俞跃辉
  • 6 篇 徐静芳
  • 5 篇 宋朝瑞
  • 5 篇 冯涛
  • 5 篇 肖海波
  • 5 篇 李琼
  • 4 篇 程新利
  • 4 篇 刘相华
  • 4 篇 董业民
  • 4 篇 张昌盛
  • 4 篇 王永进
  • 3 篇 李志坚
  • 3 篇 陈志君

语言

  • 37 篇 中文
检索条件"机构=上海微系统与信息技术研究所离子束开放实验室"
37 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
可驱动碳纳米管冷阴极数码管的研制
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真空电子技术 2006年 第1期19卷 30-32,40页
作者: 冯涛 戴丽娟 蒋军 王曦 柳襄怀 李琼 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050 华东师范大学电子科学与技术系 上海200062
采用印刷技术实现了碳纳米管阴极的大面积、低成本制备,并采用等离子体表面改性技术来提高阴极的发射性能。在此工艺基础上,自行设计和封装了七段显示的碳纳米管冷阴极数码管,配以简单的驱动电路,实现了碳纳米管冷阴极数码管的动态显示。
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新型SOI基3×3多模干涉波导光开关的优化设计
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光学学报 2005年 第9期25卷 1208-1213页
作者: 贾晓玲 高凡 张峰 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050
提出了一种基于SOI材料的新型3×3多模干涉(MMI)波导光开关,在开关的多模波导中引入折射率调制区,利用硅的等离子色散效应改变多模波导局部区域的折射率,使得光场在传输过程中的相位发生变化,进而确定输出光场位置,实现开关功能。... 详细信息
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人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究
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中国科学(E辑) 2005年 第3期35卷 225-241页
作者: 王向晖 柳襄怀 张峰 李昌荣 俞柳江 郑志宏 王曦 徐静芳 陈安清 蒋振斌 华东师范大学理工学院物理学系 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050 华东师范大学信息学院电子工程系 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 华东师范大学信息学院电子工程系 上海市中山医院心血管病研究所
心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣... 详细信息
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光波导计算中全矢量-罚项有限元方法新解
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量子电子学报 2004年 第5期21卷 658-664页
作者: 曹共柏 林志浪 肖海波 张峰 上海微系统与信息技术研究所离子束开放实验室 上海200050
数值求解光波导模式的方法,矢量元方法应用比较普遍,能够消除伪模,但由于矢量元的构造和求解过程比较烦琐,而用传统的节点有限元方法求解全矢量波动方程时,在得到物理模式的同时,也出现了伪模。本文在传统的罚项节点有限元方法的启发下... 详细信息
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离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究
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压电与声光 2004年 第6期26卷 494-496,502页
作者: 宋朝瑞 俞跃辉 邹世昌 郑志宏 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050
AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力。采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能谱(XPS)和电容-电压/电流-电压(C-V/I-V)等方法对AlN薄膜的微观结构和绝缘性能进行了研究,得到了影响薄... 详细信息
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离子注入制备掺铒富硅氧化硅退火温度对光致发光的影响
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中国激光 2004年 第S1期31卷 459-461页
作者: 张昌盛 肖海波 林志浪 张峰 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室 上海200050
研究离子注入掺铒富硅氧化硅材料的光致发光和发光强度随退火温度的变化.在实验中发现,材料在1.54 μm处的发光波形与发光强度均与退火温度有关.在1100℃退火条件,材料形成较好的硅纳米晶,提高了Er的激发和发光效率.在T>100K时,Er... 详细信息
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低损耗SOI单模脊形光波导的制备
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中国激光 2004年 第S1期31卷 230-232页
作者: 林志浪 程新利 王永进 张峰 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室 上海200050
表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导.
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SIMOX大截面单模脊型光波导的研制
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光电子.激光 2004年 第1期15卷 25-28页
作者: 林志浪 程新利 王永进 张峰 中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室 上海200050
以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon on insulator)为衬底,利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料,进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1.55μm的光,其传输损... 详细信息
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A Novel LDMOS Structure in Thin Film Patterned-SOI Technology with a Silicon Window Beneath p Well
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Journal of Semiconductors 2004年 第12期25卷 1580-1585页
作者: 程新红 杨文伟 宋朝瑞 俞跃辉 沈达升 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室 上海200050 阿拉巴马州大学电气与计算机工程系
A novel patterned-SOI LDMOS structure with a silicon window beneath the p well is *** performance is simulated *** comparison to SOI counterpart,the off-state and the on-state breakdown voltage can increase by 57% and... 详细信息
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在SOI材料上制备高质量的氧化铪薄膜
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功能材料 2004年 第6期35卷 736-738页
作者: 邢玉梅 陶凯 俞跃辉 郑志宏 杨文伟 宋朝瑞 沈达身 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050 美国阿拉巴马大学电子与计算机工程系
 用电子蒸发氧化铪靶的方法,在SOI(绝缘体上硅)材料上制备了氧化铪薄膜,随后在氮气中进行快速退火(600℃,300s)。借助掠角X射线衍射(GAXRD)、X射线光电子能谱(XPS)、高分辨透射电镜(HRTEM)技术分析了样品的微观结构,研究了样品在退... 详细信息
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