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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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作者

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一种真空器件及其制备方法

一种真空器件及其制备方法

引用

作者：刘强俞文杰 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种真空器件及其制备方法，方法包括：对SOI衬底图形化，形成包括径向尺寸最小处的纳米窄小结构；栅介质层包裹纳米窄小结构；进行氢气退火，使径向尺寸最小处断开，形成将顶半导体层分隔为阳极区和阴极区的断面结构，栅介... 详细信息

标准号: CN116344292A

本发明提供一种真空器件及其制备方法，方法包括：对SOI衬底图形化，形成包括径向尺寸最小处的纳米窄小结构；栅介质层包裹纳米窄小结构；进行氢气退火，使径向尺寸最小处断开，形成将顶半导体层分隔为阳极区和阴极区的断面结构，栅介质层与纳米窄小结构使断面结构形成密闭腔，形成真空器件。本发明通过设置纳米窄小结构并通过氢气退火形成断面结构，得到阴阳极间隔为纳米级的真空器件，以形成较大场强和导通电流；同时利用纳米悬梁结构实现控制能力更强的全环绕栅的真空器件；另外，配合设置纳米悬梁结构下的空腔仅设置在顶半导体层，进一步缩小阴阳极间隔；最后通过圆化减薄纳米悬梁结构，进一步缩小阴阳极间隔。

关键词：真空器件窄小悬梁断面结构退火顶半导体层栅介质层氢气场强导通电流结构实现控制能力配合设置密闭腔纳米级图形化阳极区阴极区衬底减薄空腔圆化断开分隔制备环绕

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一种自干涉光学微谐振腔及其调控方法

一种自干涉光学微谐振腔及其调控方法

引用

作者：欧欣周李平伊艾伦王成立杨秉承 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种自干涉光学微谐振腔及其调控方法，其中，自干涉光学微谐振腔包括，微腔结构，由首尾相连的波导构成；总线波导，与所述微腔结构耦合2n+1次构成2n+1个耦合器，相邻两个耦合器在所述微腔结构所在波导上的光程与相邻两个耦... 详细信息

标准号: CN116736445A

本发明涉及一种自干涉光学微谐振腔及其调控方法，其中，自干涉光学微谐振腔包括，微腔结构，由首尾相连的波导构成；总线波导，与所述微腔结构耦合2n+1次构成2n+1个耦合器，相邻两个耦合器在所述微腔结构所在波导上的光程与相邻两个耦合器在所述总线波导上的光程不同。本发明能够在不改变光学微谐振腔的绝对谐振频率情况下调控光学微谐振腔的谐振透射率。

关键词：微谐振腔微腔结构耦合器总线波导波导光程谐振首尾相连谐振频率耦合透射率干涉调控

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一种谐振式压力传感器及其制造方法

一种谐振式压力传感器及其制造方法

引用

作者：王家畴李昕欣 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种谐振式压力传感器及其制造方法，至少包括单晶硅片、腔体及通气孔、多晶硅敏感薄膜和扭转梁、摆动板、硅岛及H型谐振梁。采用多晶硅薄膜作为感压薄膜，厚度均匀可控至3μm以下，能够提高传感器的敏感度和性能的一致性；... 详细信息

标准号: CN115752818A

本发明提供一种谐振式压力传感器及其制造方法，至少包括单晶硅片、腔体及通气孔、多晶硅敏感薄膜和扭转梁、摆动板、硅岛及H型谐振梁。采用多晶硅薄膜作为感压薄膜，厚度均匀可控至3μm以下，能够提高传感器的敏感度和性能的一致性；硅岛集中薄膜应力，扭转梁及摆动板放大应力后传递给H型谐振梁，增强H型谐振梁对外部应力的感知度，提升器件的灵敏度；硅岛对应于通气孔设置且尺寸大于通气孔尺寸，避免形成通气孔过程中对多晶硅敏感薄膜造成损伤，保证器件性能稳定性，提高产品良率。本发明的敏感结构采用单片单面体硅一体加工形成，无需键合，保证器件在宽温环境中性能稳定，具有尺寸小、低成本、工艺简单和可与集成电路工艺混线生产的优势。

关键词：通气孔谐振梁硅岛敏感薄膜摆动板多晶硅扭转梁薄膜谐振式压力传感器单片单面体硅集成电路工艺多晶硅薄膜产品良率单晶硅片厚度均匀混线生产敏感结构器件性能提升器件外部应力一体加工低成本感知度灵敏度敏感度中性能传感器感压键合可控宽温腔体放大损伤保证传递制造

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SQUID检测电路、传感器及多通道磁测量系统

SQUID检测电路、传感器及多通道磁测量系统

引用

作者：王永良张国峰李华李凌云张树林 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种SQUID检测电路、传感器及多通道磁测量系统，包括：参考电阻及X个SQUID检测模块，各SQUID检测模块均包括反馈线圈及SQUID器件；各SQUID器件的第一端均连接公共端并引出，各SQUID器件的第二端分别作为一引出端；各反馈线... 详细信息

标准号: CN116482586A

本发明提供一种SQUID检测电路、传感器及多通道磁测量系统，包括：参考电阻及X个SQUID检测模块，各SQUID检测模块均包括反馈线圈及SQUID器件；各SQUID器件的第一端均连接公共端并引出，各SQUID器件的第二端分别作为一引出端；各反馈线圈依次串联，反馈线圈串联结构的第一端连接公共端，第二端作为一引出端；参考电阻的一端连接所述公共端，另一端作为一引出端。本发明的引线数量少，低温液体损耗小；能有效消除引线电阻引起的电压偏移，避免工作点漂移；复用读出电路，减小电子电路体积、数据采集通道数及成本；室温电路简单、硬件成本低、运行效率高；无需移动探头，准确性高、操作简单。

关键词：反馈线圈公共端引出端参考电阻检测模块第一端漂移数据采集通道串联结构低温液体电压偏移电子电路读出电路检测电路一端连接依次串联移动探头引线电阻硬件成本运行效率磁测量多通道工作点传感器复用减小电路

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一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构

一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构

引用

作者：岳文成蔡艳 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构，通过在槽型波导的条形波导上构建微纳结构，使得条形波导的等频率线在光的传输方向上发生偏移，与槽型区域的等频率线无交叠，从而使得槽型波导的高折射率的条形波导区和... 详细信息

标准号: CN115963597A

本发明涉及一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构，通过在槽型波导的条形波导上构建微纳结构，使得条形波导的等频率线在光的传输方向上发生偏移，与槽型区域的等频率线无交叠，从而使得槽型波导的高折射率的条形波导区和低折射率的槽型区都可以有效传输光场且彼此之间无串扰，以提高集成光子芯片的空间利用率。

关键词：条形波导波导槽型微纳结构等频率集成光子芯片空间利用率波导结构槽型区域传输方向低折射率高折射率有效传输槽型区偏移串扰构建光场加载交叠

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PMOS触发的SCR器件、SCR器件的制造方法及SCR静电保护电路

PMOS触发的SCR器件、SCR器件的制造方法及SCR静电保护电路

引用

作者：周墨单毅董业民张振伟 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供了一种PMOS触发的SCR器件、SCR器件的制造方法及SCR静电保护电路。其中，本发明提供的PMOS触发的SCR器件，包括埋氧化层，还包括依次设于埋氧化层表面的第一P+注入区、N阱区、P+注入触发区、P阱区和第一N+注入区，第一P+注入... 详细信息

标准号: CN111725206B

本发明提供了一种PMOS触发的SCR器件、SCR器件的制造方法及SCR静电保护电路。其中，本发明提供的PMOS触发的SCR器件，包括埋氧化层，还包括依次设于埋氧化层表面的第一P+注入区、N阱区、P+注入触发区、P阱区和第一N+注入区，第一P+注入区连接于阳极，第一N+注入区连接于阴极，N阱区的远离埋氧化层的一侧设有栅极结构。具有如下有益效果：SCR的导通不依赖于传统结构中N阱和P阱之间结的反向击穿,而是通过开启PMOS管引入沟道电流，大大降低了SCR的触发电压；加快了SCR的开启速度，具备有效性和敏捷性；大大改善了SCR的ESD保护性能。

关键词：注入区埋氧化层触发阴极静电保护电路阳极触发电压传统结构反向击穿沟道电流栅极结构触发区敏捷性导通引入制造

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降低超导单光子探测器暗计数的方法及超导单光子探测器装置

降低超导单光子探测器暗计数的方法及超导单光子探测器装置

引用

作者：张伟君熊佳敏尤立星王镇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种降低超导单光子探测器暗计数的方法及超导单光子探测器装置，包括：1)根据需求采用模型计算并设计滤光片，加工形成所述滤光片；2)提供超导纳米线单光子探测器芯片，将所述滤光片固定在所述超导纳米线单光子探测器芯片的... 详细信息

标准号: CN117007195A

本发明提供一种降低超导单光子探测器暗计数的方法及超导单光子探测器装置，包括：1)根据需求采用模型计算并设计滤光片，加工形成所述滤光片；2)提供超导纳米线单光子探测器芯片，将所述滤光片固定在所述超导纳米线单光子探测器芯片的上表面；3)将所述滤光片、所述超导纳米线单光子探测器芯片与光纤封装在一起，所述光纤与所述滤光片相对设置，并调节所述光纤与所述滤光片之间的距离以实现聚焦，得到超导纳米线单光子探测器装置。本发明构建了一种紧凑、普适、便捷的低损耗、低温滤波方法；实现了对器件背景暗计数的强烈抑制效果，从而带来了器件同等噪声功率超过20倍的显著提升。

关键词：滤光片单光子探测器超导纳米线超导单光子探测器芯片光纤光纤封装模型计算相对设置噪声功率低损耗上表面构建滤波紧凑聚焦加工

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一种基于可靠度的无线传感网资源分配方法

一种基于可靠度的无线传感网资源分配方法

引用

作者：赵雪王江郑斌琪曲志毅徐慧慧 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种基于可靠度的无线传感网资源分配方法，包括多轮运行过程，每一轮过程包括簇完善阶段和簇运行阶段；所述簇完善阶段包括四个阶段：在宣告阶段产生簇头；在加入阶段，非簇头节点加入簇；在预分配阶段，簇头为簇成员节点分... 详细信息

标准号: CN112911672B

本发明涉及一种基于可靠度的无线传感网资源分配方法，包括多轮运行过程，每一轮过程包括簇完善阶段和簇运行阶段；所述簇完善阶段包括四个阶段：在宣告阶段产生簇头；在加入阶段，非簇头节点加入簇；在预分配阶段，簇头为簇成员节点分配短ID；在更新阶段确认是否更换簇头；所述簇运行阶段包括三个阶段：申请时隙阶段被划分为多个短时隙，每个簇成员节点在被分配的短ID所对应的短时隙内将三类信息信息发给簇头；在分配时隙阶段，簇头为选出的n个节点分配用于数据传输的时隙；在数据传输阶段，被选中的n个节点在被分配的时隙中将数据传输至簇头，簇头将数据融合后传输至sink节点。本发明既能延长网络生命周期，还保证簇头所获信息的完整性与可靠性。

关键词：簇头簇成员节点数据传输运行阶段短时隙分配数据传输阶段网络生命周期非簇头节点无线传感网分配时隙节点分配时隙阶段数据融合信息信息运行过程资源分配加入簇可靠度预分配多轮传输宣告更新申请保证

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一种传感器输出延时标定装置和方法

一种传感器输出延时标定装置和方法

引用

作者：付凤杰罗艺华王磊李嘉茂张晓林 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种传感器输出延时标定装置和方法，其中，标定装置中的同步信号发生装置用于产生同步输出的第一信号和第二信号；所述信号预处理模块用于对所述第一信号和所述第二信号进行幅值处理；协议解析模块用于解析第一信号经待测传... 详细信息

标准号: CN115683191A

本发明涉及一种传感器输出延时标定装置和方法，其中，标定装置中的同步信号发生装置用于产生同步输出的第一信号和第二信号；所述信号预处理模块用于对所述第一信号和所述第二信号进行幅值处理；协议解析模块用于解析第一信号经待测传感器输出的数字信号，并在传感器的输出指示信号或数字信号的数据头到达时向计时模块发送第一信号脉冲；所述电平检测模块用于检测第二信号并在第二信号发生跳变时向计时模块发送第二信号脉冲；计时模块用于记录输出第一信号脉冲和输出第二信号脉冲的时间；所述数据记录及延时计算模块用于计算输出第一信号脉冲的时间和输出第二信号脉冲的时间的差值，得到所述待测传感器的输出延时。本发明能够完成不同传感器的输出延时标定。

关键词：第二信号脉冲计时模块输出延时输出传感器待测传感器标定装置数字信号同步信号发生装置信号预处理模块电平检测模块协议解析模块发送记录输出输出指示数据记录延时计算数据头标定跳变解析检测

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持续退化过程在线预测方法

持续退化过程在线预测方法

引用

作者：陈静步然然任志鹏胡一波尹伊哲 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供了一种持续退化过程在线预测方法，包括如下步骤：测试及阈值电压提取；以及通过数据驱动方法建立退化模型及在线预测；所述建立模型及在线预测的步骤进一步包括：将原始退化数据集划分为前后两部分，前一部分作为训练集，后... 详细信息

标准号: CN115935804A

本发明提供了一种持续退化过程在线预测方法，包括如下步骤：测试及阈值电压提取；以及通过数据驱动方法建立退化模型及在线预测；所述建立模型及在线预测的步骤进一步包括：将原始退化数据集划分为前后两部分，前一部分作为训练集，后一部分作为测试集，两者不交叉；据时间序列滑动时间窗口方法对训练集和测试集进行划分；将划分好的训练集输入神经网络进行训练、调参；将预测结果对比原始测试数据计算误差。本发明基于机器学习数据驱动方法，针对PDSOI器件的特点，在受持续NBTI应力情况进行在线预测，有效提高了预测结果精度。

关键词：在线预测训练集预测结果测试集滑动时间窗口输入神经网络原始测试数据基于机器计算误差建立模型时间序列数据驱动退化过程退化模型退化数据学习数据阈值电压不交叉测试驱动

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