检索结果-内蒙古大学图书馆

振动与冲击 2012年第21期31卷 94-97页

作者：崔春生马铁华祖静裴东兴沈大伟中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了准确测量引信在膛内及飞行过程的动态参数,设计了一种可置于引信内部的微型弹载电子测试仪,成功地获取了引信发射及飞行过程的三轴加速度、膛压以及转速等多种参数。根据实测信号特征可以将引信发射过程分为四个阶段:弹丸启动阶段... 详细信息

为了准确测量引信在膛内及飞行过程的动态参数,设计了一种可置于引信内部的微型弹载电子测试仪,成功地获取了引信发射及飞行过程的三轴加速度、膛压以及转速等多种参数。根据实测信号特征可以将引信发射过程分为四个阶段:弹丸启动阶段、高膛压加速阶段、出膛前过渡段和出炮口段,其中高膛压加速阶段和出炮口段的加速度值比较大,但是前者加速度值特征是振荡频率高幅值小,后者加速度峰值更高,而且振荡周期长,幅值大。该测试仪获取的相关数据准确可靠,是引信设计、研制、故障分析和性能评价急需的重要依据。

关键词：引信动态参数存储测试高冲击发射膛压三轴加速度转速

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复合射孔压力加载下铜柱测压计测试实验和数值分析

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爆炸与冲击 2012年第4期32卷 439-444页

作者：崔春生马铁华祖静中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

进行基于铜柱测压和实测压力时间曲线的石油井射孔压裂实验,建立铜柱测压计的数学模型,并采用交互式计算方法得出其作用过程的解析解。分析结果表明,井下射孔压裂过程中,压力上升沿很陡,活塞在外部压力达到峰值时,速度很大,会继续压缩... 详细信息

进行基于铜柱测压和实测压力时间曲线的石油井射孔压裂实验,建立铜柱测压计的数学模型,并采用交互式计算方法得出其作用过程的解析解。分析结果表明,井下射孔压裂过程中,压力上升沿很陡,活塞在外部压力达到峰值时,速度很大,会继续压缩铜柱直到速度为零。活塞的运动可以分为加速和减速撞击2个过程。活塞的最大速度决定了铜柱测压计最终测试值,且与速度成正比。射孔脉冲压力加载过程中铜柱测压计的误差取决于压力上升时间、脉冲宽度、峰值压力等影响因素。火炮膛压加载下铜柱测压计误差较小。

关键词：爆炸力学铜柱压力计复合射孔井下爆炸压力膛内压力

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高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系研究

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传感技术学报 2012年第9期25卷 1246-1250页

作者：刘爱莉范锦彪张茹开王永芳中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性... 详细信息

为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性,通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性的影响。得出阻尼比范围在0.10～0.25时高g值压阻加速度计动态特性较好,并通过实验验证了仿真分析的正确性,为设计过程中阻尼参数的调整提供了重要依据。

关键词：高g值加速度计阻尼建模仿真压阻式动态特性

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基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计

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传感技术学报 2012年第12期25卷 1653-1658页

作者：苗静何常德廉德钦张慧于佳琪宛克敬薛晨阳张文栋中北大学电子测试国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SO... 详细信息

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。

关键词：超声传感器一体化全振薄膜 ANSYS 电容硅晶圆键合灵敏度

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高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析

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传感技术学报 2012年第4期25卷 483-486页

作者：唐军赵锐石云波刘俊中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到... 详细信息

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。

关键词： MEMS 大量程加速度传感器冲击测试高过载失效

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MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化

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传感技术学报 2012年第10期25卷 1361-1364页

作者：郭浩唐军张斌珍刘俊薛慧丁宇凯中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的"台阶区",提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同... 详细信息

首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的"台阶区",提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同时也通过增大RTD结构的台面积大小,有效的消除了负阻区的"台阶区",并使其负阻区的阻值增大为-0.06Ω,提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度。

关键词： RTD 力电耦合偏压灵敏度台阶效应

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SOI纳米波导的优化制备与弯曲损耗测试

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传感技术学报 2012年第11期25卷 1498-1502页

作者：臧俊斌薛晨阳韦丽萍王景雪崔丹凤王永华仝晓刚中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱... 详细信息

主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱功率法等研究手段精确测试了在高纯氮退火和BOE腐蚀后处理不变的情况下,不同温度热氧化退火处理下的波导侧壁粗糙度和对应的弯曲损耗,结果表明:波导的侧壁粗糙度随退火温度的变化近似呈二次抛物线变化趋势,在900℃附近达到最低值2.1 nm,对应的半径15μm的环形波导的弯曲损耗为(0.0109±0.001)dB/turn,其损耗值与理论分析结果一致。利用这一结论就可以通过选择不同的优化处理条件来减小环形波导的弯曲损耗,从而实现光能量的高效传输。

关键词： SOI 纳米光波导 MEMS 粗糙度弯曲损耗

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回收式固态弹载记录仪抗高冲击设计

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传感技术学报 2012年第8期25卷 1045-1048页

作者：刘建伟裴东兴尤文斌武耀艳中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对某型导弹参数测试装置需弹载、硬着陆回收的要求,本设计重点对回收式固态存储记录仪的抗高冲击性进行了深入研究。机械壳体采用经特殊热处理后的高强度35CrMnSiA材料,内部电路用环氧树脂灌封,有效地提高了存储记录仪的抗高冲击的能... 详细信息

针对某型导弹参数测试装置需弹载、硬着陆回收的要求,本设计重点对回收式固态存储记录仪的抗高冲击性进行了深入研究。机械壳体采用经特殊热处理后的高强度35CrMnSiA材料,内部电路用环氧树脂灌封,有效地提高了存储记录仪的抗高冲击的能力。首先采用有限元软件ANSYS/LS DYNA对记录仪机械壳体模拟了冲击过程进行了仿真,然后对环氧树脂不同灌封工艺进行对比,并做了马歇特锤冲击试验,最终找到了最佳灌封工艺,使固态存储记录仪达到了最佳抗冲击能力。

关键词：固态存储记录仪抗高冲击灌封工艺存储测试固化成型

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不同偏压温度下非对称三势垒透射系数的模拟计算

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半导体光电 2012年第4期33卷 540-543,599页

作者：赵瑞娟安盼龙许丽萍杨艳中北大学电子测试技术国家重点实验室理学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

非对称多势垒可获得比双势垒更大的共振隧穿电流及更良好的峰谷比。通过分析单电子对任意势垒透射的理论模型,建立了任意非对称三势垒模型,研究了不同偏压和温度对透射系数的影响,并得出结论,为进一步设计非对称量子器件提供理论指导。

关键词：偏压温度非对称三势垒透射系数量子阱

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复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计

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弹箭与制导学报 2012年第5期32卷 149-151页

作者：徐香菊朱杰郭涛李文燕中北大学电子测试国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

在航空航天及武器系统中,传感器承受很大的冲击,这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试验测得优化后的结构能够抗20000g,能够有效地满足高过载高冲... 详细信息

在航空航天及武器系统中,传感器承受很大的冲击,这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试验测得优化后的结构能够抗20000g,能够有效地满足高过载高冲击环境的要求。

关键词：抗高过载复合量程加速度计 ANSYS

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