检索结果-内蒙古大学图书馆

仪表技术与传感器 2016年第5期 9-11页

作者：李丹丹梁庭李赛男姚宗熊继军中北大学电子测试技术重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

在SIMOX技术SOI晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片。根据芯片实际情况,分析了传感器制备过程的关键工艺参数及其影响。同时采用5 V恒压源供电,在相同情况下,增加kulite压力传感器背靠背测量不同气... 详细信息

在SIMOX技术SOI晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片。根据芯片实际情况,分析了传感器制备过程的关键工艺参数及其影响。同时采用5 V恒压源供电,在相同情况下,增加kulite压力传感器背靠背测量不同气压下的输出电压值并比较。测量结果表明,所制备的SOI压力传感器线性度达到0.99%,重复性高达0.35%,迟滞性为0.1%,有望用到实际工程应用中。

关键词： SOI(绝缘体上硅) 压力敏感芯片关键工艺 kulite压力传感器背靠背测量

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Fe_3O_4/PDMS复合材料磁电容微弱信号检测电路的设计

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电子器件 2016年第3期39卷 680-685页

作者：关洋张晓明沈丹丹吕忆玲王天宇中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对Fe_3O_4/PDMS复合材料磁电容信号变化微弱,检测困难的问题,设计了一种基于充放电法的微小电容检测电路。详细论述了组成该电路的脉冲激励模块、C-V转换模块、信号调理模块及载波调解模块的原理及功能,同时搭建硬件平台对复合材料磁... 详细信息

针对Fe_3O_4/PDMS复合材料磁电容信号变化微弱,检测困难的问题,设计了一种基于充放电法的微小电容检测电路。详细论述了组成该电路的脉冲激励模块、C-V转换模块、信号调理模块及载波调解模块的原理及功能,同时搭建硬件平台对复合材料磁电容进行实验验证。通过对Fe_3O_4/PDMS纳米复合材料磁电容平行板结构进行测试实验,结果表明:在p F级范围内进行测试,检测电路的输出线性度较好,电路的标度因数与理论值相差较小。测试电路具有响应快速、外部电路简单、易于集成、稳定好、成本低等优点。

关键词： Fe3O4/PDMS复合材料充放电法脉冲激励模块 C-V转换模块信号调理模块载波调解模块

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基于光纤FTIR效应的连续式液位传感器研究

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压电与声光 2016年第6期38卷 897-901页

作者：刘佳李大全刘文怡侯钰龙苏珊中北大学电子测试技术国防重点实验室山西太原030051 北京宇航系统研究所北京100076 仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

光束在宏弯的光纤内传播时会发生能量损耗并辐射到光纤包层外,引起受抑全内反射,辐射的能量同时受外界环境折射率的影响,因而可用于液位传感。因现有传感器受光源和外界环境干扰较大,信噪比较差,成本较高,为了解决这一问题,该文提出了... 详细信息

光束在宏弯的光纤内传播时会发生能量损耗并辐射到光纤包层外,引起受抑全内反射,辐射的能量同时受外界环境折射率的影响,因而可用于液位传感。因现有传感器受光源和外界环境干扰较大,信噪比较差,成本较高,为了解决这一问题,该文提出了一种双光纤扭绞结构的连续式液位传感器。通过理论和实验分析证明,宏弯光纤能量回馈到传感结构中并受外界环境折射率的调制。通过搭建实验平台进行测试,发现液位高度从350mm下降到0的过程中,暗场光纤末端功率值近似线性从0.448μW降到0.15μW,液位区分度达到4dB。同时,该文对影响液位传感器测量的主要因素进行了分析验证。

关键词：塑料光纤光纤宏弯受抑全内反射液位传感双光纤扭绞

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子弹撞击Hopkinson杆的应力误差分析

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中国测试 2016年第2期42卷 33-35,82页

作者：朱倩倩尤文斌范锦彪中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对在Hopkinson杆的中间对称位置放两片应变片测得时间-应力曲线不同的问题,采用ANSYS/LS-DYNA有限元分析软件建立子弹撞击小杆的实验模型;通过仿真得到沿着杆轴向不同位置的时间-应力曲线,该曲线的变化趋势和平头弹撞击Hopkinson杆实... 详细信息

针对在Hopkinson杆的中间对称位置放两片应变片测得时间-应力曲线不同的问题,采用ANSYS/LS-DYNA有限元分析软件建立子弹撞击小杆的实验模型;通过仿真得到沿着杆轴向不同位置的时间-应力曲线,该曲线的变化趋势和平头弹撞击Hopkinson杆实验数据得到的实测时间-应力曲线变化趋势一致,得出压力变化越快,应变率越大,导致应变快,相应的应力增大快的结论。由于应力波的衰减与弥散,前应变片测得的应力总是大于后应变片。

关键词： Hopkinson杆 ANSYS/LS-DYNA软件时间-应力曲线应变率

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SOI压阻式压力传感器敏感结构的优化设计

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仪表技术与传感器 2016年第6期 15-18页

作者：李旺旺梁庭张迪雅张瑞姚宗贾平岗中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术国防科技重点实验室山西太原030051

为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加... 详细信息

为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加压测试,测试结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为5.98 m V/(V·bar),较原结构输出灵敏度提高了1倍,非线性误差小于0.096%。

关键词： SOI压阻式压力传感器敏感结构 COMSOL Multiphysics分析优化设计

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光触发电子测压仪可靠性设计及分析

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中国测试 2016年第8期42卷 131-134页

作者：梁彦斌李新娥舒跃飞李杨中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对光触发电子测压仪在多点测试过程中容易受火炮膛内复杂环境(高温、高压、强电磁)的影响等问题,通过设计合理的光窗结构,增强测压仪外壳的密封性能和整体强度;采取在光窗处附着一层电磁屏蔽薄膜的措施,降低来自火炮发射时产生的电磁... 详细信息

针对光触发电子测压仪在多点测试过程中容易受火炮膛内复杂环境(高温、高压、强电磁)的影响等问题,通过设计合理的光窗结构,增强测压仪外壳的密封性能和整体强度;采取在光窗处附着一层电磁屏蔽薄膜的措施,降低来自火炮发射时产生的电磁干扰。在模拟复杂条件下,采用有限元分析软件对改进后的测压仪光窗及壳体进行强度仿真,同时对壳体的电磁屏蔽性能进行分析。仿真结果表明:改进后的光触发电子测压仪壳体满足膛压测试要求,电磁屏蔽性能得到进一步改善。通过实验测试,验证光触发结构设计的合理性和有效性,达到系统的设计要求。

关键词：激光触发可靠性设计仿真电磁屏蔽

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压电超声换能器阻抗特性分析与匹配设计

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压电与声光 2016年第4期38卷 633-638页

作者：王玉江王志斌宋雁鹏解琨阳赵同林中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

压电超声换能器在不同的工作频率下具有不同的输入阻抗,当驱动信号源输出阻抗与换能器输入阻抗失配时会产生能量损耗,导致无法满足换能器的功率要求,从而使其光谱衍射效率降低,影响光谱成像质量。为此对换能器阻抗频率特性的深入研究,... 详细信息

压电超声换能器在不同的工作频率下具有不同的输入阻抗,当驱动信号源输出阻抗与换能器输入阻抗失配时会产生能量损耗,导致无法满足换能器的功率要求,从而使其光谱衍射效率降低,影响光谱成像质量。为此对换能器阻抗频率特性的深入研究,设计了一种新型宽带阻抗匹配网络。通过ADS仿真及匹配电路的测试,最终在115-180 MHz超声波频率内可使换能器的光谱衍射效率最高达70%。

关键词：压电超声换能器频率特性阻抗匹配衍射效率

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ICPECVD法制备氧化硅薄膜的工艺研究

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仪表技术与传感器 2016年第4期 13-14页

作者：刘雨涛梁庭王心心王涛龙张瑞熊继军中北大学，仪器科学与动态测试教育部重点实验室，电子测试技术国防科技重点实验室，山西太原 030051

以SH4和O2作为反应气体，利用电感耦合等离子体增强型化学气相淀积（ ICPECVD）技术制备了氧化硅薄膜，通过正交试验设计的方法研究了反应室压强、衬底温度和射频功率3个关键工艺参数对氧化硅薄膜淀积速率的影响及其显著性。实验结果表... 详细信息

以SH4和O2作为反应气体，利用电感耦合等离子体增强型化学气相淀积（ ICPECVD）技术制备了氧化硅薄膜，通过正交试验设计的方法研究了反应室压强、衬底温度和射频功率3个关键工艺参数对氧化硅薄膜淀积速率的影响及其显著性。实验结果表明：反应室压强和射频功率对淀积速率的影响具有高度显著性，各参数对刻蚀速率的影响程度依次为反应室压强＞射频功率＞衬底温度，并讨论了所选参数对淀积速率的影响机理。

关键词：等离子体增强型化学气相淀积氧化硅薄膜正交试验淀积速率

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圆容栅传感器设计及可靠性验证

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中国测试 2016年第7期42卷 79-83页

作者：任宇佳尤文斌马铁华中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

为改善旋转轴动态扭矩测试中信号传输受限、供电复杂的现状,提高传感器灵敏度、响应速度以及抗干扰能力,设计一种基于电容充放电特性的非接触、无源圆容栅扭矩传感器,并对其电磁特性进行仿真,分析传感器的栅极数量及整体屏蔽对传感器输... 详细信息

为改善旋转轴动态扭矩测试中信号传输受限、供电复杂的现状,提高传感器灵敏度、响应速度以及抗干扰能力,设计一种基于电容充放电特性的非接触、无源圆容栅扭矩传感器,并对其电磁特性进行仿真,分析传感器的栅极数量及整体屏蔽对传感器输出的影响。通过试验验证可知传感器的可靠性高,达到预期要求。

关键词：扭矩测试圆容栅传感器电磁特性仿真可靠性

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高g值传感器动态校准系统的不确定度估算

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中国测试 2016年第12期42卷 34-37页

作者：高建丽范锦彪王燕祖静中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对动态测量不确定度评定的复杂问题,提出一种在频率域对测试系统进行动态不确定度估算的新方法。该方法以动态均方根误差为基础,根据帕塞瓦尔定理,将系统频率特性与被测信号动态特性结合起来求出误差功率,并通过分析误差功率与动态不... 详细信息

针对动态测量不确定度评定的复杂问题,提出一种在频率域对测试系统进行动态不确定度估算的新方法。该方法以动态均方根误差为基础,根据帕塞瓦尔定理,将系统频率特性与被测信号动态特性结合起来求出误差功率,并通过分析误差功率与动态不确定度的关系求出该测试系统的动态不确定度的最终结果。该方法旨在对测试系统求整体误差,着重研究过程测量,尤其适用于在一定范围内针对各种不同信号的测试系统的不确定度估计。最后以高g值加速度传感器动态校准系统为例,详细介绍其不确定度评定过程,并通过与仿真实验的计算结果相比,验证该方法的可行性。

关键词：动态均方根不确定度估算帕塞瓦尔定理动态校准频率域

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