检索结果-内蒙古大学图书馆

激光与光电子学进展 2025年第1期62卷 11-25页

作者：黄凯曾婷婷邵建达朱美萍中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室中国科学院大学材料科学与光电技术学院

极紫外（EUV）多层膜是EUV光刻光学系统的重要组成元件。在光刻系统运行过程中，EUV多层膜反射镜的性能易受其表面污染物的显著影响，从而降低光源输出功率和整机的使用寿命。明晰EUV多层膜反射镜面临的主要污染问题及其针对性控制技术... 详细信息

极紫外（EUV）多层膜是EUV光刻光学系统的重要组成元件。在光刻系统运行过程中，EUV多层膜反射镜的性能易受其表面污染物的显著影响，从而降低光源输出功率和整机的使用寿命。明晰EUV多层膜反射镜面临的主要污染问题及其针对性控制技术有助于提升EUV光刻系统的稳定性和使用寿命。本文从EUV多层膜反射镜表面污染的产生原因和清洗技术两个方面，对EUV多层膜反射镜污染控制的研究进展进行综述，详细介绍了EUV光刻系统中多层膜反射镜的主要污染与形成方式，以及针对不同污染的预防、抑制和清洗技术。

关键词：极紫外多层膜锡污染碳污染氧化污染清洗技术

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基于表面热透镜的单透镜测量光学薄膜吸收技术研究

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中国激光 2025年第1期52卷 58-64页

作者：花艳李大伟韩玉晶刘晓凤赵元安济南大学物理科学与技术学院山东济南250022 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室上海201800 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049 中国科学院强激光材料重点实验室上海201800

吸收损耗是光学薄膜元件的重要性能参数之一,高效、准确测量光学薄膜的吸收损耗对于研制高性能、低损耗的光学薄膜元件至关重要,其中表面热透镜法是最常用的吸收测量手段。采用表面热透镜技术的测量装置可以分为分光路与共光路两种,其... 详细信息

吸收损耗是光学薄膜元件的重要性能参数之一,高效、准确测量光学薄膜的吸收损耗对于研制高性能、低损耗的光学薄膜元件至关重要,其中表面热透镜法是最常用的吸收测量手段。采用表面热透镜技术的测量装置可以分为分光路与共光路两种,其中分光路装置测量精度高,但光路复杂且调节难度大,同时易受环境影响,共光路装置简单、易调节,但装置参数固定、测量精度相对较低。针对该问题提出了共光路装置的改进设计,通过泵浦光束与探测光束平行入射的方式并利用透镜聚焦实现了二者焦斑的重合。基于改进技术搭建了单透镜测量装置并对光学薄膜样品进行了测量,测量结果与分光路装置较为接近。单透镜设计在保证分光路装置优势的前提下简化了装置、节省了成本,减少了调试环节、降低了调试难度,并在一定程度上消除了环境对装置的影响,对于保证吸收测量准确度、制备低损耗高性能的光学薄膜元件具有重要意义。

关键词：光学薄膜吸收损耗表面热透镜光热形变

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等离子体调制在气体成丝激发太赫兹波中的影响

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光子学报 2025年第1期54卷 115-123页

作者：郭惠成刘呈普中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室上海201800 中国科学院大学北京100049

基于时域有限差分法在光电流模型的基础上重新探讨了飞秒激光与等离子体丝相互作用产生太赫兹辐射的基本物理机制。阐明了三维条件下太赫兹辐射与等离子体阶梯式电离的同步性,证实了等离子体激发过程中必然会对太赫兹辐射产生调制。分... 详细信息

基于时域有限差分法在光电流模型的基础上重新探讨了飞秒激光与等离子体丝相互作用产生太赫兹辐射的基本物理机制。阐明了三维条件下太赫兹辐射与等离子体阶梯式电离的同步性,证实了等离子体激发过程中必然会对太赫兹辐射产生调制。分析等离子体调制对太赫兹近场和远场辐射的影响,发现双色场主要起到激发等离子体并产生初步的光电流辐射的作用,等离子体则起到调制光电流辐射并产生太赫兹的作用。

关键词：等离子体丝太赫兹波时域有限差分飞秒激光非线性

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航空器热端部件应变温度场内窥探测系统设计

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激光与光电子学进展 2025年第1期62卷 298-305页

作者：王灏杜昆谢芝明朱菁黄惠杰中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室中国科学院大学上海镭慎光电科技有限公司

涡轮叶片作为航空发动机内部的核心部件之一，长期处于高温、高压、强振动等多物理场耦合环境中，其制造和服役过程中的稳定性直接影响整机的使用寿命。针对该问题，设计了一款高分辨率、小口径和宽温度范围的内窥探针，配合传统的数字... 详细信息

涡轮叶片作为航空发动机内部的核心部件之一，长期处于高温、高压、强振动等多物理场耦合环境中，其制造和服役过程中的稳定性直接影响整机的使用寿命。针对该问题，设计了一款高分辨率、小口径和宽温度范围的内窥探针，配合传统的数字图像相关方法，可以实现工作状态下发动机叶片应力和温度场的非接触式同步测量。该系统采用多通道共轴光路的设计形式，前端光学口径小于10 mm，像面尺寸大于25 mm，在截止频率为40 lp/mm处最大视场的70%下的调制传递函数值大于0.4，最大畸变小于0.1%。经过无热化设计，该系统在20～250℃温度范围内均能清晰成像，对其他高温环境下的非接触式测量同样具有参考意义。

关键词：光学设计非接触式测量高温高压多通道应变温度

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一种适用于不同水质机载激光测深的深度学习方法

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中国激光 2025年第1期52卷 214-220页

作者：黄宜帆贺岩朱小磊徐广袖中国科学院上海光学精密机械研究所空间激光信息传输与探测技术实验室上海201800 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049 海军研究院天津300061

为提升机载测深激光雷达水深探测能力,提出了一种反演水深的深度学习方法。该方法先将雷达采集波形转换为图像,再使用深度学习模型对图像进行语义分割,从而实现水深反演。将雷达采集波形转换为图像的好处是:相较于单条波形处理,可以利... 详细信息

为提升机载测深激光雷达水深探测能力,提出了一种反演水深的深度学习方法。该方法先将雷达采集波形转换为图像,再使用深度学习模型对图像进行语义分割,从而实现水深反演。将雷达采集波形转换为图像的好处是:相较于单条波形处理,可以利用相邻帧的波形信息,有利于微弱海底信号的提取。在数据预处理方面,提出了一种快速消除不同水质回波差异的方法,使得模型训练集的构建简单,不需要考虑不同水质回波特性的差异。深度学习模型的整体结构为U-net,结合了道路线检测模型空间卷积神经网络(SCNN),提升了模型的语义分割能力。利用大洲岛、大埕湾、北礁三地采集的数据对该方法进行了验证,结果表明:模型适用于不同水质,具有良好的鲁棒性;相较于波形处理方法,该方法的水深提取的正确率平均提升了27%,大洲岛最大测量水深提升了3.2 m,大埕湾提升了1.6 m,北礁提升了6.0 m。

关键词：机载测深激光雷达深度学习波形处理图像语义分割

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面向极紫外光刻光源液滴锡靶的光学测量与检测进展

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激光与光电子学进展 2025年

作者：付轹文林楠中国科学院大学前沿交叉科学学院中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学工程部

在高端芯片制造领域，极紫外（EUV）光刻机已成为集成电路大规模量产不可或缺的设备，也是未来制程持续发展的保障。激光等离子体（LPP）-EUV光刻光源是EUV光刻机的关键分系统，其核心之一就是液滴锡靶生成器。它需以特定频率稳定、连... 详细信息

在高端芯片制造领域，极紫外（EUV）光刻机已成为集成电路大规模量产不可或缺的设备，也是未来制程持续发展的保障。激光等离子体（LPP）-EUV光刻光源是EUV光刻机的关键分系统，其核心之一就是液滴锡靶生成器。它需以特定频率稳定、连续地产生尺寸一致、间距均匀的锡液滴，从而在激光轰击后获得稳定且高效的转换效率（CE）。因此，面向液滴锡靶的测量与检测在研究锡液滴生成机制以及液滴与激光的作用过程方面是必需的。其对于开发LPP-EUV光源，提升液滴质量、提高光能CE、减少碎屑生成、保证光源稳定具有重要意义。光学量测作为主要的测量与检测手段，目前尚缺少系统性总结。本文综述了EUV光源液滴锡靶光学测量与检测的核心指标、关键需求与技术发展现状，详细分析了主流测量技术和检测系统的特点，旨在为搭建液滴锡靶系统乃至LPP-EUV光源相关研究提供技术参考和支持。

关键词：极紫外光源液滴锡靶光学量测阴影成像激光触发检测

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Cr∶ZnSe/S晶体特性及2～3μm中红外激光器研究进展

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激光与光电子学进展 2025年第1期62卷 26-35页

作者：范梦瑶刘晶樊雨晴余婷戴博叶锡生上海理工大学光电信息与计算机工程学院中国科学院上海光学精密机械研究所王之江激光创新中心中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室中国科学院上海光学精密机械研究所空天激光技术与系统部

2～3μm中波红外激光在医疗、环境监控和军事等方面都有着重要的应用。Cr∶ZnSe和Cr∶ZnS激光晶体在室温下具有较宽的吸收和发射谱、较大的吸收和发射截面等优势，其在2～3μm中波红外激光方面的应用受到了广泛的关注。本文介绍了Cr∶Z... 详细信息

2～3μm中波红外激光在医疗、环境监控和军事等方面都有着重要的应用。Cr∶ZnSe和Cr∶ZnS激光晶体在室温下具有较宽的吸收和发射谱、较大的吸收和发射截面等优势，其在2～3μm中波红外激光方面的应用受到了广泛的关注。本文介绍了Cr∶ZnSe和Cr∶ZnS激光晶体的特性和其对应的中波红外激光器的研究进展，并进行了总结与展望。

关键词： 2~3μm中波红外激光器 Cr∶ZnSe激光晶体 Cr∶ZnS激光晶体

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2μm波段宽带可调谐窄线宽光纤激光器研究进展

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激光与光电子学进展 2025年第1期62卷 73-85页

作者：王建伟沈辉漆云凤戴博叶锡生上海理工大学光电信息与计算机工程学院中国科学院上海光学精密机械研究所王之江激光创新中心中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室中国科学院上海光学精密机械研究所空天激光技术与系统部

2μm可调谐窄线宽光纤激光器在大气探测、激光雷达及医疗检测等领域中有着重要应用。首先介绍了获取可调谐激光的4种常用调谐技术，包括衍射光栅滤波器调谐、体布拉格光栅滤波器调谐、声光滤波器调谐和光纤法布里-珀罗滤波器调谐，同时... 详细信息

2μm可调谐窄线宽光纤激光器在大气探测、激光雷达及医疗检测等领域中有着重要应用。首先介绍了获取可调谐激光的4种常用调谐技术，包括衍射光栅滤波器调谐、体布拉格光栅滤波器调谐、声光滤波器调谐和光纤法布里-珀罗滤波器调谐，同时对比分析了这4种技术的优点和不足；其次，介绍了实现窄线宽激光器的3种主要结构，包括线性腔、环形腔和复合腔，同时对比分析了这3种结构的优点和不足；然后，介绍2μm波段窄线宽、高功率、波长可调谐光纤激光器的现有典型研究结果和面临的技术瓶颈；最后，对2μm波段宽带可调谐窄线宽光纤激光器的技术发展趋势进行展望。

关键词：激光器 2μm光纤激光器窄线宽波长调谐

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连续热源加载下二维热扩散长度的数值模拟与测量

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强激光与粒子束 2025年第5期37卷 19-28页

作者：花艳李笑玲韩玉晶刘晓凤李大伟赵元安帅坤王焜济南大学物理科学与技术学院济南250022 上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室上海201800 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049 中国科学院强激光材料重点实验室上海201800

热扩散系数是大能量、高功率激光系统中光学元件的重要参数,关系到元件的抗激光损伤性能,但现有热扩散系数测量方法在多维热传导情况下的测量结果误差较大,且热扩散长度是热扩散系数测量的基础,因此采用有限元法仿真了热源连续加热下的... 详细信息

热扩散系数是大能量、高功率激光系统中光学元件的重要参数,关系到元件的抗激光损伤性能,但现有热扩散系数测量方法在多维热传导情况下的测量结果误差较大,且热扩散长度是热扩散系数测量的基础,因此采用有限元法仿真了热源连续加热下的二维热传导并总结了热扩散长度与热扩散系数及加热时间之间的关系规律,据此提出了热源连续加热下测量二维热扩散长度的模型与方法。首先采用有限元分析建立模型仿真了一维热传导情况下的热扩散长度与热扩散系数的关系式并与数值解析表达式比较,二者符合较好,验证了使用连续热源与热扩散长度求解热扩散系数的可行性;之后扩展到二维热扩散情况,并讨论了热损失、样品厚度和热源加载时间对结果的影响;最后给出了实际测量方案,并给出提升测量精度措施。该工作为方便准确地测量材料或元件的热扩散长度提供思路,对制备高功率、大能量激光系统元件具有重要意义。

关键词：连续热源热扩散系数热扩散长度有限元法

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高功率脉冲氙灯放电可靠性提升

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中国激光 2025年第2期52卷 11-18页

作者：刘凌宇张志祥王利潘峰刘强谢静张攀政中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049 上海激光电源设备有限责任公司上海201821

高功率脉冲氙灯是高功率激光装置放大器的重要组件之一,其放电可靠性直接影响装置激光输出能量的稳定性。实验揭示了氙灯两端的峰值振荡电压对氙灯放电成功率的直接影响,提出并实验验证了通过适当增加放电回路缆线长度、优化主放电电感... 详细信息

高功率脉冲氙灯是高功率激光装置放大器的重要组件之一,其放电可靠性直接影响装置激光输出能量的稳定性。实验揭示了氙灯两端的峰值振荡电压对氙灯放电成功率的直接影响,提出并实验验证了通过适当增加放电回路缆线长度、优化主放电电感处的并联电阻大小、在氙灯两极并联小电容三种方法有效提高峰值振荡电压,进而提高氙灯放电可靠性的技术方案,为高功率激光装置提升氙灯放电可靠性和输出能量稳定性提供了参考。采用上述方法,放大器工作电压为14 kV时对应的氙灯峰值振荡电压从优化前的26.9 kV提升到34 kV,理论氙灯放电成功率达到100%。

关键词：高功率脉冲氙灯高功率激光装置氙灯放电峰值振荡电压放电可靠性

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