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  • 1,124 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室"
1124 条 记 录,以下是971-980 订阅
排序:
基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
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光学精密工程 2005年 第6期13卷 674-680页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 详细信息
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偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析
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机械强度 2005年 第4期27卷 465-469页
作者: 董林玺 孙玲玲 王跃林 杭州电子科技大学微电子CAD研究所 杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为了测得电容式传感器的电容变化,一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上,然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件。文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时,不同偏置电压极性对可靠工作条件... 详细信息
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压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理
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传感技术 2005年 第8期24卷 8-10页
作者: 陈雪萌 李昕欣 王跃林 焦继伟 杨恒 刘民 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检测的内在机理,并据此设计了一种简单的压阻式陀螺接口电路。接口电路的最小分辨力为0.33°/s。测量结... 详细信息
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硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用
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传感技术 2005年 第7期24卷 22-24页
作者: 王浙辉 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
在(100)硅上制作边沿晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿晶向掩模的凸角补偿技术,提出了2种凸角补偿图形,并应用于竖直微镜制作。实验表明“工”形补偿可获得方正的反射面;... 详细信息
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高量程MEMS加速度计封装工艺研究
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传感技术 2005年 第2期24卷 83-85页
作者: 蒋玉齐 程迎军 许薇 张鲲 李昕欣 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
对一种先进的双悬臂梁高量程MEMS加速度计的单芯片封装工艺进行了失效机理分析。手工粘贴芯片盖板可靠性不高,加速度计失效是由于胶粘剂(粘贴胶或灌封胶 )从芯片盖板和芯片的间隙流淌进入悬臂梁的过载保护间隙,阻碍了悬臂梁的摆动。高... 详细信息
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1.31μm垂直腔面发射激光器材料生长及其物理特性
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Journal of Semiconductors 2005年 第z1期26卷 121-125页
作者: 吴惠桢 黄占超 劳燕锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050
采用气态源分子束外延(GSMBE)技术在InP衬底上生长发光波长为1.31μm的InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱和在GaAs衬底上生长GaAs/AlGaAs分布布拉格反射镜(DBR),并用直接键合技术将生长在InP基上的InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱结构组装到... 详细信息
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微机械面型微加热器的热学分析
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功能材料与器件学报 2005年 第4期11卷 466-470,475页
作者: 吴雷 李铁 王立春 王翊 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分... 详细信息
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梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响
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Journal of Semiconductors 2005年 第2期26卷 373-378页
作者: 董林玺 车录锋 王跃林 浙江大学信息学院信电系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围... 详细信息
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大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性
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Journal of Semiconductors 2005年 第1期26卷 148-152页
作者: 陈永 焦继伟 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信电系 杭州310027
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低... 详细信息
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反应离子刻蚀ZnTe的THz辐射和探测研究
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物理学报 2005年 第10期54卷 4938-4943页
作者: 贺莉蓉 顾春明 沈文忠 曹俊诚 小川博司 郭其新 上海交通大学物理系凝聚态光谱与光电子物理实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 佐贺大学理工学部电气与电子工程系
运用电光采样技术揭示了反应离子刻蚀(RIE)ZnTe晶体表面THz辐射的光学整流产生机制,观察到0·25ps的THz场分布.通过比较刻蚀前后以及不同刻蚀条件下ZnTe样品在不同激发功率下的THz辐射强度,发现由于反应离子刻蚀破坏了ZnTe样品表面... 详细信息
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