检索结果-内蒙古大学图书馆

电子器件 2015年第1期38卷 160-165页

作者：马睿张会新翟成瑞中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

为保证箭上设备的高可靠性,提出一种新型模拟测试系统的设计方法,以FPGA为核心,模拟外部遥测系统所需测量参数。系统采用PCI9054实现与上位机的接口设计,通过各模块硬件电路及软件协议的综合设计实现了-10 V^10 V的各直流模拟信号以及RS... 详细信息

为保证箭上设备的高可靠性,提出一种新型模拟测试系统的设计方法,以FPGA为核心,模拟外部遥测系统所需测量参数。系统采用PCI9054实现与上位机的接口设计,通过各模块硬件电路及软件协议的综合设计实现了-10 V^10 V的各直流模拟信号以及RS485数字信号的高可靠性稳定传输。经长期实验表明:模拟信号输出稳定,输出误差±80 m V,异步串行通信稳定可靠,系统数据传输速率可达到40 Mbit/s。

关键词：电子技术模拟测试系统 PCI 异步串行通信 AD5628

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基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器

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传感技术学报 2015年第12期28卷 1770-1773页

作者：陈东红安坤燕乐孔龄婕贺婷丑修建中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学计算机与控制工程学院太原030051

高能量密度输出、低频范围响应、环境适应性强的自供电振动能量采集器已成为微能源技术领域的一个重要发展方向。提出一种d31型工作模式下MEMS压电式振动能量采集器,设计八悬臂梁-中心质量块结构代替传统的单悬臂梁结构,利用溶胶-凝胶(S... 详细信息

高能量密度输出、低频范围响应、环境适应性强的自供电振动能量采集器已成为微能源技术领域的一个重要发展方向。提出一种d31型工作模式下MEMS压电式振动能量采集器,设计八悬臂梁-中心质量块结构代替传统的单悬臂梁结构,利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)技术在每个悬臂梁上异质集成制备锆钛酸铅(Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47)O_3,PZT)压电功能厚膜层,通过MEMS工艺和引线键合技术完成器件础结构制造。输出性能测试结果表明,器件一阶谐振频率为41 Hz,3 gn加速度激励下输出电压峰峰值为264.00 m V;在器件两端加载3.00 MΩ负载时输出功率最大,为0.72 n W。

关键词： MEMS 压电微加工能量采集输出功率

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MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

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红外技术 2015年第6期37卷 492-495页

作者：孔龄婕贺婷陈东红燕乐张鹏丑修建中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确... 详细信息

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r=6.48 mm,透镜焦距f=7.2 mm,透镜厚度d'≤2 mm,用Zemax光学软件仿真优化,得出中间层厚度d=0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证,为定向辐射MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数,极大提高设计效率。

关键词： MEMS红外光源准直透镜聚光封装收敛辐射

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基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术

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微纳电子技术 2015年第10期52卷 654-659页

作者：崔建利段俊萍赵龙张斌珍中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(HPMC)溶液中进行表面防粘处理。处理后,使用PDMS-PDMS软光... 详细信息

利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(HPMC)溶液中进行表面防粘处理。处理后,使用PDMS-PDMS软光刻技术和NOA73紫外固化技术进行二次复制,得到PDMS和NOA73材料的毫米波腔体滤波器。对快速复制出的滤波器的表面形貌、结构尺寸进行观测,对其电磁性能(中心频率、带宽、插损和回波损耗)进行测试。结果显示,该方法制备出的毫米波滤波器具有较好的电磁性能。采用该方法制作的毫米波腔体滤波器具有生产周期短、成本低、效率高和结构可靠的特点。

关键词：毫米波聚二甲基硅氧烷(PDMS) NOA73 电磁性能软光刻

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放入式电子测压器的校准技术研究

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传感技术学报 2015年第9期28卷 1384-1388页

作者：杨文张瑜祖静中北大学计算机与控制工程学院太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

电子测压器是理想的火炮膛压测试仪器,用经过静态标定的测压器测得的火炮膛压峰值与铜柱测压器测得的峰值相比散布很大。究其原因可能是选用的压力传感器的带宽无法完全覆盖膛压信号的带宽,也可能是火炮发射时的恶劣环境改变了传感器的... 详细信息

电子测压器是理想的火炮膛压测试仪器,用经过静态标定的测压器测得的火炮膛压峰值与铜柱测压器测得的峰值相比散布很大。究其原因可能是选用的压力传感器的带宽无法完全覆盖膛压信号的带宽,也可能是火炮发射时的恶劣环境改变了传感器的动态特性。针对上述问题,通过准δ函数校准法得出压力传感器的频响特性完全满足测量膛压的要求。设计了模拟膛压校准装置,能模拟火炮膛内高温高压环境,产生幅值在80 MPa^800 MPa,脉宽在10 ms^20 ms的压力信号。实弹测试数据表明,经过模拟应用环境校准后的测压器所测压力峰值分布稳定性好、置信度高。

关键词：准δ函数校准法模拟应用环境电子测压器高精度

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原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展

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表面技术 2015年第2期44卷 60-67页

作者：李惠琴陈晓勇王成穆继亮许卓杨杰丑修建薛晨阳刘俊中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051

原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。... 详细信息

原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理,介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展,涉及半导体微纳集成电路、微纳光学器件、微纳米生物医药等高新技术领域,对ALD技术当前存在的问题进行了分析,并展望了未来发展方向。

关键词：原子层沉积薄膜技术高深宽比结构纳米多孔结构微纳结构器件

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MEMS仿生矢量水听器二次集成的误差分析测试

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微纳电子技术 2015年第1期52卷 42-48页

作者：刘源王丽娟赵鹏申辉赵龙张国军中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051

由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、高灵敏度等性能特点,但由于纤毛柱体采用二次集成工艺集成在MEMS微结构上,常出现纤毛二次集成倾斜偏差,而且,该偏差严重影响到矢量水听器两轴输出的一致性,即灵敏度的一致性和指向性的对... 详细信息

由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、高灵敏度等性能特点,但由于纤毛柱体采用二次集成工艺集成在MEMS微结构上,常出现纤毛二次集成倾斜偏差,而且,该偏差严重影响到矢量水听器两轴输出的一致性,即灵敏度的一致性和指向性的对称性。为此研究了纤毛倾斜偏差对MEMS矢量水听器性能的影响。首先,理论上分析水听器工作原理和二次集成工艺的误差来源。然后,在通过激光显微镜等设备得出二次集成误差的基础上,通过ANSYS有限元分析方法分析得出纤毛的倾斜偏差对水听器的灵敏度影响很大,理论上计算出两个轴灵敏度误差为8.7%。因此,提出了通过优化二次集成工艺,从而减少两轴输出的不一致性。最后,采用矢量水听器校准系统测试改进前和改进后的水听器。结果表明:纤毛二次集成过程的倾斜偏差引起两轴输出的不一致(两轴灵敏度相对误差约为9.0%),改进后的水听器可以显著减小二次集成带来的误差。

关键词：矢量水听器纤毛二次集成 ANSYS 对称性灵敏度

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基于光纤Bragg光栅的古建筑结构健康监测技术研究

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传感技术学报 2015年第1期28卷 34-38页

作者：任小芳贾栋赵辉王高张志伟中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中国电信太原分公司太原030012

古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析... 详细信息

古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析、预警等功能,不仅能够避免光源强度与干涉条纹对比度变化对测量结果的影响,而且操作简单,设备成本低。设计了光纤光栅应变传感实验测试系统性能,结果表明相位变化与应变呈良好的线性关系,测量误差为1.4%。

关键词：光纤光栅结构健康监测古建筑 LabVIEW 对称解调 M-Z干涉仪应变

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组合式MEMS三维矢量水声传感器

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微纳电子技术 2015年第9期52卷 565-569,596页

作者：郭楠张国军刘梦然简泽明张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051

针对小体积水下装置平台对声目标空间定位的高精度需求,在单个二维硅微MEMS仿生矢量水声传感器的基础上,提出一种组合式MEMS三维矢量水声传感器,解决当前二维矢量水声传感器不能实现对声目标进行空间定向的难题。该组合式MEMS三维矢量... 详细信息

针对小体积水下装置平台对声目标空间定位的高精度需求,在单个二维硅微MEMS仿生矢量水声传感器的基础上,提出一种组合式MEMS三维矢量水声传感器,解决当前二维矢量水声传感器不能实现对声目标进行空间定向的难题。该组合式MEMS三维矢量水声传感器包括由正交方向上两个四梁-柱体组成的二维水平检测单元。首先理论分析提出的组合式MEMS三维矢量水声传感器的空间定向原理,然后采用标准硅微加工工艺制作组合式MEMS三维矢量水声传感器样机。利用回转装置对加工出的组合式MEMS三维矢量水声传感器样机进行性能测试。测试结果表明,该组合式MEMS三维水声传感器在空间三个方向均具有良好的"8"字形指向性,可以实现对声目标的三维探测。

关键词：微机电系统(MEMS) 矢量水声传感器三维探测空间定向指向性

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基于无线传感器网络的炮弹落点定位技术的研究

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传感技术学报 2015年第8期28卷 1201-1206页

作者：孔雁凯关咏梅郭涛马其琪中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学太原030051 北京宇航系统工程研究所北京100076

针对现有的炮弹落点定位的缺点,提出了一种基于无线传感器网络对炮弹落点进行实时监控的系统。首先,采用到达时间差对传感器节点进行自定位,然后在传感器节点中集成加速度传感器,利用炮弹撞击地面产生的地震波对炮弹落点进行定位。在此... 详细信息

针对现有的炮弹落点定位的缺点,提出了一种基于无线传感器网络对炮弹落点进行实时监控的系统。首先,采用到达时间差对传感器节点进行自定位,然后在传感器节点中集成加速度传感器,利用炮弹撞击地面产生的地震波对炮弹落点进行定位。在此基础上,对系统的软件进行了设计,从而实现了对炮弹落点的定位。对系统的测试结果表明,随着振动信号的减弱,接收到的信号幅值明显减小,利用此方法可以对炮弹落点进行初步的定位。

关键词：无线传感器网络炮弹落点节点定位加速度传感器

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