电子轰击有源像素传感器(electron bombardment active pixel sensor,EBAPS)的光响应非均匀性是指EBAPS中光电阴极被均匀光源照射时,不同像素输出灰度不一致的现象,尤其是在低光环境下,图像的非均匀性会使细节识别变得困难,影响后续图...
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电子轰击有源像素传感器(electron bombardment active pixel sensor,EBAPS)的光响应非均匀性是指EBAPS中光电阴极被均匀光源照射时,不同像素输出灰度不一致的现象,尤其是在低光环境下,图像的非均匀性会使细节识别变得困难,影响后续图像处理和分析的准确性。光响应非均匀性主要由光电阴极不同区域对光响应的差异、电子敏感互补金属氧化物半导体不同区域的电子倍增特性差异、各像素间对同一激励的响应差异以及读出电路中传输信道的差异性等因素导致。针对EBAPS的非均匀性问题,提出了一种基于EBAPS光电阴极响应、电子倍增以及像素响应非均匀性协同适配的测试方法。实验结果表明,该方法能够有效评价EBAPS的非均匀性,并且能够对器件的测试筛选和算法校正起到指导作用。
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