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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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作者

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一种SOI ESD两级保护网络

一种SOI ESD两级保护网络

引用

作者：宁冰旭张正选胡志远彭超樊双邹世昌 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种SOI ESD两级保护网络，包括：第一级保护网络，由第一二极管及第二二极管组成；第二级保护网络，包括PMOS晶体管、外接电阻、缓冲电阻和硅控整流器，其中，所述缓冲电阻的第一端接保护网络的输入端，第二端接所述硅控整... 详细信息

标准号: CN104465651B

本发明提供一种SOI ESD两级保护网络，包括：第一级保护网络，由第一二极管及第二二极管组成；第二级保护网络，包括PMOS晶体管、外接电阻、缓冲电阻和硅控整流器，其中，所述缓冲电阻的第一端接保护网络的输入端，第二端接所述硅控整流器的P型层及N阱区，并作为保护网络的输出端，所述PMOS晶体管的栅端和体端接电源线，源端接保护网络的输入端，漏端接所述外接电阻的第一端，并与所述硅控整流器的P阱区连接，所述外接电阻的第二端接地线，所述硅控整流器的N型层接地线。本项发明的SOI硅控整流器采用动态触发的原理，可以大大提高二级保护的反应速度，并大大降低内部电路栅击穿的可能性。

关键词：硅控整流器保护网络外接电阻缓冲电阻第一端接地线输入端二极管组成二极管动态触发二级保护两级保护内部电路第一级电源线输出端击穿漏端体端源端栅端网络

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一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法

一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法

引用

作者：张燕辉于广辉葛晓明张浩然陈志蓥隋妍萍邓荣轩 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法，包括步骤：步骤1），提供制备石墨烯用的铜衬底；步骤2），将所述铜衬底置于有氧环境中处理，使所述铜衬底表面氧化，形成氧化层；以及步骤3），去所述铜除衬底表面的氧化层，得到清... 详细信息

标准号: CN106884153A

本发明提供一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法，包括步骤：步骤1），提供制备石墨烯用的铜衬底；步骤2），将所述铜衬底置于有氧环境中处理，使所述铜衬底表面氧化，形成氧化层；以及步骤3），去所述铜除衬底表面的氧化层，得到清洁的铜衬底表面。本发明通过氧化石墨烯生长用铜衬底，使得衬底表面层氧化并从衬底脱落，获得适宜高质量石墨烯制备的清洁铜表面，该方法获得的铜衬底可明显降低成核密度，减少石墨烯中的缺陷。本发明的方法重复性高、简单易行，并且可控性强，适合工业化应用的批量化处理。

关键词：铜衬石墨烯制备氧化层干法清洗工艺衬底表面层工业化应用清洁铜表面氧化石墨烯表面氧化衬底表面可控性批量化氧环境衬底成核清洁生长

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单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法

单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法

引用

作者：李伟周晓峰车录锋 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法，其中，制作方法至少包括如下步骤：提供一上硅片、一下硅片，分别制作上电极盖板和下电极盖板；提供一中间硅片，于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的... 详细信息

标准号: CN107045073A

本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法，其中，制作方法至少包括如下步骤：提供一上硅片、一下硅片，分别制作上电极盖板和下电极盖板；提供一中间硅片，于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的折叠梁‑质量块结构，然后释放所述折叠梁‑质量块结构，从而形成中间电极；将所述上电极盖板和所述下电极盖板分别与所述中间电极对准并键合在一起；于所述上电极盖板上形成中间电极引线溅射槽；于所述上电极盖板上表面的选定区域、所述中间电极引线溅射槽内及所述下电极盖板下表面的选定区域形成焊盘。本发明利用单层硅片实现了双面对称的折叠弹性梁‑质量块结构的设计及制作，制作工艺简单可控。

关键词：硅片电极盖板中间电极质量块结构下电极折叠梁双面对称选定区域上表面盖板制作溅射微加速度传感器盖板下表面预先形成制作工艺释放单硅片弹性梁下表面折叠单层焊盘键合可控对准折叠梁中间电极硅片质量块结构电极盖板上表面下表面下电极质量块微加速度传感器双面对称选定区域单硅片盖板键合溅射制作差分电容式结构盖板下表面对称分布预先形成释放弹性梁折叠焊盘三层对准

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基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法

基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法

引用

作者：杨恒戈肖鸿吴燕红豆传国王小飞孙珂李昕欣 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法，包括以下步骤：1）提供（111）硅片；2）采用激光加工工艺在所述（111）硅片背面形成第一深槽；3）在所述（111）硅片正面形成第二深槽；4）在所述（111）硅片表面... 详细信息

标准号: CN106915723A

本发明提供一种基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法，包括以下步骤：1）提供（111）硅片；2）采用激光加工工艺在所述（111）硅片背面形成第一深槽；3）在所述（111）硅片正面形成第二深槽；4）在所述（111）硅片表面、所述第一深槽及所述第二深槽侧面及底部形成第一氧化层；5）在所述（111）硅片正面形成第三深槽；6）在所述第一氧化层表面及所述第三深槽的侧面及底部形成第二氧化层；7）采用反应离子刻蚀工艺及各向异性腐蚀工艺释放梁。采用激光加工工艺结合反应离子刻蚀工艺及各向异性腐蚀工艺形成梁-质量块结构，可降低整个工艺的成本；梁结构的厚度由从（111）硅片正面进行的深反应离子刻蚀决定，工艺精度高。

关键词：深槽各向异性腐蚀硅片正面激光加工工艺质量块结构氧化层反应离子刻蚀工艺深反应离子刻蚀氧化层表面硅片背面硅片表面结合反应离子刻蚀侧面梁结构硅片制备激光释放深槽各向异性腐蚀硅片正面氧化层硅片制备反应离子刻蚀工艺长度方向延伸激光加工工艺环形闭合槽氧化层表面质量块结构硅片背面硅片表面区域分割上下对应侧面质量块多段环绕激光外围释放

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一种无线传感器网络运行状态监测方法

一种无线传感器网络运行状态监测方法

引用

作者：裴俊袁晓兵李宝清刘建坡吕建飞 200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室

本发明涉及一种无线传感器网络运行状态监测方法，其中根节点、复杂功能节点和普通功能节点之间采用相同的无线通讯体制进行无线自组网通信，监测节点在无线传感器网络的布放现场不参与组网，通过在各个频点或频段监听其他无线节点发送... 详细信息

标准号: CN107295545A

本发明涉及一种无线传感器网络运行状态监测方法，其中根节点、复杂功能节点和普通功能节点之间采用相同的无线通讯体制进行无线自组网通信，监测节点在无线传感器网络的布放现场不参与组网，通过在各个频点或频段监听其他无线节点发送的无线通讯信息，并向无线传感器网络节点发送查询信息，获取当前网络拓扑或网络状态信息，分析网络构建的合理性，为无线传感器网络的测试和规划提供依据。本发明便于在布放设备时就能获取当前的网络环境，以及掌握某些特定设备在网络中的情况。

关键词：无线传感器网络无线通讯布放无线传感器网络节点无线自组网通信网络状态信息运行状态监测发送查询信息复杂功能功能节点监测节点网络构建网络环境网络拓扑无线节点根节点监听频段频点组网合理性测试分析规划网络

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一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法

一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法

引用

作者：张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法，包括以下步骤：将泡沫铜放入无氧反应器中，抽真空并通入惰性气体，加热使泡沫铜达到一定反应温度；向无氧反应器中通入含碳气体，在一定气压下反应一定时间，待炉内温度冷却至... 详细信息

标准号: CN103924207B

本发明涉及一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法，包括以下步骤：将泡沫铜放入无氧反应器中，抽真空并通入惰性气体，加热使泡沫铜达到一定反应温度；向无氧反应器中通入含碳气体，在一定气压下反应一定时间，待炉内温度冷却至室温，得到的泡沫铜表面覆盖了一层致密的超薄碳膜，使得泡沫铜在较高温度下的抗氧化能力与未处理前相比明显提高，并且不会对泡沫铜的其他各种物理参数造成明显影响。本发明重复性高、简单易行。

关键词：泡沫铜抗氧化能力无氧反应器致密表面覆盖超薄碳膜惰性气体含碳气体物理参数抽真空未处理放入炉内加热气压冷却

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微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法

微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法

引用

作者：杨恒游卫龙张磊王小飞李昕欣 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法，包括：微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极；微蒸发台的一面为蒸发面；锚点位于微蒸发台的两侧，且与微蒸发台相隔一定的间距；支撑梁位于微蒸发台与锚点之间，一端与... 详细信息

标准号: CN106803744A

本发明提供一种微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法，包括：微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极；微蒸发台的一面为蒸发面；锚点位于微蒸发台的两侧，且与微蒸发台相隔一定的间距；支撑梁位于微蒸发台与锚点之间，一端与微蒸发台相连接，另一端与锚点相连接；支撑梁的尺寸满足如下关系式；金属电极位于锚点的第一表面。微蒸发台通过支撑梁与表面形成有金属电极的锚点相连接，通过调整设定支撑梁的尺寸，使得支撑梁的热容量小、散热少的特性，又微蒸发台及支撑梁的尺寸较小，只需在金属电极表面施加很小的功率即可以使得微蒸发台达到所需的蒸发温度，同时由于支撑梁的绝热作用，锚点处的温度升温较小，不会对器件的稳定性造成影响。

关键词：蒸发台支撑梁锚点金属电极微蒸发器金属电极表面振荡器集成表面形成第一表面频率修正绝热热容量蒸发面散热蒸发相隔施加

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一种总线信号接收器

一种总线信号接收器

引用

作者：张正民李建朋宁振球金星俞跃辉 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种总线信号接收器，所述总线信号接收器至少包括总线接收模块，所述总线接收模块包括：电压电流转换单元，包括分别由PMOS管和电阻，NMOS管和电阻构成的两组电路，用于接收总线上的电压信号，并通过所述两组电路输出两路电... 详细信息

标准号: CN103607337B

本发明涉及一种总线信号接收器，所述总线信号接收器至少包括总线接收模块，所述总线接收模块包括：电压电流转换单元，包括分别由PMOS管和电阻，NMOS管和电阻构成的两组电路，用于接收总线上的电压信号，并通过所述两组电路输出两路电流；电流比较单元，与所述电压电流转换单元相连，用于将所述两路电流进行比较，比较结果输出电压信号；电压移位单元，与所述电流比较单元相连，用于将所述电压信号移位转换，输出符合所述接收器要求的电压信号。所述总线信号接收器还可以包括输入预处理模块、输出调整模块、迟滞模块、总线唤醒模块。所述信号总线接收器与传统的信号总线接收器相比，具有静态功耗低，精度和速度更高的优点。

关键词：接收器总线电压信号总线信号电压电流转换单元电流比较单元接收模块两组电路信号总线电阻两路输入预处理模块输出电压信号输出调整模块电压移位唤醒模块静态功耗输出传统的移位迟滞转换

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用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托

用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托

引用

作者：刘吉山沈大伟刘正太李明颖姚岐樊聪 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，包括：圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形... 详细信息

标准号: CN104711670B

本发明提供一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，包括：圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔；所述手柄上设置有抓取孔，机械手通过抓取孔抓取并抽出方形托。本发明设计的样品托既可以适用于分子束外延设备中的样品架，同时也适用于角分辨光电子能谱测试中的样品架，从而实现分子束外延/角分辨光电子能谱仪集成系统原位生长和原位电子结构测量。

关键词：抓取圆形托样品承载角分辨压片分子束外延光电子能谱机械手手柄样品架样品托分子束外延设备光电子能谱仪测试电子结构集成系统有机械手原位生长固定件观察孔槽体测量抽出生长观察

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一种光学读出红外探测器结构及其制作方法

一种光学读出红外探测器结构及其制作方法

引用

作者：冯飞王跃林李昕欣 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法，所述探测器结构至少包括：玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构；所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁；所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上，... 详细信息

标准号: CN105129718B

本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法，所述探测器结构至少包括：玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构；所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁；所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上，所述红外吸收层通过第一锚悬空于所述可见光反射层上，所述支撑梁悬空于所述可见光反射层上，并且所述支撑梁的一端与同一平面内的所述红外吸收层相连、另一端通过第二锚固定于所述玻璃衬底上。本发明的探测器结构通过将可见光反射层和红外吸收层分离，避免了可见光反射层由于双材料效应导致变形，且可见光反射层面积的增加提高了可见光的利用率，从而使红外探测器同时满足对器件各方面的要求，提高器件的综合性能。

关键词：可见光反射层红外吸收层衬底支撑梁悬空玻璃探测器结构悬浮结构红外探测器结构红外探测器综合性能可见光双材料锚固读出变形制作

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