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第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

作者：王茹张正选俞文杰田浩毕大炜张帅陈明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院研究生院

采用Si+注入技术对部分耗尽的SIMOX材料进行改性加固,分别用改性加固材料和未改性加固的材料流片制作环栅MOSFET器件,对器件进行辐照试验,得到I-V特性曲线。运用中带电压法对I-V特性曲线进行参数提取,进行电荷分离,得到埋氧层中的氧化... 详细信息

采用Si+注入技术对部分耗尽的SIMOX材料进行改性加固,分别用改性加固材料和未改性加固的材料流片制作环栅MOSFET器件,对器件进行辐照试验,得到I-V特性曲线。运用中带电压法对I-V特性曲线进行参数提取,进行电荷分离,得到埋氧层中的氧化物陷阱电荷和界面态陷阱电荷信息。结果表明注硅改性工艺在BOX中引入了一定量的固定正电荷,但更重要的是在改性样品的BOX中引入大量电子陷阱,这补偿了辐射感生正空间电荷,抑制了辐射感生的陷阱电荷,最终得到具有优越的抗辐射性能的改性SIMOX材料。

关键词： SIMOX材料总剂量效应氧化物陷阱电荷界面态陷阱电荷

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浮栅存储器的总剂量辐射效应研究进展

浮栅存储器的总剂量辐射效应研究进展

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第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

作者：刘张李张正选毕大炜张帅田浩俞文杰陈明王茹中国科学院研究生院中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

本文对浮栅存储器的总剂量辐射效应进行详细分析和讨论,主要内容包括浮栅存储器控制电路和存储单元的总剂量辐射效应。指出:总剂量辐射效应对浮栅存储器的影响主要是在隧道氧化层、栅之间的绝缘层中产生电荷,引起浮栅上电荷的变化。

关键词：控制电路存储单元总剂量辐射效应电荷损失

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注硅改性SIMOX材料的总剂量效应研究

注硅改性SIMOX材料的总剂量效应研究

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第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

作者：张帅张正选毕大炜陈明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院研究生院

采用Si注入到埋氧化层中并退火制备了总剂量加固的全耗尽SIMOX材料,对得到的样品在辐照前后的pseudo-MOSFET特性曲线进行了研究。结果表明注Si减小了辐照时NMOSFET阈值电压的漂移。截面高分辨TEM分析表明注Si的BOX层中形成了硅纳米晶体... 详细信息

采用Si注入到埋氧化层中并退火制备了总剂量加固的全耗尽SIMOX材料,对得到的样品在辐照前后的pseudo-MOSFET特性曲线进行了研究。结果表明注Si减小了辐照时NMOSFET阈值电压的漂移。截面高分辨TEM分析表明注Si的BOX层中形成了硅纳米晶体团簇,其作为深电子陷阱大幅减小了辐射诱生氧化物陷阱电荷的累积。Si注入并退火能够提高全耗尽SIMOX材料的抗总剂量效应能力。

关键词：全耗尽 SIMOX材料总剂量效应 pseudo-MOSFET 硅纳米晶体

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一种滞环恒流LED驱动电路的电流采样电路

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电子科技 2012年第1期25卷 1-4页

作者：孙正旻陈后鹏王倩罗胜钦宋志棠同济大学电子与信息工程学院上海201804 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

针对滞环恒流大功率LED驱动芯片,提出一款高性能电流采样电路。该电路采用高压工艺,可承受最高达40 V的输入电压。通过分析滞环控制的特点,采用串联电阻采样技术,结合匹配电流源结构,在保证响应速度和采样精度的同时,降低了电路的复杂... 详细信息

针对滞环恒流大功率LED驱动芯片,提出一款高性能电流采样电路。该电路采用高压工艺,可承受最高达40 V的输入电压。通过分析滞环控制的特点,采用串联电阻采样技术,结合匹配电流源结构,在保证响应速度和采样精度的同时,降低了电路的复杂度。电路中加入输入电压补偿电路,进一步提高了恒流控制的精度。在Cadence下的仿真结果表明,电路可在800 kHz的频率下正常工作,采样精度达99.78%;当电压从15 V变化至35 V时平均负载电流误差为0.81%;输出电压范围为0～5 V。

关键词：恒流控制高压工艺匹配电流源电压补偿

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纸基微流控电化学传感器芯片的研究进展

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传感器世界 2020年第12期26卷 1-11页

作者：肖疏雨胡敬芳王继阳宋钰李延生高国伟北京信息科技大学自动化学院北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室北京200050

由于纸基微流控芯片的自驱动性、易制备、集成度高、低试剂消耗以及成本低等特点,近年来,在分析检测领域得到高度关注,然而,其最大不足是选择性和灵敏度难以满足实际需求。电化学传感器是一类以电极为信号转换器,通过敏感元件的构筑,将... 详细信息

由于纸基微流控芯片的自驱动性、易制备、集成度高、低试剂消耗以及成本低等特点,近年来,在分析检测领域得到高度关注,然而,其最大不足是选择性和灵敏度难以满足实际需求。电化学传感器是一类以电极为信号转换器,通过敏感元件的构筑,将电极表面物质化学反应的选择性和高灵敏相结合,并且由于电化学传感器结构简单,极易与纸基微流控芯片实现高度集成化,因此,电化学传感器与纸基微流控芯片的结合很好地解决了当前纸基微流控芯片在分析检测方面的不足。该文对纸基微流控电化学传感器芯片进行了研究综述,首先介绍纸基在微流控芯片制备方面的特点和优势,以及纸基微流控芯片的加工制备方法,然后阐述了电化学传感器原理和电化学电极的制备方法,最后介绍了近几年纸基微流控电化学传感器芯片在环境、医学和食品检测方面的应用实例,并展望了纸基微流控电化学传感器未来研究趋势。

关键词：纸基微流控芯片电化学传感器电极制备

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国内外光刻胶产业分析及发展建议

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功能材料与器件学报 2020年第6期26卷 382-386页

作者：朱宇波黄嘉晔中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 上海集成电路材料研究院有限公司上海200050

光刻胶是集成电路光刻工艺中的关键材料,光刻胶产业具有很高的技术壁垒,市场基本被国外企业垄断。近年来,随着集成电路芯片制造产能向中国大陆转移,我国对光刻胶的需求稳步增加,实现进口替代的需求迫切。本文针对光刻胶产业,从全球产业... 详细信息

光刻胶是集成电路光刻工艺中的关键材料,光刻胶产业具有很高的技术壁垒,市场基本被国外企业垄断。近年来,随着集成电路芯片制造产能向中国大陆转移,我国对光刻胶的需求稳步增加,实现进口替代的需求迫切。本文针对光刻胶产业,从全球产业情况、相关产业巨头、产业特点以及国内光刻胶产业面临的问题方面进行综合阐述,最后提供了国内光刻胶产业的发展建议。

关键词：光刻胶集成电路制造产业分析

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SQUID器件与应用技术及其标准现状分析与建议

SQUID器件与应用技术及其标准现状分析与建议

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第十三届全国超导学术研讨会

作者：孔祥燕张国峰张树林王美玲张懿王镇谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院上海超导中心上海200050

超导量子干涉器件(SQUID)是目前为止最为灵敏的磁传感器，其发展历史已有50余年，但无论在器件还是应用方面，国内和国际标准几乎空白。目前随着SQUID器件日渐成熟，在基础研究和系统应用方面的深入和扩展，对于器件和系统相关的标准需...

超导量子干涉器件(SQUID)是目前为止最为灵敏的磁传感器，其发展历史已有50余年，但无论在器件还是应用方面，国内和国际标准几乎空白。目前随着SQUID器件日渐成熟，在基础研究和系统应用方面的深入和扩展，对于器件和系统相关的标准需求越来越大。作者就SQUID器件的及其应用的国内外现状进行总结和分析，并就有关SQUID器件和应用方面的相关的标准提出初步观点和建议，并以低温SQUID器件以及磁探测系统的若干具体问题作为实例进行细致交流。

关键词：

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超导纳米线单光子探测抖动分析

超导纳米线单光子探测抖动分析

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：尤立星中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 中国科学院上海超导中心上海 200050

超导纳米线单光子探测(SNSPD)技术在过去10年间已经发展成为超导电子学的一个重要应用领域,其主要性能指标已经明显超越传统的半导体探测器件.本报告将介绍上海微系统所在SNSPD领域的研究进展.主要包括SNSPD器件研制,器件的性能表征以...

超导纳米线单光子探测(SNSPD)技术在过去10年间已经发展成为超导电子学的一个重要应用领域,其主要性能指标已经明显超越传统的半导体探测器件.本报告将介绍上海微系统所在SNSPD领域的研究进展.主要包括SNSPD器件研制,器件的性能表征以及系统集成应用(量子通信、测距及成像等).重点探讨SNSPD器件和系统的抖动起源,分析了信号信噪比对系统抖动的影响.

关键词：

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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计

MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：董培涛李昕欣陈聪夏保佳王跃林封松林李圣怡中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073

本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,... 详细信息

本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定空占比为0.7左右时,燃料电池的性能最佳.制作器件的测试结果表明采用该优化设计的燃料电池的峰值功率密度高达135 mW/cm2.

关键词：微机械质子交换膜燃料电池自呼吸阴极极板模型优化设计

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一种应用于水质检测的叉指电极传感器的研究

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无线通信技术 2020年第3期29卷 56-61页

作者：王昕金庆辉邹杰简家文宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 电子科技大学光电科学与工程学院成都611731 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文对叉指电极在溶液测量中的应用进行分析,通过对叉指电极在溶液环境中的电场进行仿真研究,比较了不同尺寸下的电场分布情况,并计算其在溶液中的阻抗。利用COMSOL Multiphysics仿真软件AC/DC模块下的电流接口,构建了以二氧化硅为衬底... 详细信息

本文对叉指电极在溶液测量中的应用进行分析,通过对叉指电极在溶液环境中的电场进行仿真研究,比较了不同尺寸下的电场分布情况,并计算其在溶液中的阻抗。利用COMSOL Multiphysics仿真软件AC/DC模块下的电流接口,构建了以二氧化硅为衬底,指长4mm,指宽和指间距分别为1mm,5mm,10mm,20mm,30mm的不同参数的叉指电极模型进行仿真测试,同时设计了叉指电极与二电极的对比仿真实验。仿真结果表明,叉指电极具有较高的灵敏度且改变间距、线宽、指厚均对测量有影响。以上结论,可以为用于溶液测量的叉指电极参数设计提供参考。

关键词：叉指电极溶液测量电极结构仿真测试

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