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作者

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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室"
1122 条 记 录,以下是171-180 订阅
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视觉传感器和惯性传感器的时间标定方法
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光学学报 2021年 第24期41卷 193-202页
作者: 付凤杰 李辰懋 吴丽 刘衍青 朱冬晨 李嘉茂 张晓林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室-仿生视觉系统实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海科技大学信息科学与技术学院 上海201210
视觉惯性信息融合的同时定位和建图(SLAM)技术是机器人导航领域的热点问题。多模态数据同步是数据融合算法的前提,其关键在于获取不同传感器采集时刻的准确时间戳。视觉传感器的时间戳可通过硬件方法准确获得,而惯性传感器的时间戳通常... 详细信息
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石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
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传感器与微系统 2007年 第1期26卷 41-44页
作者: 王俊杰 车录锋 吴浩 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEM... 详细信息
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支持逻辑电路辅助计算的相变存储系统设计
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上海交通大学学报 2018年 第1期52卷 90-95页
作者: 李鸽子 陈小刚 陈后鹏 焦圣品 宋志棠 陈邦明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 上海天玑数据技术有限公司 上海200233
设计了一种支持逻辑电路辅助计算的相变存储系统,将计算密集型任务卸载至基于逻辑电路的相变存储器(PCM)中,以解决由于大量数据迁移而造成的传输瓶颈问题;同时,利用逻辑电路的并行执行能力来实现对数据的高效处理,并利用PCM的独特优势... 详细信息
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硅基石墨烯场效应管关键工艺研究
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功能材料 2013年 第B12期44卷 344-349页
作者: 张凤 方新心 成霁 唐逢杰 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院与德国于利希研究中心超导与生物电子学联合实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
石墨烯由于其独特的电学特性受到关注,工艺的研究促使石墨烯材料的实际应用。着重于石墨烯场效应管关键工艺(目标衬底的预处理、石墨烯的转移、金属沉积、石墨烯刻蚀与退火)的优化。通过实验发现,衬底上硅醇基的密度以及碳氢化合物分子... 详细信息
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微机械Golay腔型红外探测器的研究
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传感器与微系统 2007年 第3期26卷 20-23页
作者: 高翔 徐静 赵本刚 万助军 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/... 详细信息
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一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计
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Journal of Semiconductors 2007年 第5期28卷 783-788页
作者: 王育才 焦继伟 段飞 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(1... 详细信息
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InP/空气隙结构的制作与特性
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光电子.激光 2008年 第9期19卷 1188-1191页
作者: 刘成 曹春芳 劳燕锋 曹萌 吴惠桢 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 上海空间电源研究所 上海200233
研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性。
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Pb_(1-x)Sr_xSe薄膜材料的微结构和光学特性
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无机材料学报 2007年 第6期22卷 1108-1112页
作者: 王擎雷 吴惠桢 斯剑霄 徐天宁 夏明龙 谢正生 劳燕锋 浙江大学物理系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用分子束外延的方法在BaF_2衬底(111)上制备出了高质量的Pb_(1-x)Sr_xSe(0≤x≤0.050)薄膜.X射线衍射结果表明,Pb_(1-x)Sr_xSe薄膜为立方相NaCl型晶体结构,没有观察到SrSe相分离现象,薄膜的取向为平行于衬底(111)晶面.薄膜晶格常数随S... 详细信息
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MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析
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传感技术学报 2008年 第5期21卷 785-790页
作者: 曾凡林 钟少龙 徐静 吴亚明 中国科学院上海微系统信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27... 详细信息
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以金属有机框架材料HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱
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分析化学 2023年 第3期51卷 429-435页
作者: 张娣 张海燕 陈泊鑫 祝雨晨 赵斌 李磊 郑丹 冯飞 上海应用技术大学化学与环境工程学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
气相色谱柱微型化有利于气相色谱系统的小型化,然而对微型气相色谱柱而言,轻烃的分离是一个挑战。本研究基于微机电系统(MEMS)技术制备了微型气相色谱柱,在温下合成了一种金属有机框架材料HKUST-1,采用动态涂敷法将HKUST-1涂敷... 详细信息
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