检索结果-内蒙古大学图书馆

本文介绍了一种基于平面环形微腔的芯片级高灵敏度加速度计设计,其原理是通过检测悬臂梁上环形谐振腔透射谱共振峰的频移来测量加速度的微小变化。我们从理论上系统分析由于微腔半径、局部折射率等变化引起腔中光程差改变从而导致自由光谱和相位变化与加速度变化之间的对应关系,并利用ANSYS软件仿真其结构的可行性。同时,利用BeamPROP软件模拟了平面环形微腔中的光谱变化。

关键词：平面环形微腔星载加速度计自由光谱环形谐振腔 ANSYS软件

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MEMS高g值加速度传感器封装技术研究

MEMS高g值加速度传感器封装技术研究

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中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

作者：张琼石云波祁晓瑾李珺泓刘俊电子测试技术国家重点实验室，中北大学，山西，太原030051 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，中北大学，山西，太原030051

本文以一种自制的四梁结构压阻式高g值MEMS加速度传感器芯片的封装为研究对象，从模态及静态角度分析了封装对高g值加速度计的影响，并对封装过程中芯片粘结工艺产生的残余应力进行了热应力仿真分析，最后通过拉曼测试进行验证。结果表... 详细信息

本文以一种自制的四梁结构压阻式高g值MEMS加速度传感器芯片的封装为研究对象，从模态及静态角度分析了封装对高g值加速度计的影响，并对封装过程中芯片粘结工艺产生的残余应力进行了热应力仿真分析，最后通过拉曼测试进行验证。结果表明，封装对高g值加速度计的前三阶固有频率影响较小;对三种常用材料而言，不锈钢材料更适合作为封装材料;同时，研究表明，封装会降低结构的灵敏度，这与封装材料及粘结材料的杨氏模量有关;封装中，芯片粘结工艺会产生较大的残余应力，温度固化过程热残余应力的仿真可以作为器件设计及封装设计的参考依据。

关键词：高g值加速度传感器 MEMS 芯片封装有限元分析残余应力

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抑制弧光干扰的电磁炮光幕测速方法

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火力与指挥控制 2014年第4期39卷 30-33页

作者：赵辉徐伟东马铁华袁伟群丁伟杰中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院电力电子与电力驱动重点实验室北京100190 太原理工大学电气与动力工程学院太原030024

电磁轨道炮发射中,电枢与导轨间的高速、带电滑动,使电枢出炮口时产生强烈的弧光,严重干扰激光光幕测速系统对电枢速度进行测试。通过对试验数据进行计算、分析,得到电枢与弧光从炮口至测试点之间的运动关系。通过对弧光光谱进行测量,... 详细信息

电磁轨道炮发射中,电枢与导轨间的高速、带电滑动,使电枢出炮口时产生强烈的弧光,严重干扰激光光幕测速系统对电枢速度进行测试。通过对试验数据进行计算、分析,得到电枢与弧光从炮口至测试点之间的运动关系。通过对弧光光谱进行测量,提出改进方法,选择中心波长为780 nm的窄带干涉滤光片对弧光进行抑制,改进激光光幕测速系统,并进行了相应试验。结果表明:改进后的激光光幕测速系统能有效抑制弧光干扰,在相对复杂的测试环境中,具有较高测试性能,满足电磁轨道炮速度测试要求。

关键词：电磁轨道炮弧光激光光幕速度测量

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声和磁传感器在车辆检测中的应用

声和磁传感器在车辆检测中的应用

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中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

作者：朱政强石云波王永龙电子测试技术国家重点实验室，中北大学，山西，太原030051 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，中北大学，山西，太原030051

介绍了各向异性磁阻传感器与声传感器的测量原理，并将HMC1002与声传感器组合的探测器，用于测量车辆的存在，方向和类别。当车辆驶过探测器上方时,车辆的存在将会引起周围磁场的变化,同时车辆的不同方向行驶，AMR传感器输出将发生不同... 详细信息

介绍了各向异性磁阻传感器与声传感器的测量原理，并将HMC1002与声传感器组合的探测器，用于测量车辆的存在，方向和类别。当车辆驶过探测器上方时,车辆的存在将会引起周围磁场的变化,同时车辆的不同方向行驶，AMR传感器输出将发生不同的变化,根据AMR传感器的输出可判断周围空间内车辆的存在与方向;根据对不同车型的声信号分析可以得到不同的噪声频率;该探测器可实现车辆探测的存在，方向和一定程度上的车型识别。

关键词：各向异性磁阻传感器声传感器车辆探测器电容式麦克风车型识别

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声矢量阵列的求根MUSIC算法及其性能分析

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测试技术学报 2010年第2期24卷 146-151页

作者：王鹏张国军熊继军中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学理学院山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

在传统声压传感器阵列的求根MUSIC算法的基础上,提出了基于矢量传感器阵列的求根MUSIC算法及其修正形式,通过接收阵列信号的空间谱,选择合适的引导方位,可实现声源的波达方向(DOA)估计.理论推导和仿真实验表明,采用均匀矢量传感器线性... 详细信息

在传统声压传感器阵列的求根MUSIC算法的基础上,提出了基于矢量传感器阵列的求根MUSIC算法及其修正形式,通过接收阵列信号的空间谱,选择合适的引导方位,可实现声源的波达方向(DOA)估计.理论推导和仿真实验表明,采用均匀矢量传感器线性阵列的求根MUSIC算法在低信噪比、小快拍数情况下的估计性能要优于传统声压传感器阵列的求根MUSIC算法,同时该算法的计算量远远小于矢量传感器列的MUSIC算法.

关键词：声矢量阵列声压阵列求根MUSIC算法波达方向空间谱

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静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究

静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究

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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：王瑞荣杜康石云波刘俊中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍. 与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米... 详细信息

对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍. 与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工，较好地实现了工艺的兼容. 通过对结构进行模态仿真，确定了陀螺的固有频率.

关键词：静电驱动压阻检测结构设计微机械陀螺加工工艺

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内存映射文件在大容量采编数据处理中的应用