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机构

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作者

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语言

  • 1,123 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室"
1123 条 记 录,以下是961-970 订阅
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纳米硅基双势垒MOS结构的原位制备、F-N隧穿及电荷存储
纳米硅基双势垒MOS结构的原位制备、F-N隧穿及电荷存储
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第三届上海纳米科技与产业发展研讨会
作者: 吴良才 陈坤基 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室 半导体功能薄膜工程技术中心上海市长宁路865号200050 南京大学物理系固体微结构物理国家重点实验室南京市汉12路22号210093 南京大学物理系 固体微结构物理国家重点实验室南京市汉12路22号210093 中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室 半导体功能薄膜工程技术中心上海市长宁路865号200050
利用O2等离子体氧化单晶硅衬底的方法制备SiO2薄膜作为隧穿势垒,利用laverbylayer方法在SiO2隧穿势垒上原位制备纳米硅(nanocrystalline Si,nc-Si)量子点,然后再原位等离子体氧化nc-Si量子点表面制备控制SiO2层,从而形成nc-Si量子点阵... 详细信息
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级联长周期光栅光谱特性
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光学学报 2005年 第8期25卷 1019-1024页
作者: 崔丽萍 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
利用传输矩阵法分析了级联长周期光栅的光谱特性,讨论了级联处光纤的长度、位置以及包层模损耗系数对级联长周期光栅光谱的影响,并对级联长周期光栅和相移长周期光栅的光谱进行了比较。结果表明两者光谱在级联光纤长度较小或级联位置靠... 详细信息
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一种新结构硅微机械压阻加速度计
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传感技术学报 2005年 第3期18卷 500-503页
作者: 陈雪萌 李昕欣 宋朝晖 王跃林 黄晖 黄树森 张鲲 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小... 详细信息
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直接键合InP-GaAs结构界面的特性研究
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物理学报 2005年 第9期54卷 4334-4339页
作者: 劳燕锋 吴惠桢 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
通过对直接键合InPGaAs结构的红外吸收光谱分析以及断面扫描电子显微镜观察发现,样品制备过程中不均匀的外加压强导致InPGaAs交界面局部出现了不连续过渡的空间层,实验上将熔融石蜡渗透并被填充到该空间层,利用其对3.509μm波长光的强... 详细信息
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迭代法重建平板光波导折射率分布
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光学学报 2005年 第6期25卷 726-730页
作者: 郝寅雷 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
提出了一种用于重建渐变折射率平板光波导折射率分布的方法,这种方法通过数值法求解亥姆霍兹方程,从光波导的低阶模开始采用迭代法顺次对各个模式对应的“转折点”位置进行校正,并多次重复迭代以消除“转折点”外折射率分布的变化对相... 详细信息
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双环推挽型高线性M-Z光强调制器特性研究
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光电子.激光 2005年 第10期16卷 1157-1162,1170页
作者: 杨建义 王帆 江晓清 屈红昌 吴亚明 王明华 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
对损耗影响下的双环推挽(TRAPP)型马赫-曾德(M-Z)光调制器的线性特性进行了研究。分析表明,存在损耗时,设计特定的光微环与M-Z干涉臂间的耦合大小,并控制偏置点,总可以获得2次与3次高阶项为零的调制曲线;当微环1周损耗小于5 dB时,线性... 详细信息
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梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响
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传感技术学报 2005年 第3期18卷 525-530页
作者: 董林玺 孙玲玲 车录锋 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 杭州电子科技大学微电子CAD研究所 杭州310018
分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板... 详细信息
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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究
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传感技术学报 2005年 第4期18卷 766-770页
作者: 杨尊先 于映 林丽华 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随... 详细信息
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1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制
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Journal of Semiconductors 2005年 第9期26卷 1798-1803页
作者: 龙文华 李广波 贾科淼 屈红昌 唐衍哲 吴亚明 杨建义 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行... 详细信息
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
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光学精密工程 2005年 第6期13卷 674-680页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 详细信息
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