检索结果-内蒙古大学图书馆

与时俱进跨越发展——上海微系统与信息技术研究所不断凝练新目标努力做出新贡献

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中国科学院院刊 2003年第3期18卷 225-227页

作者：封松林上海微系统与信息技术研究所上海200050

2001年8月,上海微系统与信息技术研究所(简称上海微系统所)正式更名,拉开了新时期跨越发展新的一幕.

关键词：上海微系统与信息技术研究所与时俱进跨越式发展发展目标发展战略科技创新

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用于射频传输线制备的YBCO薄膜工艺开发与特性研究

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物理学报 2025年第5期74卷 186-194页

作者：田清文原蒲升余慧勤汪书娜刘晓宇李凌云尤立星上海大学微电子学院上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

本文介绍了一种由超导带材机械冷剥离薄膜制备共面波导柔性传输线的工艺方法.剥离加工后的YBCO薄膜超导转变温度宽度为0.79 K,相较于原带材的转变宽度升高了0.3 K,在77 K,0 T下临界电流密度为7.7×10^(5)A/cm^(2),具有带材75%以上... 详细信息

本文介绍了一种由超导带材机械冷剥离薄膜制备共面波导柔性传输线的工艺方法.剥离加工后的YBCO薄膜超导转变温度宽度为0.79 K,相较于原带材的转变宽度升高了0.3 K,在77 K,0 T下临界电流密度为7.7×10^(5)A/cm^(2),具有带材75%以上的临界电流密度.将剥离的YBCO薄膜制成长12 cm、宽1 cm PI-YBCO-PI三层结构的传输线,测得40-4.2 K的漏热值为0.238 mW.在1 cm宽的YBCO薄膜上制备5条信号通道,仿真得相邻信号通道间的串扰小于-40 dB,每条通道在9 GHz处的插损小于-2 dB,每条信号通道的漏热值为47.6μW.

关键词： YBCO 薄膜柔性传输线跨温区互连

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用于气相色谱分离的金属有机框架固定相的研究进展

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分析化学 2025年第1期53卷 1-13页

作者：金言李文博祝雨晨赵斌李磊郑丹冯飞上海应用技术大学化学与环境工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

金属有机框架（MOFs）材料是金属离子或金属簇和有机配体通过配位作用构筑而成的多孔材料，具有比表面积大、热稳定性好和孔径可调等优点，在气相色谱分离领域具有广阔的应用前景。近年来，用于气相色谱固定相的MOFs材料主要包括ZIF、MI... 详细信息

金属有机框架（MOFs）材料是金属离子或金属簇和有机配体通过配位作用构筑而成的多孔材料，具有比表面积大、热稳定性好和孔径可调等优点，在气相色谱分离领域具有广阔的应用前景。近年来，用于气相色谱固定相的MOFs材料主要包括ZIF、MIL、UiO-66、HKUST-1和IRMOFs等。基于分子筛效应、范德华力、氢键和π-π相互作用等不同分离机制，可对MOFs固定相材料的孔径、孔道微环境、框架结构、不饱和金属位点和特殊官能团进行有针对性的设计与调控。以MOFs材料为固定相的气相色谱柱对正构烷烃及其异构体、芳香族化合物及其异构体、醇/酮/醛类及其异构体与手性化合物表现出独特的分离性能。将有机聚合物和新型纳米材料与MOFs材料进行复合，可提高MOFs固定相材料的分离性能和稳定性。因此，MOFs材料有望成为一种可应用于复杂环境气体分离的固定相材料。本文主要对近年来不同种类MOFs气相色谱固定相材料的研究进展进行了综述，讨论了其作为气相色谱固定相对混合气体的分离效果及其分离机理，并展望了其未来的发展方向。

关键词：金属有机框架气相色谱固定相色谱分离评述

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基于同步辐射的SGT MOSFET失效无损检测技术

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半导体技术 2025年第2期50卷 181-186页

作者：万荣桂郑理王丁周学通沈玲燕程新红上海理工大学材料与化学学院上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200042

屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损... 详细信息

屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损坏器件的前提下,将烧毁点定位在元胞区域的漂移区。采用开盖检测方式验证了烧毁点位置的准确性,并且通过扫描电子显微镜(SEM)表征烧毁点的微观形貌。最后,通过仿真软件模拟芯片表面的三维图形,并利用TCAD仿真揭示了UIS的失效机理,即电流集中所产生的高温致使漂移区的硅融化。失效机理与实验结果相吻合。

关键词：屏蔽栅沟槽型功率MOSFET 雪崩失效同步辐射无损检测截面拓扑

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R448A和R404A在高低温试验箱中的制冷特性研究

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制冷学报 2025年第1期46卷 116-123页

作者：刘知昊王子龙张华郜文静田子傲胡常青杨斌上海理工大学能源与动力工程学院上海200093 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 上海铂世光半导体科技有限公司上海201700

目前高低温试验箱制冷系统存在能耗高和制冷效率低的问题。为了提高系统运行效率并符合低碳环保的发展方向,搭建了高低温试验箱补气增焓系统,并选取新型制冷剂R448A和R404A进行实验研究,研究了不同制冷剂充注量和压缩机频率对制冷系统... 详细信息

目前高低温试验箱制冷系统存在能耗高和制冷效率低的问题。为了提高系统运行效率并符合低碳环保的发展方向,搭建了高低温试验箱补气增焓系统,并选取新型制冷剂R448A和R404A进行实验研究,研究了不同制冷剂充注量和压缩机频率对制冷系统性能的影响。实验结果表明:随着充注量的增加,R404A和R448A系统的制冷量和COP均先升高后减小,R448A系统的最大制冷量和COP分别比R404A系统高11.3%和10.4%;R448A系统的功耗均小于R404A系统,在充注量为2.0 kg时,R448A系统的功耗比R404A系统低7.5%。随着压缩机频率的增加,压缩机功耗和制冷量均增大,R448A制冷量的增幅比R404A高7.7%,而压缩机功耗的增幅比R404A低1.9%。

关键词：高低温试验箱补气增焓 R448A 压缩机频率制冷剂充注量

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“伏羲农场”:智慧农业技术集成创新的实践探索与思考

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中国科学院院刊 2025年第2期40卷 301-309页

作者：张玉成张晓博高树琴郑聪聪张景尧文亚李禄军王卓李铁赵洪龙中国科学院计算技术研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 中国科学院可持续发展研究局北京100864 中国科学院东北地理与农业生态研究所长春130102 中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

将人工智能技术深度融入农业生产实践,是提高农业生产效率、保障国家粮食安全的有效途径,也是给农业生产插上科技翅膀的重要举措。为了实现人工智能技术和产品落地应用,并形成智慧农业生产体系,最有效的方式是在不同类型农业生态区建立... 详细信息

将人工智能技术深度融入农业生产实践,是提高农业生产效率、保障国家粮食安全的有效途径,也是给农业生产插上科技翅膀的重要举措。为了实现人工智能技术和产品落地应用,并形成智慧农业生产体系,最有效的方式是在不同类型农业生态区建立具有一定种植规模的智慧农场示范样板,形成成套的技术体系和可复制的推广范式,这也是检验并优化人工智能赋能农业生产效果的最高效的方式。文章分析了发达国家典型智慧农场的建设经验,以及我国智慧农场发展的现状,着重探讨了我国“伏羲农场”智慧农业生产体系构建的内容、实施路径和应用实践;最后,对进一步高质量构建以“伏羲农场”为代表的我国特色智慧农场生产体系提出建议。

关键词：人工智能智慧农场大模型大数据新农人

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AI们都在做什么

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科学画报 2025年第3期 38-39页

作者：鲍海飞中国科学院上海微系统与信息技术研究所

在科技飞速发展的时代,人工智能(AI)已悄然渗透到各个领域,引发了一系列令人惊叹的变革.在无影灯下,AI助力医生突破手术困境,精准判断病灶;在浩瀚星空下,AI与天文学家携手,试图破解外星生命之谜;在古老遗址,AI帮助考古学家解读神秘文字...

在科技飞速发展的时代,人工智能(AI)已悄然渗透到各个领域,引发了一系列令人惊叹的变革.在无影灯下,AI助力医生突破手术困境,精准判断病灶;在浩瀚星空下,AI与天文学家携手,试图破解外星生命之谜;在古老遗址,AI帮助考古学家解读神秘文字,探寻历史的隐秘角落.让我们跟随AI小艾、小矮和小爱,一同走进这场AI主导的科技与人文的奇妙之旅,见证AI如何重塑传统行业,开启全新的认知大门.

关键词：

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氧化镓异质衬底集成技术研究进展

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人工晶体学报 2025年第3期54卷 470-490页

作者：瞿振宇徐文慧江昊东梁恒硕赵天成谢银飞孙华锐邹新波游天桂齐红基韩根全欧欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室上海200050 上海科技大学信息科学与技术学院上海201210 哈尔滨工业大学(深圳) 微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室深圳518055 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室上海201800 杭州光学精密机械研究所杭州311421 西安电子科技大学微电子学院西安710071

超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离... 详细信息

超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离和离子束剥离转移三种氧化镓异质集成技术的最新研究进展,重点对比分析不同集成技术在材料质量、电学和热学特性及器件性能等方面的优缺点,并针对衬底种类、界面成键方式、过渡层厚度对纵向散热和电子输运的影响进行探讨。同时,本文对当前氧化镓异质集成技术所面临的挑战进行分析,并对氧化镓异质集成技术未来的发展趋势进行展望,旨在唤起国内氧化镓异质集成衬底相关研究,推动氧化镓异质集成器件开发,加快推进氧化镓材料和器件产业化应用。

关键词：氧化镓异质衬底集成异质外延机械剥离离子束剥离转移热管理

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高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件及工艺研究

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传感器与微系统 2025年第1期44卷 76-79页

作者：赵佳姜文铮周琮泉母志强中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机... 详细信息

本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机电耦合系数(k_(eff)^(2))。研究了电感耦合等离子体刻蚀(ICP)刻蚀工艺对Mo电极斜坡角度的影响,通过调控工艺参数可以实现侧壁倾角10°~90°大范围调节。研发了Cl_(2)/BCl_(3)/Ar混合气体作为反应气体的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜ICP刻蚀工艺,刻蚀速率高达100 nm/min并获得垂直的侧壁形貌。在此基础上成功制备出Al_(0.7) Sc_(0.3) N压电薄膜HBAR谐振器,k_(eff)^(2)达到0.24%,与纯氮化铝(AlN)相比具有显著的提升效果。

关键词：掺钪氮化铝高钪掺杂压电薄膜电感耦合等离子体刻蚀高次谐波体声波谐振器

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面向目标检测的视点规划方法综述

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中国图象图形学报 2025年第3期30卷 641-659页

作者：王健宇朱枫郝颖明王群赵鹏飞孙海波东北大学机器人科学与工程学院沈阳110169 中国科学院光电信息处理重点实验室沈阳110016 中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016 中国科学院大学北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

目标检测是计算机视觉领域的基础研究方向之一。由于图像采集时物体摆放密集、光照条件差等因素导致图像失去细节,当使用此类图像作为输入时,常规的目标检测算法对目标物的检测结果无法满足任务需求。为了解决这类问题,面向目标检测的... 详细信息

目标检测是计算机视觉领域的基础研究方向之一。由于图像采集时物体摆放密集、光照条件差等因素导致图像失去细节,当使用此类图像作为输入时,常规的目标检测算法对目标物的检测结果无法满足任务需求。为了解决这类问题,面向目标检测的视点规划这一智能感知方法应运而生,其可自主分析当前条件下影响检测任务的因素,调整相机的位姿参数规避影响,实现目标物准确检测。面向目标检测的视点规划方法不仅可以辅助计算机视觉的其他领域,也会为未来的智能化生活提供便利。为了反映其研究现状和最新进展,本文梳理了2007年以来的文献,对国内外的研究方法做出概括性总结。首先,以算法应用的场景维度和调整参数作为分类依据,将面向目标检测的视点规划方法分为二维像素调整的规划方法、三维空间移动的规划方法以及两者结合的规划方法3类,本文重点对前两类方法进行分析与总结。其次,解析每类方法的基本思想,并指出各类方法需解决的关键问题,然后对解决问题的主要研究方法进行归纳和分析,并总结各自的优点和局限性。除此之外,本文也对各类场景下可使用的数据集和评价指标进行简要介绍。最后,在目前方法的分析基础上,探讨面向目标检测的视点规划领域所面临的挑战,并对未来研究方法进行展望。

关键词：目标检测主动视觉参数调整视点规划智能感知

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