检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2013年第6期32卷 53-55,59页

作者：薛慧石云波郭浩唐军刘俊丁宇凯中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

采用介质键合技术制备的Si基GaAs材料衬底,缺陷密度小。对待键合的器件结构电学性能影响小。对采用目前常见的介质材料制备的Si基GaAs材料的力学性能进行了仿真分析,得到用于制备MEMS衬底的最佳介质键合层是SiO2,其衬底材料应力转换率... 详细信息

采用介质键合技术制备的Si基GaAs材料衬底,缺陷密度小。对待键合的器件结构电学性能影响小。对采用目前常见的介质材料制备的Si基GaAs材料的力学性能进行了仿真分析,得到用于制备MEMS衬底的最佳介质键合层是SiO2,其衬底材料应力转换率高、量程大、位移小、制备工艺简单且为亲水性,制备的Si基GaAs衬底键合强度大,机械特性好。同时,对不同厚度的介质层材料对Si基GaAs材料的力学性能影响进行了研究分析,得到介质厚度越厚,其应力转换率越高,衬底材料的力敏效应就会越好。

关键词： Si基异质外延GaAs材料键合应力转换率力电耦合效应

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叠加电桥检测的加速度传感器设计

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传感器与微系统 2013年第4期32卷 106-108,112页

作者：宋小鹏杜春晖葛晓洋何常德张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称"八悬臂梁—质量块"结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数... 详细信息

基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称"八悬臂梁—质量块"结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明:该加速度计的灵敏度为1.1381mV/gn,频响范围为0～1000Hz,灵敏度约为单电桥检测法和串联电桥检测法加速度传感器灵敏度的4倍。叠加电桥检测法为压阻式传感器提高灵敏度提供了一种新思路。

关键词：加速度传感器 MEMS 压阻式叠加电桥检测

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单轴应力对一维镜像光子晶体光子局域态透射峰的影响

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物理学报 2013年第18期62卷 241-246页

作者：李乾利温廷敦许丽萍王志斌中北大学理学院物理系太原030051 中北大学微米纳米技术研究中心太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原0300511 中北大学电子测试国家重点实验室太原030051 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心太原030051

利用传输矩阵法研究了镜像异质三周期一维光子晶体中的光子局域态随单轴应力发生变化的特性.对于镜像异质三周期光子晶体,由于其镜像结构,破坏了光子晶体的有序性,产生了一个缺陷态,使其在较宽的光子禁带中心有一个光子局域态透射峰.研... 详细信息

利用传输矩阵法研究了镜像异质三周期一维光子晶体中的光子局域态随单轴应力发生变化的特性.对于镜像异质三周期光子晶体,由于其镜像结构,破坏了光子晶体的有序性,产生了一个缺陷态,使其在较宽的光子禁带中心有一个光子局域态透射峰.研究表明:当对镜像异质三周期光子晶体施加单轴应力时,其中的光子局域态透射峰会随着应力的改变而发生剧烈的变化.当外部微弱的机械应力施加到光子晶体上时,对光子晶体形成一个拉伸应变,拉伸应变引起光子晶体结构的变化,进而大幅度影响光子局域态透射峰的透射率.结果表明:透射峰的透射率明显受单轴应力的影响.这些特性可为用此结构的光子晶体设计超高灵敏度压力传感器提供理论参考.

关键词：光子晶体单轴应力光子局域态传输矩阵

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基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备

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传感器与微系统 2013年第6期32卷 95-97页

作者：李晨熊继军谭秋林康昊葛斌儿王伟中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用。为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备。传感... 详细信息

因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用。为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备。传感器以LC谐振电路为基本工作原理,通过丝网印刷技术来实现电感、电容、导带等无源器件的安置,并且在空腔中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中空腔的坍塌,所制传感器避免了器件的封装,引线外连,为传感器工作于高温、高压、潮湿等恶劣环境中奠定基础。

关键词：低温共烧陶瓷无线电容式压力传感器无源高温

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无线无源压力传感器前端特征参数提取方法研究

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传感器与微系统 2013年第10期32卷 13-15,20页

作者：康昊秦丽谭秋林李晨丁利琼张献生电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

对无线无源压力传感器前端信号特征参数的提取方法进行了研究。根据谐振时无线传输系统的前端特征参数的特点,通过对前端特征信号的阻抗实部、阻抗相位、天线端的电压峰值的提取来确定传感器谐振频率的大小。实验测试表明:基于阻抗实部... 详细信息

对无线无源压力传感器前端信号特征参数的提取方法进行了研究。根据谐振时无线传输系统的前端特征参数的特点,通过对前端特征信号的阻抗实部、阻抗相位、天线端的电压峰值的提取来确定传感器谐振频率的大小。实验测试表明:基于阻抗实部的谐振频率测量方法的测量结果与理论值相差最小。

关键词：无线无源无线传输谐振阻抗实部阻抗相位电压峰值

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远程自动数据记录器测控装置设计

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科学技术与工程 2013年第2期21卷 522-527,537页

作者：李京蔓张彦军中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

目前数据记录器自动测控装置存在无监测或监测能力低、监测过程中上位机软指令可靠性低、监测距离短等不足。围绕这三个问题详细介绍了远程自动数据记录器测控装置的设计。此系统已配合弹载数据记录器应用于某发射试验中,完成了对弹载... 详细信息

目前数据记录器自动测控装置存在无监测或监测能力低、监测过程中上位机软指令可靠性低、监测距离短等不足。围绕这三个问题详细介绍了远程自动数据记录器测控装置的设计。此系统已配合弹载数据记录器应用于某发射试验中,完成了对弹载数据记录器的记录及监测及数据回读。

关键词：远程监测指令测控装置

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LTCC高温压力传感器的设计制作和测试

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传感器与微系统 2013年第4期32卷 101-102,105页

作者：李莹中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线电容式压力传感器,并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是,引入了碳膜作为牺牲层来填充传感器结构的内置式空腔,可以有效地防止空腔在层压和烧结时的变形。测试... 详细信息

提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线电容式压力传感器,并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是,引入了碳膜作为牺牲层来填充传感器结构的内置式空腔,可以有效地防止空腔在层压和烧结时的变形。测试中传感器表现出了良好的灵敏度,高于之前国际上的研究水平。同时给出了现有结构优化改进的方向。

关键词：低温共烧陶瓷无线电容式压力传感器高温环境牺牲层

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NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作

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光电子．激光 2013年第2期24卷 292-296页

作者：李向红刘俊张斌珍唐军中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统... 详细信息

为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特性和光滑度;通过比较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能;然后利用PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵列;最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列,最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到100%,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼结构的部分光学特性。

关键词： NOA73 曲面微透镜阵列光刻胶熔融法 PDMS 光学特性

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改进的高压传感器准δ函数脉冲压力动态校准方法

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高压物理学报 2013年第6期27卷 921-927页

作者：张瑜祖静张红艳中北大学计算机与控制工程学院山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对现有准δ函数脉冲压力校准法存在的缺点,提出了一种预先给压力传感器施加高静压,再利用子弹撞击霍普金森杆产生幅值较小的准δ信号激励传感器,获得压力传感器频响特性的动态校准方法。阐述了准δ函数脉冲压力校准原理,分析了准δ信... 详细信息

针对现有准δ函数脉冲压力校准法存在的缺点,提出了一种预先给压力传感器施加高静压,再利用子弹撞击霍普金森杆产生幅值较小的准δ信号激励传感器,获得压力传感器频响特性的动态校准方法。阐述了准δ函数脉冲压力校准原理,分析了准δ信号的脉宽与频率校准范围、校准精度三者之间的关系,建立了动态校准系统。该校准方法实现了在实际工作压力下校准压力传感器,可校准的下限频率严格地达到零频。就目前的校准技术而言,对传感器施加的最大静压是800MPa,产生的准δ信号的脉宽为7~10μs,可校准的频率范围为0~20kHz,幅频特性校准误差为5%。

关键词：高压传感器动态校准频率响应准δ函数

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基于水力聚焦的PDMS微流芯片的设计与制作

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传感器与微系统 2013年第8期32卷 88-91页

作者：龚珊郭涛王春水仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051

研究制作了一种基于水力聚焦效应,可以对多种不同大小细胞进行聚焦排队实验的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流芯片。芯片的制作过程主要包括制作SU—8阳模,然后利用软光刻方法得到PDMS微流沟道,最后与盖片进行键合封装。用COMSOL软件对样本流... 详细信息

研究制作了一种基于水力聚焦效应,可以对多种不同大小细胞进行聚焦排队实验的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流芯片。芯片的制作过程主要包括制作SU—8阳模,然后利用软光刻方法得到PDMS微流沟道,最后与盖片进行键合封装。用COMSOL软件对样本流与鞘流在不同流速比下进行了流体聚焦仿真,得到了样本的聚焦宽度。利用罗丹明B进行了聚焦验证实验,聚焦宽度与仿真基本一致。通过调节流速比,芯片可用于10～60μm细胞的计数与分析,并利用15μm荧光微球进行了微球排队实验,观察到微球以一列的形式排队经过了聚焦沟道。这种微流芯片具有制作方法简便(SU—8阳模可重复使用)、成本低廉、调控方式简单、通用性强等优点。

关键词：水力聚焦细胞排队 COMSOL PDMS

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