检索结果-内蒙古大学图书馆

传感技术学报 2012年第12期25卷 1653-1658页

作者：苗静何常德廉德钦张慧于佳琪宛克敬薛晨阳张文栋中北大学电子测试国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SO... 详细信息

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。

关键词：超声传感器一体化全振薄膜 ANSYS 电容硅晶圆键合灵敏度

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系研究

引用

传感技术学报 2012年第9期25卷 1246-1250页

作者：刘爱莉范锦彪张茹开王永芳中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性... 详细信息

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性的影响。得出阻尼比范围在0.10～0.25时高g值压阻加速度计动态特性较好,并通过实验验证了仿真分析的正确性,为设计过程中阻尼参数的调整提供了重要依据。

关键词：高g值加速度计阻尼建模仿真压阻式动态特性

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析

引用

传感技术学报 2012年第4期25卷 483-486页

作者：唐军赵锐石云波刘俊中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到... 详细信息

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。

关键词： MEMS 大量程加速度传感器冲击测试高过载失效

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化

引用

传感技术学报 2012年第10期25卷 1361-1364页

作者：郭浩唐军张斌珍刘俊薛慧丁宇凯中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的"台阶区",提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同... 详细信息

首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的"台阶区",提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同时也通过增大RTD结构的台面积大小,有效的消除了负阻区的"台阶区",并使其负阻区的阻值增大为-0.06Ω,提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度。

关键词： RTD 力电耦合偏压灵敏度台阶效应

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

SOI纳米波导的优化制备与弯曲损耗测试

引用

传感技术学报 2012年第11期25卷 1498-1502页

作者：臧俊斌薛晨阳韦丽萍王景雪崔丹凤王永华仝晓刚中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱... 详细信息

主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱功率法等研究手段精确测试了在高纯氮退火和BOE腐蚀后处理不变的情况下,不同温度热氧化退火处理下的波导侧壁粗糙度和对应的弯曲损耗,结果表明:波导的侧壁粗糙度随退火温度的变化近似呈二次抛物线变化趋势,在900℃附近达到最低值2.1 nm,对应的半径15μm的环形波导的弯曲损耗为(0.0109±0.001)dB/turn,其损耗值与理论分析结果一致。利用这一结论就可以通过选择不同的优化处理条件来减小环形波导的弯曲损耗,从而实现光能量的高效传输。

关键词： SOI 纳米光波导 MEMS 粗糙度弯曲损耗

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

回收式固态弹载记录仪抗高冲击设计

引用

传感技术学报 2012年第8期25卷 1045-1048页

作者：刘建伟裴东兴尤文斌武耀艳中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对某型导弹参数测试装置需弹载、硬着陆回收的要求,本设计重点对回收式固态存储记录仪的抗高冲击性进行了深入研究。机械壳体采用经特殊热处理后的高强度35CrMnSiA材料,内部电路用环氧树脂灌封,有效地提高了存储记录仪的抗高冲击的能... 详细信息

针对某型导弹参数测试装置需弹载、硬着陆回收的要求,本设计重点对回收式固态存储记录仪的抗高冲击性进行了深入研究。机械壳体采用经特殊热处理后的高强度35CrMnSiA材料,内部电路用环氧树脂灌封,有效地提高了存储记录仪的抗高冲击的能力。首先采用有限元软件ANSYS/LS DYNA对记录仪机械壳体模拟了冲击过程进行了仿真,然后对环氧树脂不同灌封工艺进行对比,并做了马歇特锤冲击试验,最终找到了最佳灌封工艺,使固态存储记录仪达到了最佳抗冲击能力。

关键词：固态存储记录仪抗高冲击灌封工艺存储测试固化成型

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种新型MEMS矢量水听器的设计

引用

压电与声光 2012年第1期34卷 89-92页

作者：许姣李俊张国军石归雄张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双"T"型微机电系统(MEMS)矢量水听器。该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化。采用ANSYS仿真,得出1阶共振... 详细信息

针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双"T"型微机电系统(MEMS)矢量水听器。该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化。采用ANSYS仿真,得出1阶共振频率为1 840Hz,压敏电阻位置距离梁根部180μm。对此结构进行声学封装与测试,测试结果表明,该水听器在1kHz的灵敏度达到-175dB,工作频段为100Hz～4kHz,具有良好的"8"指向性。

关键词：矢量水听器微机电系统(MEMS) 封装与测试 ANSYS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种用于管道地面标记的MEMS仿生矢量声传感器

引用

压电与声光 2012年第6期34卷 882-885,889页

作者：葛晓洋张国军杜春晖王晓瑶宋小鹏张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

随着管道越埋越深,基于声检测原理的地面标记是现今管道技术的发展趋势。针对目前对管道内检测器标记难的现状,首次提出一种高灵敏度、高信噪比、高分辨率的新型MEMS仿生矢量声传感器运用到地面标记系统中。该文将该传感器与目前广泛应... 详细信息

随着管道越埋越深,基于声检测原理的地面标记是现今管道技术的发展趋势。针对目前对管道内检测器标记难的现状,首次提出一种高灵敏度、高信噪比、高分辨率的新型MEMS仿生矢量声传感器运用到地面标记系统中。该文将该传感器与目前广泛应用在地面标记系统中的压电陶瓷振动传感器和动圈式高灵敏度地震检波器进行了不同的模拟对比实验。实验结果表明,MEMS仿生矢量声传感器具有检测距离长,可靠性能好,对土壤环境要求低等优点,从而验证了MEMS仿生矢量声传感器检测微弱信号的可行性和其在标记定位管道内检测器方向的良好的应用前景。

关键词：地面标记微弱信号检测声检测 MEMS仿生矢量声传感器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

多级蓝牙无线数据采集传输系统

引用

核电子学与探测技术 2012年第4期32卷 412-415页

作者：陈佩珩杨卫王正言中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

提出一种基于单片机、多级蓝牙模块的高速、高旋飞行弹体无线数据采集传输系统,系统以多级蓝牙模块无线传输系统为核心,通过软硬件实现炮弹发射前初始参数、弹体出炮口初速等数据采集、发送、接收、处理的目的。实践证明,多级蓝牙无线... 详细信息

提出一种基于单片机、多级蓝牙模块的高速、高旋飞行弹体无线数据采集传输系统,系统以多级蓝牙模块无线传输系统为核心,通过软硬件实现炮弹发射前初始参数、弹体出炮口初速等数据采集、发送、接收、处理的目的。实践证明,多级蓝牙无线数据传输系统在恶劣电磁屏蔽和高速旋转环境中可以可靠传输数据,为各种型号火炮初始、炮口初速等参数的装订、传输提供了应用依据[1]。

关键词：单片机蓝牙模块无线传输数据装订

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

MEMS压阻式加速度传感器的优化设计

引用

压电与声光 2012年第6期34卷 848-852页

作者：杜春晖何常德葛晓洋于佳琪熊继军张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学测试技术重点实验室山西太原030051

提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,... 详细信息

提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,得出该传感器具有更高的抗横向耦合性,约为八悬臂梁结构的30倍。

关键词：电阻对称分布抗耦合性压阻式三维加速度传感器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：