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机构

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作者

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语言

  • 1,123 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室"
1123 条 记 录,以下是941-950 订阅
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Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森隧道结与DC SQUID的制备
Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森隧道结与DC SQUID的制备
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第十三届全国超导学术研讨会
作者: 熊伟 应利良 张国峰 王海 王镇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 上海科技大学 上海200031 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 上海科技大学 上海200031 中国科学院大学 北京100049
Nb/Al-AlOx/Nb隧道结是目前应用最广泛的超导约瑟夫森结之一.本文采用SNEAP(Selective Niobium Etch and Anodization Process)工艺流程,利用直流磁控溅射、反应离子刻蚀、阳极氧化、剥离、光刻等微加工工艺成功制备了质量稳定的Nb/Al-A...
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非接触式IC卡片上天线的优化设计
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微处理机 2005年 第1期26卷 40-43页
作者: 高丹 王元 徐元森 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433
本文以非接触式IC卡为应用背景,从片上天线的集总模型出发,根据对具体天线的仿真分析,发现在较低频率下工作在谐振条件的片上天线能提供给负载的能量不如非谐振时多,提出在设计非接触式IC卡片上天线时,不应考虑天线电路是否谐振,而应从... 详细信息
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基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者: 郭联峰 王翊 戴正飞 段国韬 蔡伟平 王跃林 李铁 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所 安徽 合肥 230031
文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息
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基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展
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导航与控制 2022年 第3期21卷 29-39页
作者: 张师斌 吴进波 张丽萍 郑鹏程 姚虎林 欧欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学材料科学与光电技术学院 北京100049
在5G及未来6G无线通信系统中,射频(Radio Frequency,RF)前端技术被视为一项关键技术。而射频滤波器作为射频前端的核心部件,具有频率选择以及抑制干扰信号的功能,基于压电效应的声波滤波器凭借其性能、体积、工艺等优势已成为移动射频... 详细信息
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基于差分脉冲溶出伏安法检测Zn2+和Cu2+的研究
基于差分脉冲溶出伏安法检测Zn2+和Cu2+的研究
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2016中国环境科学学会学术年会
作者: 宿子琪 黄善洛 张冀申 郭慧 杨红 金妍 金庆辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海师范大学生命与环境科学学院 上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京 100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海师范大学生命与环境科学学院 上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海师范大学生命与环境科学学院 上海200234 中国科学院大学 北京 100049
近年来,水体事件频发,水中重金属痕量检测显得尤为重要.本文基于差分脉冲溶出伏安法,引入Ga掩蔽剂,消除Cu2+对Zn2+的干扰,在Cu2+和Zn2+同时存在的50ppb、100ppb和500ppb的混合溶液中,Zn2+的检测结果分别为41.16ppb、95.15ppb和508.08p... 详细信息
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用于InP基DHBT制备的GaAs_(0.51)Sb_(0.49)湿法腐蚀研究(英文)
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电子器件 2011年 第1期34卷 12-16页
作者: 孙浩 齐鸣 艾立鹍 徐安怀 滕腾 朱福英 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
介绍了采用基于柠檬酸、硫酸和磷酸的腐蚀溶液对气态分子束外延生长的InP衬底上GaAs0.51Sb0.49湿法腐蚀研究工作。对不同体积比的腐蚀溶液的腐蚀速率和表面粗糙度进行了研究。和硫酸及磷酸基腐蚀液相比,柠檬酸/双氧水腐蚀液的腐蚀速率... 详细信息
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1.3μm垂直腔面发射激光器的进展
1.3μm垂直腔面发射激光器的进展
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第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
作者: 吴惠桢 雷华平 陈意桥 齐鸣 李爱珍 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室(上海市)
论文综述了1.3μm垂直腔面发射激光器的研究现状,设计了适合与1.3μm垂直腔面发射激光器的多层膜反射镜,并用光荧光光谱分析了由GSMBE生长的、可用与1.3μm垂直腔面发射激光器有源层的InAsP/InGaAsP应变补偿量子阱结构的发光特性.
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溶解氧的测定
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化学传感 2011年 第4期31卷 39-43页
作者: 刘彬 张缓缓 金庆辉 刘咏松 浙江理工大学理学院 浙江杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
在环境水质监测和医学上,溶解氧都是一个非常重要的指数。因此如何准确快速地测定溶解氧的值,对于指导很多领域的工作都是很有现实意义的。从溶解氧的现行方法出发,重点介绍了以传感器为核心的溶解氧测定方法及其优越性,展望了基于MEMS... 详细信息
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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
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中国化学会第30届学术年会
作者: 贺庆国 付艳艳 徐炜 范天驰 姚俊俊 高宜逊 程建功 传感技术联合国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海市长宁路865号200050
危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全,这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来,荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。
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1.31μm垂直腔面发射激光器材料及其物理特性研究
1.31μm垂直腔面发射激光器材料及其物理特性研究
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第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
作者: 吴惠桢 黄占超 劳燕锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室(上海市)
本文报道了采用气态源分子束外延(GSMBE)技术在InP基衬底上生长发光波长为1.31μm的InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱和在GaAs衬底上生长GaAs/AlGaAs分布布拉格反射镜(DBR),并用直接键合技术将生长在InP基上的InAsP/InGaAsP应变补偿多量... 详细信息
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