检索结果-内蒙古大学图书馆

半导体光电 2022年第6期43卷 1009-1010页

作者：张卫平余华韩磊上海交通大学电子信息与电气工程学院上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室中国微米纳米技术学会上海市惯性技术学会重庆大学 IEEE-PES分会中国仪表仪器学会微纳器件与系统分会重庆惯性技术学会重庆半导体行业协会东南大学中国仪器仪表行业协会传感器分会

微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术在许多应用领域产生了实质性的影响,带动了光学器件小型化的发展。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。...

微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术在许多应用领域产生了实质性的影响,带动了光学器件小型化的发展。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。MOEMS可以通过微执行装置实现对光的衍射、散射和折射等的控制,最终实现光开关、光显示、光扫描等功能。MEMS具有低成本、小体积、可批量化制造等特性,使得微光学系统在制造、系统集成和运行方面具有极大的优势。MEMS的精密机械结构、微加工技术和光学功能使得各种各样的可移动和可调谐的透镜、滤光片和其他光学结构成为可能。MEMS器件的精确尺寸和低对准误差,加上微型化带来的机械稳定性,使光学MEMS传感器非常适合各种具有挑战性的测量任务;同时,与大规模集成电路的兼容性,使得信号的放大、矫正和补偿可以在同一个芯片内实现,不需要经过多个芯片的信号交换过程,这样可以极大地抑制噪声的干扰,提高输出信号的信噪比。

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