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检索条件"机构=上海微系统和信息技术研究所"
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集成无源器件射频缺陷定位方法
集成无源器件射频缺陷定位方法
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作者: 马灵美 吴亮 林昊锋 吴杨 钱蓉 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明公开了一种集成无源器件射频缺陷定位方法,包括对待检验晶圆进行整晶圆射频参数测试获取晶圆测试结果,对晶圆测试结果进行去嵌,获取待检验晶圆中每个无源器件的S参数数据;从每个无源器件的S参数数据中提取预设频点的预设参数... 详细信息
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一种基于地震波特征分析的爆炸目标被动定位系统和方法
一种基于地震波特征分析的爆炸目标被动定位系统和方法
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作者: 屈秉男 马润泽 丁华泽 魏智 张质懿 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种基于地震波特征分析的爆炸目标被动定位系统,包括多个定位基站和与其连接的中心站;每个定位基站包括依次连接的传感器阵列、一数据采集卡和工控机,4组定位基站的传感器阵列分别设置于目标爆炸区域的4个端点,数据采集... 详细信息
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一种面向复合式探测节点的分布式融合系统
一种面向复合式探测节点的分布式融合系统
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作者: 王艳 张士柱 李宝清 袁晓兵 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种面向复合式探测节点的分布式融合系统,包括节点级融合处理中心和系统级融合处理中心,述节点级融合处理中心用于接收复合式探测节点探测到目标信息,并对异类传感信息进行协同与融合,产生局部目标探测信息,并生成节... 详细信息
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太赫兹量子阱探测器研究进展
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红外与毫米波学报 2022年 第1期41卷 103-109页
作者: 张真真 符张龙 王长 曹俊诚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术实验室 上海200050 中国科学院大学材料与光电研究中心 北京100049
太赫兹量子阱探测器具有皮秒级的响应时间和1 GHz以上的高速调制性能,是太赫兹快速成像和高速无线通信应用领域非常有前景的探测器。文章综述了太赫兹量子阱探测器的探测原理和设计方法、器件主要性能指标和基于该探测器的应用技术研究... 详细信息
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一种等比例横向垂直三维掺杂硅基耗尽型电光调制器及其制备方法
一种等比例横向垂直三维掺杂硅基耗尽型电光调制器及其制备方法
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作者: 朱子健 赵瑛璇 甘甫烷 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种等比例横向垂直三维掺杂硅基耗尽型电光调制器及其制备方法,述电光调制器在光传播方向上设有单个周期波导,述波导中央设置有脊波导,述脊波导在光传播方向上设有第一轻掺杂区(1)和第二轻掺杂区(2);述第一轻掺... 详细信息
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基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法
基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法
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作者: 冯飞 赵斌 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法,基于电磁阀进行有序的流路切换,可实现气相色谱装置的吹扫、采样、进样及检测等功能,且采用功耗低的微型电磁阀,可降低气相色谱装置的功耗,且基于微型电磁阀的体积小、... 详细信息
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一种栅全包围核壳超晶格场效应晶体管器件及其制备方法
一种栅全包围核壳超晶格场效应晶体管器件及其制备方法
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作者: 陈锦 母志强 俞文杰 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种栅全包围核壳超晶格场效应晶体管器件及其制备方法,包含衬底层、绝缘层、沟道区、环绕栅结构、源区、漏区;其中述绝缘层设于衬底层上,述的绝缘结构中设有凹槽;述沟道区跨设于述凹槽之上,凹槽向上朝沟道区延... 详细信息
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氦离子检测器及其制备方法
氦离子检测器及其制备方法
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作者: 冯飞 祝雨晨 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法,在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布,以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率,使得氦离子检测器在较小体积的前提下,也能具有较低的检测限,较高的... 详细信息
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一种基于临时短路的垂直互连晶圆测试方法
一种基于临时短路的垂直互连晶圆测试方法
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作者: 吴亚明 蔡敏力 凌必赟 王潇悦 夏彧虎 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种基于临时短路的垂直互连晶圆测试方法,包括以下步骤:将待测垂直互连晶圆的非扎针测试面进行临时短路,使得有原先彼此绝缘的待测pad之间处于两两导通的状态;对待测垂直互连晶圆的扎针测试面进行垂直互连晶圆测试。... 详细信息
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一种MOF-聚苯乙烯微球复合材料及其制备方法和用途
一种MOF-聚苯乙烯微球复合材料及其制备方法和用途
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作者: 王泊 贺庆国 程建功 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种MOF‑聚苯乙烯微球复合材料及其制备方法和用途,述MOF‑聚苯乙烯微球复合材料包括聚苯乙烯微球和MOF晶体;述MOF晶体为选自Cu3(HITP)2、Ni3(HITP)2和Co3(HITP)2)中的一种或多种,述MOF晶体负载于述聚苯乙烯微球上... 详细信息
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