针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器,通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金森杆冲击校准装置,测试了传感器的灵敏度和频响特性。试验结果表明:该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为15.5 k Hz;Y轴方向的灵敏度为(0.517±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为16.9 k Hz。该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量,可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器。
精密时间基准测试仪需要高精度标准频率信号。针对传统晶体振荡器产生信号精度低、频率固定、长期稳定性差的问题,设计了基于FPGA的高精度信号源系统。系统采用小型铷原子钟PRS10产生参考信号,结合FPGA与上位机,设计了输出20 k Hz^40 MH...
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精密时间基准测试仪需要高精度标准频率信号。针对传统晶体振荡器产生信号精度低、频率固定、长期稳定性差的问题,设计了基于FPGA的高精度信号源系统。系统采用小型铷原子钟PRS10产生参考信号,结合FPGA与上位机,设计了输出20 k Hz^40 MHz的频率、波形可实时程控高精度信号源。测试5 MHz和10 MHz正弦信号,精度可达10-9量级,杂散在-64.4 d Bm以下,满足高精度标准频率信号的要求。
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