咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 832 篇 期刊文献
  • 290 篇 会议

馆藏范围

  • 1,122 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 963 篇 工学
    • 467 篇 电子科学与技术(可...
    • 321 篇 材料科学与工程(可...
    • 215 篇 仪器科学与技术
    • 195 篇 光学工程
    • 162 篇 机械工程
    • 66 篇 化学工程与技术
    • 54 篇 控制科学与工程
    • 50 篇 电气工程
    • 24 篇 动力工程及工程热...
    • 24 篇 计算机科学与技术...
    • 16 篇 信息与通信工程
    • 11 篇 生物医学工程(可授...
    • 11 篇 生物工程
    • 9 篇 航空宇航科学与技...
    • 8 篇 农业工程
    • 6 篇 力学(可授工学、理...
    • 6 篇 环境科学与工程(可...
    • 5 篇 地质资源与地质工...
    • 5 篇 软件工程
    • 3 篇 食品科学与工程(可...
  • 202 篇 理学
    • 135 篇 物理学
    • 61 篇 化学
    • 9 篇 生物学
    • 5 篇 系统科学
  • 14 篇 医学
    • 4 篇 临床医学
    • 4 篇 公共卫生与预防医...
    • 4 篇 医学技术(可授医学...
  • 11 篇 农学
    • 5 篇 作物学
    • 5 篇 农业资源与环境
  • 5 篇 管理学
  • 3 篇 军事学
    • 3 篇 军队指挥学
  • 2 篇 经济学
  • 2 篇 艺术学
  • 1 篇 教育学

主题

  • 31 篇 相变存储器
  • 28 篇 微机电系统
  • 22 篇 分子束外延
  • 20 篇 ingaas
  • 20 篇 mems
  • 17 篇 石墨烯
  • 17 篇 量子级联激光器
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 17 篇 垂直腔面发射激光...
  • 16 篇 光电探测器
  • 16 篇 soi
  • 15 篇 气态源分子束外延
  • 15 篇 微电子机械系统
  • 14 篇 半导体激光器
  • 13 篇 红外探测器
  • 12 篇 化学机械抛光
  • 12 篇 化合物半导体
  • 12 篇 微流控芯片
  • 12 篇 传感器
  • 11 篇 太赫兹

机构

  • 373 篇 中国科学院上海微...
  • 267 篇 中国科学院上海微...
  • 184 篇 中国科学院大学
  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 108 篇 中国科学院研究生...
  • 45 篇 信息功能材料国家...
  • 43 篇 上海科技大学
  • 42 篇 中国科学院超导电...
  • 40 篇 浙江大学
  • 29 篇 上海大学
  • 20 篇 信息功能材料国家...
  • 18 篇 上海交通大学
  • 17 篇 复旦大学
  • 17 篇 曲阜师范大学
  • 16 篇 同济大学
  • 16 篇 中国科学院上海微...
  • 12 篇 中国科学院
  • 12 篇 宁波大学
  • 12 篇 中光华研电子科技...

作者

  • 126 篇 王跃林
  • 92 篇 张永刚
  • 82 篇 宋志棠
  • 73 篇 李昕欣
  • 63 篇 李爱珍
  • 63 篇 谢晓明
  • 55 篇 顾溢
  • 52 篇 金庆辉
  • 51 篇 龚谦
  • 50 篇 吴惠桢
  • 50 篇 赵建龙
  • 45 篇 熊斌
  • 45 篇 孔祥燕
  • 41 篇 王永良
  • 40 篇 车录锋
  • 40 篇 劳燕锋
  • 40 篇 wang yue-lin
  • 40 篇 吴亚明
  • 38 篇 焦继伟
  • 37 篇 尤立星

语言

  • 1,122 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室"
1122 条 记 录,以下是1121-1130 订阅
排序:
硅基GaN深槽刻蚀隔离工艺研究
收藏 引用
功能材料与器件学报 2021年 第2期27卷 128-132页
作者: 游晋豪 郑理 赵一泽 程新红 俞跃辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 中国科学院大学材料科学与光电工程中心
在这项工作中,我们研究了应用于硅基GaN平台单芯片集成的深槽刻蚀及隔离的相关工艺。我们优化了感应耦合等离子体(ICP)刻蚀的工艺参数和刻蚀气体(Cl2和BCl3)的组分比例,并在刻蚀深槽后,通过等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)和等... 详细信息
来源: 评论
中国基于同步辐射光源的ARPES线站简介
收藏 引用
中国科学:物理学、力学、天文学 2023年 第6期53卷 2-19页
作者: 刘嘉宇 沈大伟 柳仲楷 孙喆 黄耀波 乔山 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥230029 上海科技大学物质科学与技术学院 上海201210 中国科学院上海高等研究院 上海光源科学中心上海201204
角分辨光电子能谱(ARPES)凭借直接探测电子能量和动量的优势,在研究固体材料能带结构、费米面以及能隙等方面发挥着重要作用.近年来,通过追随国际领先水平,我国ARPES技术得到了飞速发展,其中与第一、二、三代同步辐射光源的结合更是帮... 详细信息
来源: 评论