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    • 5 篇 生物医学工程(可授...
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    • 2 篇 临床医学
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  • 1 篇 军事学
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主题

  • 12 篇 mems
  • 10 篇 微流控芯片
  • 8 篇 微电子机械系统
  • 8 篇 传感器
  • 8 篇 ingaas
  • 6 篇 静电驱动
  • 6 篇 各向异性腐蚀
  • 6 篇 红外探测器
  • 5 篇 石墨烯
  • 5 篇 微机电系统
  • 5 篇 微机电系统(mems)
  • 4 篇 灵敏度
  • 4 篇 加速度计
  • 4 篇 液滴
  • 4 篇 在线监测
  • 4 篇 纸基微流控芯片
  • 4 篇 体硅工艺
  • 4 篇 光波导
  • 4 篇 微纳传感器
  • 4 篇 电阻加热器

机构

  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 53 篇 中国科学院大学
  • 49 篇 中国科学院研究生...
  • 49 篇 中国科学院上海微...
  • 12 篇 宁波大学
  • 11 篇 上海大学
  • 9 篇 上海师范大学
  • 9 篇 中国科学院上海微...
  • 7 篇 中国科学院上海技...
  • 7 篇 北京信息科技大学
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  • 6 篇 福州大学
  • 6 篇 上海科技大学
  • 6 篇 北京航空航天大学
  • 6 篇 中国科学院上海微...
  • 5 篇 中国科学院上海技...
  • 4 篇 中国科学院
  • 4 篇 中国科学院上海技...
  • 4 篇 上海理工大学
  • 4 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 53 篇 王跃林
  • 49 篇 金庆辉
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  • 23 篇 zhao jian-long
  • 22 篇 吴亚明
  • 21 篇 jin qing-hui
  • 16 篇 wang yue-lin
  • 14 篇 li tie
  • 14 篇 徐静
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  • 13 篇 郭慧
  • 13 篇 jin qinghui
  • 12 篇 张永刚
  • 12 篇 钟少龙
  • 11 篇 xu jing
  • 11 篇 li xin-xin

语言

  • 240 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所/传感技术联合国家重点实验室"
240 条 记 录,以下是91-100 订阅
排序:
三种细胞共培养微流控芯片的设计和制作
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生物工程学报 2017年 第2期33卷 294-300页
作者: 王帅超 葛玉卿 吴蕾 郭慧 杨仕平 金庆辉 上海师范大学生命与环境科学学院 上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
设计一种具有"微坝"和"微缝"结构的微流控芯片,能够物理隔离不同细胞,而且培养基中小分子营养物质可以自由流通。实验结果表明在芯片上可以共培养人肺腺癌细胞(A549)、人胚肺成纤维细胞(HLF-1)和人内皮细胞(HUVECs... 详细信息
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MEMS悬臂式开关的失效分析
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传感技术学报 2004年 第3期17卷 492-496页
作者: 徐欣 郭方敏 葛羽屏 李成诗 于绍欣 朱荣锦 赖宗声 朱自强 王跃林 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点开放实验室上海200050 中国科学院上海技术物理所 红外物理国家重点实验室上海200083
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法... 详细信息
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铂微电极位点上氧化铝纳米孔的制备
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化学通报 2012年 第2期75卷 172-175页
作者: 刘彬 张缓缓 金庆辉 刘咏松 浙江理工大学理学院 杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
金属微电极表面的纳米级处理可以大大提高电极的性能。本文基于微加工及电化学技术在铂微电极位点上制备了一致性良好的氧化铝纳米结构。通过对基片铂层表面等离子体处理,使铝膜与铂层之间粘附力明显增强。利用二次阳极氧化法,在铂微电... 详细信息
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基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作
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纳米技术与精密工程 2013年 第3期11卷 222-230页
作者: 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部... 详细信息
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应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展
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传感器与微系统 2014年 第6期33卷 5-8,12页
作者: 杨天天 江南大学 江苏无锡214122 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 详细信息
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基于静电力的微液滴驱动芯片
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 116-118,121页
作者: 刘翔 高安然 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列... 详细信息
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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究
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传感器与微系统 2008年 第12期27卷 118-120页
作者: 陆荣 陆松涛 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝... 详细信息
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基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 101-103,106页
作者: 孙腾 车录锋 黎晓林 吴健 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的... 详细信息
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基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
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光通信技术 2012年 第4期36卷 22-24页
作者: 刘英明 徐静 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰... 详细信息
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集成悬臂梁/探针阵列在PMMA薄膜上微纳摩擦的尺寸和温度效应
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功能材料与器件学报 2007年 第6期13卷 593-598页
作者: 刘斌 鲍海飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 中国科学院研究生院 北京100039
在微纳米尺度下,摩擦行为受到针尖尺寸和温度两个重要参数的影响。本研究利用基于Si的微加工制造技术制作了三种不同尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列,用来研究在聚合物PMMA薄膜上摩擦的针尖尺寸效应和温度效应。在PMMA薄膜中存在... 详细信息
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