检索结果-内蒙古大学图书馆

传感技术学报 2008年第12期21卷 2097-2100页

作者：李源邹子英傅云霞傅星栗大超胡小唐上海市计量测试技术研究院上海201203 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,... 详细信息

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。

关键词：微机电系统微触觉测头尺寸测量纳米测量机

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垃圾焚烧飞灰的稳定化处置与资源化利用研究进展

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污染防治技术 2006年第5期19卷 31-35页

作者：宋玉张国卿杨瑾同济大学污染控制与资源化研究国家重点实验室上海200092 上海飞森环保科技有限公司上海200071 上海市计量测试技术研究院上海200233

随着垃圾焚烧处理日益广泛的应用,垃圾焚烧飞灰的稳定化处置和资源化利用成为一个亟待解决的问题.文中对垃圾焚烧飞灰的稳定化处置和资源化利用技术分别进行了综合论述,为飞灰的无害化和资源化处理提供参考.

关键词：生活垃圾飞灰稳定化资源化

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力学探针在材料选区力学性能测量上的应用

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上海金属 2003年第2期25卷 6-9页

作者：张俊秋赖倩茜李戈扬虞伟良郭飚上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030 上海市计量测试技术研究院

　介绍了力学探针的工作原理 ,并通过对不同应力状态下弹簧钢力学性能和TiN硬质薄膜力学性能的测量实例。

关键词：力学探针材料微区力学性能硬度弹性模具弹簧钢

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用于DWDM系统的双折射型Interleaver原理分析

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中国激光 2001年第11期28卷 1017-1020页

作者：蔡燕民王昕歌赵岭方祖捷陈高庭王向朝中国科学院上海光机所信息光学实验室上海201800 上海市计量测试技术研究院上海200040

介绍了交叉复用器 (Interleaver)在密集波分复用 (DWDM)光纤通信系统中的作用 ,利用各向异性晶体的双折射和偏振光的干涉分析了双折射型Interleaver器件的原理。

关键词：交叉复用器密集波分复用双折射光纤通信

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硅片少子寿命的直排四探针测试

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Journal of Semiconductors 2001年第3期22卷 292-294页

作者：周全德上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心) 上海市微电子分析测试重点实验室上海200233

用直排四探针方法测试硅抛光片的电阻率时 ,减少表面复合和增大测试电流故意引进注入使电阻率减少 ,根据电导率与少数载流子寿命成正指数增加的关系。

关键词：少子寿命直排四探针电阻率测试硅片

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硅外延S坑缺陷的研究

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固体电子学研究与进展 1999年第2期19卷 221-225页

作者：闵靖邹子英陈一姚保纲李积和上海市计量测试技术研究院上海微电子分析测试重点实验室复旦大学材料科学研究所上海硅材料厂

用扫描电镜、透射电镜和二次离子质谱研究了硅外延片中的Ｓ坑缺陷。在Ｓ坑缺陷中观察到一种线度比通常Ｓ坑更大的浅底坑缺陷。研究表明Ｓ坑缺陷分布在３～４μｍ深的外延表面层中，其结构为位错缠结及带有杂质沉淀的缺陷团。Ｓ坑缺陷起... 详细信息

用扫描电镜、透射电镜和二次离子质谱研究了硅外延片中的Ｓ坑缺陷。在Ｓ坑缺陷中观察到一种线度比通常Ｓ坑更大的浅底坑缺陷。研究表明Ｓ坑缺陷分布在３～４μｍ深的外延表面层中，其结构为位错缠结及带有杂质沉淀的缺陷团。Ｓ坑缺陷起因于金属杂质的沾污。

关键词：硅外延 S坑缺陷沉淀位错缠结外延生长

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以氧或水汽为源等离子体离子注入合成埋层二氧化硅

以氧或水汽为源等离子体离子注入合成埋层二氧化硅

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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

作者：闵靖吴晓虹邹子英市计量测试技术研究院上海微电子分析测试重点实验室(上海) 市计量测试技术研究院上海微电子分析测试重点实验室

报道以氧或者水汽作为离了源以等离子体浸没离子注入（ＰⅢ）离子合成ＳＩＭＯＸ。我们研究了ＰⅢ离子合成埋层ＳｉＯ〈，２〉的工艺。用ＳＩＭＳ、ＸＴＥＭ等技术对样品进行了测试。

关键词：硅ＳＯＩ注氧隔离ＳＩＭＯＸ等离子体离子注入等离子体氧隔离ＳＰＩＭＯＸ顶层硅埋层ＳｉＯ〈，２〉

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硅片的背面处理

硅片的背面处理

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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：闵靖邹子英吴晓虹市计量测试技术研究院上海微电子分析测试重点实验室

抛光硅片的背面处理起吸除器件区重金属杂质和减少晶格缺陷的作用。该文用ＳＥＭ、ＴＥＭ和光学显微镜研究硅片背面的机械损伤、软损伤和多晶硅，分析了这些背面处理的吸杂机理。

关键词：硅片背面处理重金属杂质晶格缺陷清除

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带钢表面质量在线检测系统

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上海计量测试 1999年第1期26卷 22-23页

作者：刘钢傅云霞孙建民沈伟民沈祖善上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室

本文介绍一种带钢表面质量在线检测系统，该系统由照明光源、光学成象物镜、线阵CCD、A／D转换器、编码器、图像存储单元、阈值存储单元、缺陷亮暗判别单元、缺陷分类统计单元、接口控制部分、单片机和PC机组成。经实测，系统实时准确... 详细信息

本文介绍一种带钢表面质量在线检测系统，该系统由照明光源、光学成象物镜、线阵CCD、A／D转换器、编码器、图像存储单元、阈值存储单元、缺陷亮暗判别单元、缺陷分类统计单元、接口控制部分、单片机和PC机组成。经实测，系统实时准确检测出带钢上下表面存在的划痕、起皮、麻点、辊印、锈斑等缺陷，最高分辨能力可达0．05mm。

关键词：带钢轧制表面质量在线检测检测质量

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在线检测仪器量值溯源现状及对策

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上海计量测试 1999年第1期26卷 18-21页

作者：蔡明钢蒋秀兰邵力祝逸庆傅云霞上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室

随着我国经济的飞速发展，自动化生产已成为各行各业发展的主流。同时，作为产品质量技术保证手段的多参数。智能化在线检测仪器得到越来越广泛的应用。但由于种种原因，在线检测仪器的量值溯源目前依然存在着不少盲点。本文在对上海地... 详细信息

随着我国经济的飞速发展，自动化生产已成为各行各业发展的主流。同时，作为产品质量技术保证手段的多参数。智能化在线检测仪器得到越来越广泛的应用。但由于种种原因，在线检测仪器的量值溯源目前依然存在着不少盲点。本文在对上海地区在线检测仪器现状进行调研的基础上，总结了各行各业较普遍使用的在线检测仪器种类及量值溯源现状；分析了目前在线检测仪器量值溯源中存在的问题；并从质量意识。技术规范和技术手段等几方面剖析了问题存在的原因；提出了新形势下有效开展在线检测仪器现场校准和量值溯源的设想和建议。

关键词：计量管理量值溯源在线检测仪器

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