检索结果-内蒙古大学图书馆

传感技术学报 2016年第10期29卷 1625-1630页

作者：霍新明靳鸿李祖博中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

存储测试非常适合于旋转轴扭矩测试,但是存储测试需事后回收处理,无法现场观测数据,且参数设置固定。针对上述问题,结合履带式车辆传动轴扭矩测试情况,以存储测试为基础结合Zigbee无线技术,设计了基于Lab VIEW上位机控制的无线存储测试... 详细信息

存储测试非常适合于旋转轴扭矩测试,但是存储测试需事后回收处理,无法现场观测数据,且参数设置固定。针对上述问题,结合履带式车辆传动轴扭矩测试情况,以存储测试为基础结合Zigbee无线技术,设计了基于Lab VIEW上位机控制的无线存储测试系统,利用Zigbee无线网络实现无线触发和多次重触发,并回传测试开始后的少量数据,根据回传数据调整测试单元的参数。实验结果表明该测试系统存储测试与无线技术能有效结合,充分发挥各自的技术优势,提高了测试效率和数据的可靠性,具有良好的应用前景。

关键词：仪器仪表工程扭矩测试无线传输存储测试 LabVIEW

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基于SOI的三轴压阻微加速度计的设计

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传感技术学报 2008年第3期21卷 454-456页

作者：石云波孟美玉刘俊马宗敏中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计。采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测... 详细信息

为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计。采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测。运用ANSYS软件对结构进行建模仿真,最后设计了一套可行的工艺流程。

关键词：压阻式三轴 SOI 工艺

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用于细胞排列的介电泳微流控芯片制备与实验研究

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分析化学 2014年第11期42卷 1568-1573页

作者：张洋张晓飞白国花方明谭秋林熊继军孙东中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室香港城市大学机械及生物医学工程系

设计并制作了一种应用于细胞排列的介电泳微流控芯片,以实现细胞的非接触、批量排列。芯片主要包括PDMS微通道和"台阶"形ITO微电极。运用仿真软件COMSOL分析了微电极所形成的电场分布,确定了最大电场强度的位置;利用MEMS加工... 详细信息

设计并制作了一种应用于细胞排列的介电泳微流控芯片,以实现细胞的非接触、批量排列。芯片主要包括PDMS微通道和"台阶"形ITO微电极。运用仿真软件COMSOL分析了微电极所形成的电场分布,确定了最大电场强度的位置;利用MEMS加工工艺制备了ITO微电极和PDMS微通道,PDMS微通道与带有ITO电极的载玻片经过氧等离子表面处理后,对准键合获得最终的微流控芯片。通过不同频率下的介电泳实验,实现了酵母菌细胞的介电泳运动,并确定了正、负介电泳运动的电场频率。结果表明,酵母菌细胞在溶液电导率为60μS/cm的环境下,1;0 kHz时,发生负介电泳运动;0.5;0 MHz时,发生正介电泳运动;50 kHz时,没有发生介电泳运动。并在施加8 Vp-p,5 MHz交流电压信号的条件下,实现了酵母菌细胞沿"台阶"形电极边缘直线排列。

关键词：介电泳微流控芯片有限元仿真细胞排列

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GaAs基共振遂穿二极管的材料结构研究

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固体电子学研究与进展 2011年第2期31卷 136-140页

作者：王杰张斌珍刘君唐建军谭振新贾晓娟高杰电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学太原030051

用分子束外延技术在半绝缘GaAs衬底上生长了三种不同材料结构的RTD。主要针对阱结构进行了对比设计,然后对设计结构进行了常温下的I-V特性测试,测试结果中器件的PVCR值最高达到了6,VP降低到了0.41V。同时常温下测试了其中一种设计结构... 详细信息

用分子束外延技术在半绝缘GaAs衬底上生长了三种不同材料结构的RTD。主要针对阱结构进行了对比设计,然后对设计结构进行了常温下的I-V特性测试,测试结果中器件的PVCR值最高达到了6,VP降低到了0.41V。同时常温下测试了其中一种设计结构的敏感单元在四种不同发射极面积下的I-V特性曲线。最后对器件阱结构和发射极面积大小与器件直流特性的关系进行了分析总结,为设计性能更好的RTD结构提供了参考依据。

关键词：共振隧穿二极管 I-V特性砷化镓发射极

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高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系研究

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传感技术学报 2012年第9期25卷 1246-1250页

作者：刘爱莉范锦彪张茹开王永芳中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性... 详细信息

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性的影响。得出阻尼比范围在0.10～0.25时高g值压阻加速度计动态特性较好,并通过实验验证了仿真分析的正确性,为设计过程中阻尼参数的调整提供了重要依据。

关键词：高g值加速度计阻尼建模仿真压阻式动态特性

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基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计

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传感技术学报 2012年第12期25卷 1653-1658页

作者：苗静何常德廉德钦张慧于佳琪宛克敬薛晨阳张文栋中北大学电子测试国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SO... 详细信息

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。

关键词：超声传感器一体化全振薄膜 ANSYS 电容硅晶圆键合灵敏度

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LC无源无线气体传感器的制备及对NH_3气敏特性的研究

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传感技术学报 2017年第11期30卷 1643-1646页

作者：郭晓威谭秋林郭彦杰周天浩翟成瑞中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

采用酸化后的碳纳米管与聚苯胺掺杂作为传感器的气敏材料。通过丝网印刷技术将无铅铝浆印刷在氧化铝陶瓷基板上形成电感线圈,并将制备好的气敏材料涂覆到电感线圈上,制备出LC谐振式无源气体传感器。制作成气体传感器后在NH3气氛中进行... 详细信息

采用酸化后的碳纳米管与聚苯胺掺杂作为传感器的气敏材料。通过丝网印刷技术将无铅铝浆印刷在氧化铝陶瓷基板上形成电感线圈,并将制备好的气敏材料涂覆到电感线圈上,制备出LC谐振式无源气体传感器。制作成气体传感器后在NH3气氛中进行测试分析,实现了在密闭环境下的非接触测量。重点分析了在室温下NH3气体的浓度对传感器谐振频率f0的变化及响应恢复时间的影响,结果表明气体浓度在300×10-6时,传感器的灵敏度为4.499 MHz。

关键词：无线无源传感器碳纳米管气敏特性 LC谐振

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复合射孔及爆燃压裂动态测试数据分析

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传感技术学报 2014年第3期27卷 337-341页

作者：雷霄裴东兴崔春生张红艳中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了深入研究复合射孔器工作机理,利用高速井下测试仪全面获取了常规、内置式、外套式、爆燃压裂四类射孔/压裂完井工艺的井下动态数据,并结合施工工艺参数对这些数据进行了分析。数据分析显示,四类复合射孔测试的峰值压力在30 MPa^140 ... 详细信息

为了深入研究复合射孔器工作机理,利用高速井下测试仪全面获取了常规、内置式、外套式、爆燃压裂四类射孔/压裂完井工艺的井下动态数据,并结合施工工艺参数对这些数据进行了分析。数据分析显示,四类复合射孔测试的峰值压力在30 MPa^140 MPa之间;压力脉冲持续时间因工作机理不同相差很大:爆燃压裂时间最长为305 ms,常规射孔最短为0.272ms,井下动压作用特性主要取决于复合火药装药量和起爆方式。这些实测数据为建立井下复合射孔动态过程模型和提升复合射孔器性能提供了重要的参考依据。

关键词：动态压力数据分析爆燃压裂石油井下

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弹载全弹道多参数测试仪

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传感技术学报 2014年第7期27卷 993-996页

作者：祁少文范锦彪王燕马铁华电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了准确测量引信在膛内及飞行过程的动态参数,设计了一种可置于引信内部通用、灵活的微型多参数测试仪,它具有小体积、微功耗、抗高冲击等特点。该测试仪使用了薄膜线圈和加速度传感器,成功获取了引信在膛内和发射过程的三轴加速度及... 详细信息

为了准确测量引信在膛内及飞行过程的动态参数,设计了一种可置于引信内部通用、灵活的微型多参数测试仪,它具有小体积、微功耗、抗高冲击等特点。该测试仪使用了薄膜线圈和加速度传感器,成功获取了引信在膛内和发射过程的三轴加速度及转速信号。此研究对于引信、弹丸和火炮的设计和研究有着十分重要的意义。

关键词：动态存储测试弹载测试仪引信薄膜线圈转速

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高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析

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传感技术学报 2012年第4期25卷 483-486页

作者：唐军赵锐石云波刘俊中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到... 详细信息

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。

关键词： MEMS 大量程加速度传感器冲击测试高过载失效

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