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主题

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  • 8 篇 传感器
  • 8 篇 ingaas
  • 6 篇 静电驱动
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  • 5 篇 微机电系统
  • 5 篇 微机电系统(mems)
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  • 4 篇 纸基微流控芯片
  • 4 篇 体硅工艺
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  • 4 篇 微纳传感器
  • 4 篇 电阻加热器

机构

  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 53 篇 中国科学院大学
  • 49 篇 中国科学院研究生...
  • 49 篇 中国科学院上海微...
  • 12 篇 宁波大学
  • 11 篇 上海大学
  • 9 篇 上海师范大学
  • 9 篇 中国科学院上海微...
  • 7 篇 中国科学院上海技...
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  • 6 篇 北京航空航天大学
  • 6 篇 中国科学院上海微...
  • 5 篇 中国科学院上海技...
  • 4 篇 中国科学院
  • 4 篇 中国科学院上海技...
  • 4 篇 上海理工大学
  • 4 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 53 篇 王跃林
  • 49 篇 金庆辉
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  • 28 篇 李昕欣
  • 26 篇 李铁
  • 23 篇 zhao jian-long
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  • 21 篇 jin qing-hui
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  • 14 篇 徐静
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  • 14 篇 杨恒
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  • 13 篇 郭慧
  • 13 篇 jin qinghui
  • 12 篇 张永刚
  • 12 篇 钟少龙
  • 11 篇 xu jing
  • 11 篇 li xin-xin

语言

  • 240 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所/传感技术联合国家重点实验室"
240 条 记 录,以下是171-180 订阅
排序:
基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感
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传感器与微系统 2024年 第3期43卷 47-51页
作者: 杨洋春 胡敬芳 肖疏雨 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器联合国家重点实验室 上海200050
重金属镉离子(Cd(Ⅱ))是水体质量评价的重要指标之一,本文提出一种基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器构建方法,将离子印迹技术、丝网印刷技术、蜡印法和电化学还原有机结合,合成纸基Cd(Ⅱ)印迹聚合物膜(Cd(Ⅱ)-IIP@paper),获得改... 详细信息
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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测试技术学报 2010年 第5期24卷 377-380页
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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一种在线式超低量程浊度高精度测量传感器研制
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无线通信技术 2022年 第1期31卷 30-35页
作者: 管轶华 项志强 郜晚蕾 金庆辉 宁波大学信息科学与工程学院 宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
本文基于浊度90°散射检测原理,设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源,以LED前端透镜结构替代原传感需光源准直结构,降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定... 详细信息
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单晶硅杨氏模量的温度特性
单晶硅杨氏模量的温度特性
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者: 姚邵康 徐德辉 蒋万里 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海 200050 中国科学院大学 北京 10049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海 200050
文中基于杨氏模量随温度的变化是源于晶格热膨胀的机理,并结合描述晶格热膨胀与定容比热关系的Grüneisen关系式,本论文理论推导了单晶硅杨氏模量随温度变化的表达式.通过理论模型计算了单晶硅沿、、晶向的杨氏模量在0K~1300K温度... 详细信息
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院 北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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石墨烯三维微电极生物传感研究
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传感器与微系统 2017年 第2期36卷 4-7页
作者: 唐琳 吴蕾 周麟 杜晓薇 吴春艳 赵建龙 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 上海科技大学 上海200120
基于石墨烯优良的导电性和透明性,为改善生物传感器存在透明性不足的缺陷,提出了石墨烯三维微电极传感器的研究。利用SEM,Raman对其形貌进行表征,以及采用电化学测试电极电化学性能,结果表明:研究的石墨烯三维电极生物传感器在透明性和... 详细信息
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脑机接口,身体边界的消失
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世界科学 2024年 第4期 24-27页
作者: 陶虎 邹家俊 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院传感技术国家重点实验室 中国科学院2020前沿实验室
你身体的边界在哪?有人说,我的皮肤划定了我和世界的边界。但我们总感觉自己的边界要再大一些,比如当一个陌生人和你的距离小于1米时,你就会感到不适,要是只有半米,你甚至会浑身不自在,此时,你的边界不再是你的皮肤。再想象一...
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集成式多参数水质监测光学传感器研制
集成式多参数水质监测光学传感器研制
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2016中国环境科学学会学术年会
作者: 刘思乡 范卫华 赵辉 王帅超 金庆辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京 100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海师范大学 上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海师范大学 上海200234 中国科学院大学 北京 100049
水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求.紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点.本文介绍... 详细信息
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同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究
同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究
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2016中国环境科学学会学术年会
作者: 金妍 黄善洛 宿子琪 郭慧 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海师范大学 上海200234 上海师范大学 上海200234 中国科学院大学 北京100049
采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度.考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染.实验结果表明,在pH=4.... 详细信息
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感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究
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第八届敏感元件与传感器学术会议
作者: 鲍海飞 熊斌 戈肖鸿 王渭源 王跃林 传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原... 详细信息
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