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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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主题

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72 篇 微机电系统
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42 篇 传感器
42 篇 mems
40 篇 微电子机械系统
40 篇 电化学性能
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38 篇 分子束外延
37 篇 石墨烯
37 篇 正交频分复用
35 篇 离子注入
35 篇 无线传感网
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机构

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369 篇 中国科学院上海微...
316 篇 中科院上海微系统...
285 篇 上海科技大学
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140 篇 中国科学院上海微...
128 篇 上海交通大学
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101 篇 中国科学院上海微...
94 篇 上海微系统与信息...
94 篇 中国电子技术标准...
93 篇 上海新安纳电子科...
76 篇 浙江大学
61 篇 复旦大学
60 篇 无锡物联网产业研...

作者

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551 篇 王跃林
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416 篇 封松林
394 篇 李昕欣
374 篇 欧欣
319 篇 刘波
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265 篇 卜智勇
253 篇 张苗
236 篇 陈静
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229 篇 金庆辉
228 篇 刘卫丽
226 篇 熊斌
212 篇 王永良
210 篇 张永刚
204 篇 曹俊诚

语言

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超导集成电路及其制备方法

超导集成电路及其制备方法

引用

作者：谢辉何桂香应利良彭炜王镇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种超导集成电路及其制备方法，在绝缘层生长时引入两步生长法，或进一步的在电感外侧形成支撑件以提供绝缘层生长的合适间距，从而填补图形之间的间隙，形成良好的台阶覆盖性，克服因台阶阴影效应导致的台阶缝隙金属沉积现... 详细信息

标准号: CN116568123A

本发明提供一种超导集成电路及其制备方法，在绝缘层生长时引入两步生长法，或进一步的在电感外侧形成支撑件以提供绝缘层生长的合适间距，从而填补图形之间的间隙，形成良好的台阶覆盖性，克服因台阶阴影效应导致的台阶缝隙金属沉积现象，不但能够有效提升超导集成电路的性能稳定性及可靠性，而且不需要沉积较厚的绝缘层，可缩短绝缘层制备的时间，降低制造成本。

关键词：绝缘层超导集成电路制备电感两步生长法台阶覆盖性性能稳定性金属沉积阴影效应制造成本生长支撑件沉积填补引入

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超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统

超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统

引用

作者：韩海龙李浩尤立星 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统，用于对M个超导单光子探测器的脉冲信号进行读出，M为大于等于1的整数，包括：传输光波导和M个电光调制结构；各电光调制结构与各超导单光子探测器一一对应设置，用于... 详细信息

标准号: CN117309163A

本发明提供一种超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统，用于对M个超导单光子探测器的脉冲信号进行读出，M为大于等于1的整数，包括：传输光波导和M个电光调制结构；各电光调制结构与各超导单光子探测器一一对应设置，用于将脉冲信号转为携带热信号的谐振光波，进而耦合至所述传输光波导；传输光波导的第一端输入宽谱光信号，第二端作为输出端，将各电光调制结构输出的谐振光波同时输出。本发明通过设置光电转换结构，将脉冲信号转为光信号并以光信号传输的方式输出，可以实现对微弱信号的跨温区传输、漏热极小且具有较强的抗干扰性。

关键词：超导单光子探测器电光调制脉冲信号传输光波导谐振光波输出读出光电转换结构一一对应设置光信号传输宽谱光信号读出电路探测系统微弱信号耦合第一端输出端漏热双端温区传输携带

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一种MEMS四合一单片集成传感器

一种MEMS四合一单片集成传感器

引用

作者：陶虎李晓辉秦楠 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种基于MEMS技术的四合一单片集成传感器及其制作方法。本发明的四合一单片集成传感器在单个硅片上集成了多种传感器的功能，可以同时测量压力、加速度、气体和湿度，可用于复杂场景下的多参数同步检测。该四合一集成传感器... 详细信息

标准号: CN116621112A

本发明提供一种基于MEMS技术的四合一单片集成传感器及其制作方法。本发明的四合一单片集成传感器在单个硅片上集成了多种传感器的功能，可以同时测量压力、加速度、气体和湿度，可用于复杂场景下的多参数同步检测。该四合一集成传感器采用表面微机械加工工艺制作，为了形成压力传感器、加速度传感器、气体传感器和湿度传感器所需的空腔结构，采用SiO₂填充且使用HF溶液腐蚀多晶硅以释放腔体的方法，这样不仅有利于各种功能传感器的工艺兼容，而且也可以提高集成传感器的成品率。同时该集成传感器的制作成本相对较低，适合于大批量生产。

关键词：集成传感器单片集成传感器表面微机械加工加速度传感器功能传感器气体传感器湿度传感器压力传感器测量压力复杂场景工艺兼容工艺制作空腔结构同步检测成品率多参数多晶硅释放腔传感器硅片可用填充制作腐蚀生产

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一种均匀信道的阵列波导光栅及其设置方法

一种均匀信道的阵列波导光栅及其设置方法

引用

作者：仇超黄蕊 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种均匀信道的阵列波导光栅，包括输入波导端、自由传输区域和输出波导端，所述输入波导端与所述自由传输区域的一端相连，所述自由传输区域的另一端分别与多个所述输出波导端相连，其特征在于，所述自由传输区域划分为若干... 详细信息

标准号: CN113805271B

本发明涉及一种均匀信道的阵列波导光栅，包括输入波导端、自由传输区域和输出波导端，所述输入波导端与所述自由传输区域的一端相连，所述自由传输区域的另一端分别与多个所述输出波导端相连，其特征在于，所述自由传输区域划分为若干规则形状单元格，根据DBS成像算法和预设目标函数调整所述规则形状单元格的状态，使位于中心的所述输出波导端和位于边缘的所述输出波导端的远场分布呈平顶型。本发明解决了常规型阵列波导光栅输出信道间插入损耗最大值和最小值之间具有3dB差异的问题。

关键词：传输区域输出波导端阵列波导光栅输入波导端规则形状单元格自由预设目标函数插入损耗成像算法输出波导输出信道平顶远场信道

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一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法

一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法

引用

作者：王潇悦吴亚明凌必赟陈栋徐巧 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设... 详细信息

标准号: CN115571853A

本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设置蚀刻测量图形结构，测量图形成等差数列排布；在不影响晶圆整体工艺的情况下，基于测量图形的边缘连接情况获得钻蚀的数值，测量精度高。

关键词：测量蚀刻图形结构钻蚀等差数列晶圆排布测量精度高边缘连接线性阵列整体工艺测量图蚀刻量

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基于循环神经网络的雷达识别方法装置、存储介质和终端

基于循环神经网络的雷达识别方法装置、存储介质和终端

引用

作者：苏瀚赵宇卜智勇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明公开了一种基于雷达信号的基于循环神经网络的雷达识别方法装置、存储介质和终端，其中方法包括向雷达发送人体姿态识别信号；获取所述雷达接收到的时域回波数据，并基于所述时域回波数据通过三维傅里叶变换获取初始频域图像数据... 详细信息

标准号: CN115761872A

本发明公开了一种基于雷达信号的基于循环神经网络的雷达识别方法装置、存储介质和终端，其中方法包括向雷达发送人体姿态识别信号；获取所述雷达接收到的时域回波数据，并基于所述时域回波数据通过三维傅里叶变换获取初始频域图像数据；将所述初始频域图像数据通过MUSIC算法进行处理，以获取最终角度图像数据，所述最终角度图像数据包括人体姿态完整成像区域；将所述最终角度图像数据输入训练完成的预设循环神经网络模型中，以获取对应人体姿态。本发明可实现性强，能够有效地进行高准确率识别，同时不易受各种环境因素影响，系统稳健性好。

关键词：角度图像人体姿态循环神经网络回波数据频域图像时域环境因素影响傅里叶变换系统稳健性存储介质雷达接收雷达识别雷达信号识别信号数据包括数据通过完整成像有效地准确率预设三维雷达发送终端

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一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法

一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法

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作者：杨蕾杨秀梅赵宇卜智勇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法，包括：步骤S1用户接入当前服务卫星后，每间隔预设时隙，向当前服务卫星上报位置信息；步骤S2，根据用户的位置信息，判断用户类型；步骤S3，根据所述用户类型，获取卫星覆盖时刻矩阵；... 详细信息

标准号: CN116961734A

本发明涉及一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法，包括：步骤S1用户接入当前服务卫星后，每间隔预设时隙，向当前服务卫星上报位置信息；步骤S2，根据用户的位置信息，判断用户类型；步骤S3，根据所述用户类型，获取卫星覆盖时刻矩阵；步骤S4，根据所述卫星覆盖时刻矩阵，当前服务卫星获取候选目标卫星列表，并向用户发送切换指令；步骤S5，用户监测所述切换指令以及当前通信链路质量，以进行主动切换或申请回退。本发明能够降低无线链路失败概率，同时降低切换频率。并且，本发明能够提高用户服务链路的鲁棒性。

关键词：服务卫星卫星矩阵用户类型指令无线链路失败轨迹预测候选目标切换频率上报位置通信链路用户发送用户服务用户监测用户接入主动切换鲁棒性回退链路预设覆盖概率申请

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一种利用极低场磁共振检测肿瘤氧化还原微环境的方法

一种利用极低场磁共振检测肿瘤氧化还原微环境的方法

引用

作者：董慧尚留洋李永强杨思维丁古巧 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种利用极低场磁共振检测肿瘤氧化还原微环境的方法，包括在半胱氨酸盐酸盐中先后加入水、聚乙二醇、硝酸钆进行水热反应，得到第四混合体系；分别加入等体积的模拟肿瘤微环境和水，记为实验组与对照组；在极低场磁共振系统... 详细信息

标准号: CN116593517A

本发明涉及一种利用极低场磁共振检测肿瘤氧化还原微环境的方法，包括在半胱氨酸盐酸盐中先后加入水、聚乙二醇、硝酸钆进行水热反应，得到第四混合体系；分别加入等体积的模拟肿瘤微环境和水，记为实验组与对照组；在极低场磁共振系统中检测实验组与对照组的弛豫时间Ta与Tb，对比Ta与Tb间的差异。本发明将难以检测的肿瘤氧化还原微环境差异转换为磁弛豫时间差异，使差异量化，并具有优异的检测灵敏度，具有良好的应用前景。

关键词：微环境氧化还原实验组低场肿瘤半胱氨酸盐酸盐磁共振检测磁共振系统检测灵敏度差异量化差异转换混合体系聚乙二醇模拟肿瘤时间差异水热反应磁弛豫硝酸钆检测弛豫应用

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一种基于视听多模态融合的音视频事件检测方法

一种基于视听多模态融合的音视频事件检测方法

引用

作者：朱冬晨陈泓伯张广慧石文君李嘉茂张晓林 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种基于视听多模态融合的音视频事件检测方法，包括：从待检测音视频文件中提取出2D视觉特征、3D视觉特征和音频特征；将所述2D视觉特征和3D视觉特征输入至第一模态共有‑私有子空间，所述第一模态共有‑私有子空间将所述2D视... 详细信息

标准号: CN116310945A

本发明涉及一种基于视听多模态融合的音视频事件检测方法，包括：从待检测音视频文件中提取出2D视觉特征、3D视觉特征和音频特征；将所述2D视觉特征和3D视觉特征输入至第一模态共有‑私有子空间，所述第一模态共有‑私有子空间将所述2D视觉特征和3D视觉特征聚合成一路的视觉特征；将所述视觉特征和音频特征输入至第二模态共有‑私有子空间，得到视觉表征和听觉表征；将所述视觉表征和听觉表征输入至注意力池化层，得到片段级别和视频级别的事件预测结果。本发明可以解决音视频事件检测任务中模态时序非对齐情况下的跨模态融合问题。

关键词：视觉特征子空间事件检测视觉表征音频特征第一模音视频听觉时序模态融合事件预测视频级别视频文件特征输入第二模多模态非对齐检测音池化模态聚合注意力视听融合

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一种体声波谐振器及其制备方法

一种体声波谐振器及其制备方法

引用

作者：秦瑞东母志强俞文杰 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括：于临时衬底设置单晶氮化铝或掺杂氮化铝为压电薄膜；依次设置第一电极层、布拉格反射结构、键合层，键合至键合衬底上；去除临时衬底，设置第二电极层和电引出结构。本发明通过... 详细信息

标准号: CN117081537A

本发明提供一种体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括：于临时衬底设置单晶氮化铝或掺杂氮化铝为压电薄膜；依次设置第一电极层、布拉格反射结构、键合层，键合至键合衬底上；去除临时衬底，设置第二电极层和电引出结构。本发明通过单晶氮化铝的压电薄膜材料选择，提高器件性能；同时设置布拉格反射结构在键合层上，使键合层对谐振器性能影响小，可选用多种键合材料和键合工艺，提高制备过程的可实现性；另外对压电薄膜的减薄，去除质量较差的压电薄膜提高器件性能；最后配合布拉格反射结构和键合工艺制造固态装配型的体声波谐振器，可提高谐振器机械强度，改善衬底的导热性能，减小体声波谐振器因温度造成的谐振频率漂移，实现更高功率密度。

关键词：布拉格反射压电薄膜键合层衬底体声波谐振器单晶氮化铝键合工艺器件性能去除制备漂移压电薄膜材料声波谐振器谐振器性能导热性能第二电极第一电极键合材料谐振频率依次设置引出结构制备过程氮化铝高功率谐振器装配型减薄减小键合种体掺杂制造配合

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