检索结果-内蒙古大学图书馆

人工晶体学报 2015年第1期44卷 61-65页

作者：吴传超安永泉王志斌杨常青张瑞山西省光电信息与仪器工程技术研究中心太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

采用化学机械抛光(CMP)的方法,自制抛光液作为研磨介质,对(50×50×1.5)mm3硒化锌(ZnSe)晶片抛光。通过分析抛光液的pH值、抛光盘转速、抛光液的磨料浓度、压力、抛光时间和抛光液流量等参数对CMP的影响,组合出最佳工艺参数,并... 详细信息

采用化学机械抛光(CMP)的方法,自制抛光液作为研磨介质,对(50×50×1.5)mm3硒化锌(ZnSe)晶片抛光。通过分析抛光液的pH值、抛光盘转速、抛光液的磨料浓度、压力、抛光时间和抛光液流量等参数对CMP的影响,组合出最佳工艺参数,并通过原子力显微镜和平晶测试方法对最佳工艺参数获得的ZnSe晶片进行测试,实验结果显示,ZnSe晶片抛光后的表面粗糙度Ra为0.578 nm,平面面形误差小于1.8μm。

关键词： ZnSe晶片化学机械抛光表面粗糙度

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基于声光滤光和液晶相位调谐的高光谱全偏振成像新技术

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物理学报 2015年第14期64卷 78-85页

作者：李克武王志斌杨常青张瑞王耀利宋雁鹏山西省光电信息与仪器工程技术研究中心太原030051 中北大学信息与通信工程学院太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为了获取高光谱分辨率、高空间分辨率、高偏振精度、高信噪比和稳定性好的全部Stokes参量光谱图像,考虑到声光可调谐滤光器(acousto-optical tunable filter,AOTF)的±1级衍射光的正交特性,提出用一个AOTF滤光,一个液晶可变延迟器(l... 详细信息

为了获取高光谱分辨率、高空间分辨率、高偏振精度、高信噪比和稳定性好的全部Stokes参量光谱图像,考虑到声光可调谐滤光器(acousto-optical tunable filter,AOTF)的±1级衍射光的正交特性,提出用一个AOTF滤光,一个液晶可变延迟器(liquid crystal variable retarder,LCVR)进行相位调制和两个CCD相机分别对±1级衍射光成像的高光谱全偏振成像新技术.从所采用的光学元件的穆勒矩阵出发,阐述了该技术的基本工作原理;理论分析表明,LCVR不但不会影响到第一个Stokes参量的探测精度,而且后3个Stokes参量的相对误差分别优于0.064%,0.31%和3.97%;利用原理样机获取了450—700 nm、光谱带宽为10 nm的26个光谱通道的图像数据,成像质量良好;以工作波长为600 nm的入射光为例,对其全部Stokes参量图像进行了具体分析讨论.结果表明,该新技术原理正确,方案可行.该研究可为光谱偏振成像技术提供新的理论和实现方案.

关键词：光谱偏振 Stokes参量

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基于改进的四阶各向异性扩散的中值先验重建算法

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中北大学学报（自然科学版） 2015年第5期36卷 585-591,606页

作者：高小帆张权刘祎张芳孙未雅桂志国中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对只能提供有限局部先验信息的最大后验法可以使重建后的图像出现阶梯状边缘伪影和过度平滑等缺点,提出了一种基于改进四阶各向异性扩散的中值先验重建算法.该算法首先在中值先验分布重建算法的目标函数中加入先验信息,用于保真图像... 详细信息

针对只能提供有限局部先验信息的最大后验法可以使重建后的图像出现阶梯状边缘伪影和过度平滑等缺点,提出了一种基于改进四阶各向异性扩散的中值先验重建算法.该算法首先在中值先验分布重建算法的目标函数中加入先验信息,用于保真图像的细节;然后针对重建图像依然存在块状伪影的问题,在每次迭代中对重建的图像进行改进的四阶偏微分降噪处理,从而使图像得到进一步的优化.仿真实验结果表明,该重建算法可以在对重建图像进行降噪的同时很好地保持图像的边缘和细节,获得高信噪比以及高质量的图像.

关键词：最大后验局部先验过度平滑四阶各向异性扩散中值先验重建

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沿光轴通光的LiNbO_3的横向电光调制特性

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光学精密工程 2015年第5期23卷 1227-1232页

作者：李克武王志斌张瑞王国梁王耀利山西省光电信息与仪器工程技术研究中心山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的... 详细信息

为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的调制性能做了实验分析。研究结果表明,沿LiNbO3光轴方向通光的横向电光调制有相同的电光参量,折射率感应主轴的位置与电场方向有关;3种不同切型的横向体电光调制器的零场泄露均很小,静态消光比均优于1 000∶1,半波电压实测值与理论值的相对误差不超过1.7%;相同调制电压下,它们的调制深度相同,且调制性能稳定。该项研究可为该类电光调制器件的设计和应用提供参考,拓展它们在光通信和光学测量领域的应用。

关键词：铌酸锂电光晶体电光调制器横向电光调制晶体切型半波电压调制深度

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振动能量拾取MEMS压电式微能源研究

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压电与声光 2015年第2期37卷 320-323页

作者：杨杰燕乐许卓李惠琴陈东红丑修建中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

设计并制作了一种"四悬臂梁-中心质量块"结构的振动能量拾取微机电系统(MEMS)压电式微能源,实现了环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3,PZT)压电薄膜的异质集成制备;然后通过MEMS工艺... 详细信息

设计并制作了一种"四悬臂梁-中心质量块"结构的振动能量拾取微机电系统(MEMS)压电式微能源,实现了环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3,PZT)压电薄膜的异质集成制备;然后通过MEMS工艺和引线键合技术进行器件基础结构的集成制造;最后借助振动测试系统对该器件的各项输出性能进行测试。测试结果表明,8Hz谐振频率工作状态下,该压电式微能源器件的输出电压峰-峰值随着加速度激励的增加呈线性增大,当加速度激励为10 m/s2时,该能量采集器件的输出电压峰-峰值为82.4mV。在器件两端加载2.0 MΩ的负载时,器件输出功率密度达最大值(为2.074 3μW/cm3)。

关键词：压电效应微机电系统(MEMS) 振动微能源输出性能

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硅基MEMS红外光源制造及其辐射特性研究

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激光与红外 2015年第3期45卷 276-280页

作者：曹嘉峰孙玉虹王成孔龄婕陈晓勇许卓丑修建中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基MEMS红外辐射光源,该光源采用辐射功能层悬浮结构,主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层;采用硼离子注入技术对多晶硅... 详细信息

结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基MEMS红外辐射光源,该光源采用辐射功能层悬浮结构,主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层;采用硼离子注入技术对多晶硅辐射层进行掺杂改性,实现多晶硅辐射层良好的电阻加热和体辐射效应;采用光谱辐射计对MEMS红外光源辐射光谱进行测试,显示光谱辐射波段为2~14μm;光源驱动电压为5.8 V时,电光转化效率达9.76%,光源开启时间约为20 ms,关断时间约为10 ms,总驱动响应时间为30 ms。

关键词： MEMS红外光源多晶硅电光转化效率驱动响应时间

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硅基MEMS红外光源热稳定性测试研究

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红外技术 2015年第10期37卷 873-876,882页

作者：孔龄婕杨玉华张鹏贺婷丑修建中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

光电标识是完成识别和搜救任务的"眼睛"。作为"眼睛"核心组成器件,MEMS红外光源的工作稳定性对标识效果具有最直接的影响,而MEMS红外光源的工作稳定性取决于辐射薄膜的热稳定性,表现为辐射体薄膜结构工作电阻的动... 详细信息

光电标识是完成识别和搜救任务的"眼睛"。作为"眼睛"核心组成器件,MEMS红外光源的工作稳定性对标识效果具有最直接的影响,而MEMS红外光源的工作稳定性取决于辐射薄膜的热稳定性,表现为辐射体薄膜结构工作电阻的动态变化趋势。为此通过开展MEMS红外光源电阻特性研究对于深入探索光电标识装置的标识特性意义重大。采用阻抗分析仪进行测试,结果表明MEMS红外光源长时间工作下其本征电阻值变化量仅为0.4%,热稳定性良好;在可承受驱动电压范围内,光源的动态电阻随电压的变化无明显偏移,薄膜表面形貌变化正常,MEMS红外光源整体结构工作稳定。

关键词： MEMS红外光源热稳定性动态电阻薄膜形貌

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光纤液位传感技术研究进展与趋势

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传感器与微系统 2016年第1期35卷 1-3页

作者：侯钰龙刘文怡张会新苏珊刘佳赵利辉中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 北京航空航天大学惯性技术重点实验室北京100191 北京航空航天大学精密光机电一体化教育部重点实验室北京100191

介绍了光纤液位传感器相较于普通液位传感器的特点和优势,梳理光纤液位传感技术发展脉络,简单介绍其分类。针对静态与动态应用场景下的光纤液位测量技术展开分析,列举了国内外有代表性的最新研究成果,并对未来发展趋势进行展望。

关键词：光纤传感器液位检测动态测试

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基于差分曲率的非局部均值图像降噪算法

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中北大学学报（自然科学版） 2015年第3期36卷 354-358页

作者：孙未雅张权白云蛟张芳董婵婵何琳桂志国中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

传统非局部均值滤波算法忽略了图像块之间的结构相似性,造成搜寻相似像素不充分,使得一些图像细节被滤除.因此,利用差分曲率对图像边缘和斜坡等结构信息的良好检测性能,提出了一种基于差分曲率的非局部均值降噪算法.该方法充分利用图像... 详细信息

传统非局部均值滤波算法忽略了图像块之间的结构相似性,造成搜寻相似像素不充分,使得一些图像细节被滤除.因此,利用差分曲率对图像边缘和斜坡等结构信息的良好检测性能,提出了一种基于差分曲率的非局部均值降噪算法.该方法充分利用图像块之间灰度值和差分曲率的欧氏距离共同确定权重,对图像块之间进行更好的相似性判断,进而优化传统非局部均值滤波算法.实验结果表明,与传统的非局部均值降噪算法相比,新算法能有效地保持图像边缘细节等信息,改善了传统非局部均值算法的去噪性能,取得了良好的降噪效果.

关键词：非局部均值差分曲率优化参数边缘信息图像去噪

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MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

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红外技术 2015年第6期37卷 492-495页

作者：孔龄婕贺婷陈东红燕乐张鹏丑修建中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确... 详细信息

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r=6.48 mm,透镜焦距f=7.2 mm,透镜厚度d'≤2 mm,用Zemax光学软件仿真优化,得出中间层厚度d=0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证,为定向辐射MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数,极大提高设计效率。

关键词： MEMS红外光源准直透镜聚光封装收敛辐射

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