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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：郭联峰王翊戴正飞段国韬蔡伟平王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所安徽合肥 230031

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最佳工作温度下(250℃),此微纳融合气体传感器的功耗仅为24mW,响应时间约为2s,对1ppm的乙醇的灵敏度(Rair/Rgas)可达到3.47,有望在安全监控、环境保护等方面得到广泛应用.

关键词：气体传感器制造工艺微型加热器平台二氧化锡薄膜

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拖曳式海洋测量传感器阵列的拓扑结构数据传输总线设计与实现

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无线通信技术 2020年第2期29卷 32-35,40页

作者：齐超金庆辉邹杰简家文宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 电子科技大学光电科学与工程学院成都611731 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文对拖曳式海洋传感器阵列总线进行分析,提出了一种基于RS-485双绞线并具有拓扑结构的海洋传感器阵列总线。新型海洋传感器阵列总线采用多回路拓扑结构来提高系统的冗余性,采用接力式结构使传输速度不受距离限制,克服了传统串行通信... 详细信息

本文对拖曳式海洋传感器阵列总线进行分析,提出了一种基于RS-485双绞线并具有拓扑结构的海洋传感器阵列总线。新型海洋传感器阵列总线采用多回路拓扑结构来提高系统的冗余性,采用接力式结构使传输速度不受距离限制,克服了传统串行通信总线轮询效率低海洋复杂环境下可靠性不高的缺点。

关键词：传感器阵列多回路接力式总线拓扑结构 RS-485

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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

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中国化学会第30届学术年会

作者：贺庆国付艳艳徐炜范天驰姚俊俊高宜逊程建功传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海市长宁路865号200050

危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全，这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来，荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。

关键词：

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基于光栅相移效应的Littrow激光器的无跳模调谐

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通信技术 2018年第5期51卷 1045-1049页

作者：周长帅王海龙龚谦荣春朝严进一杨维凯山东省激光偏光与信息技术重点实验室曲阜师范大学物理系山东曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

利用光栅相移效应实现了外腔半导体激光器的大范围无跳模调谐。激光器采用小型化的Littrow型外腔结构,标定中心波长为1 550 nm,采用后腔面输出激光。在室温工作条件下,测试了激光器的无跳模调谐范围和无跳模调谐范围内激光器的功率。实... 详细信息

利用光栅相移效应实现了外腔半导体激光器的大范围无跳模调谐。激光器采用小型化的Littrow型外腔结构,标定中心波长为1 550 nm,采用后腔面输出激光。在室温工作条件下,测试了激光器的无跳模调谐范围和无跳模调谐范围内激光器的功率。实验结果表明,利用光栅相移效应实现了11.8 GHz的无跳模连续调谐,最大输出功率达到17.60 m W,获得了0.092 nm的波长调谐范围。该实验证明,利用光栅相移效应也可以实现较大范围的无跳模调谐,为Littrow结构实现无跳模调谐提供了一种新思路。

关键词：光栅相移效应 Littrow结构外腔半导体激光器

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基于微球和微柱阵列芯片的乳滴数字PCR定量方法

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传感器与微系统 2017年第5期36卷 16-18页

作者：程祖乐王琨毛红菊夏文薇金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 上海交通大学医学院附属第九人民医院上海200011

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到... 详细信息

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到统计磁珠的目的。微柱阵列芯片采用基于尺寸差异的拦截原理。该芯片组装简单成本低,降低了BEAMing技术的磁珠统计难度。利用该方法对不同浓度的特定DNA序列做了检测,验证了该方法的实用性。

关键词：微柱阵列芯片乳滴数字聚合酶链反应微球生物传感器

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张应变对Ge迁移率的改善

张应变对Ge迁移率的改善

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第十届全国分子束外延学术会议

作者：王凯龚谦周海飞康传振严进一柳庆博王庶民中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 曲阜师范大学物理工程学院曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 Department of Microtechnology Chalmers University of Techn

随着集成电路技术步入纳米级,一系列由于沟道微尺寸而引发的效应将影响晶体管性能.迁移率退化是其中最为严重的效应之一.本论文工作讨论了在InAIP虚拟衬底上生长张应变Ge，通过改变In组分获得了不同张应变Ge，并对张应变对Ge迁移率的影... 详细信息

随着集成电路技术步入纳米级,一系列由于沟道微尺寸而引发的效应将影响晶体管性能.迁移率退化是其中最为严重的效应之一.本论文工作讨论了在InAIP虚拟衬底上生长张应变Ge，通过改变In组分获得了不同张应变Ge，并对张应变对Ge迁移率的影响进行了研究。本文中所有样品均在V90气态源分子束外延设备上进行材料生长，其中As和P由AsH3和PH:经1000℃高温裂解获得，其束流大小由压力控制;In,Al,Ga都使用固态源，束流大小由温度进行精确控制。测试结果表明，随着InAIP中In组分的增大，Ge的张应变量随之增大，表明在InAIP虚拟衬底上生长Ge可以对其张应变量进行很好地控制;原子力显微镜测试结果表明即使Ge的张应变量达到2.0％，仍然能够保持二维生长和高质量的表面;霍尔测试结果表明Ge迁移率随着张应变量的增大而增大，显示出其在未来集成电路应用的良好前景。

关键词：集成电路半导体技术锗材料迁移率张应变量分子束外延

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1.3μm波段InAs/GaAs量子点激光器性能研究

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通信技术 2018年第6期51卷 1268-1272页

作者：杨维凯王海龙曹春芳严进一周长帅龚谦山东省激光偏光与信息技术重点实验室曲阜师范大学物理系山东曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

利用气态源分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点材料,研制出激射波长为1.3μm波段由5层量子点组成的3 mm腔长、3μm脊条宽度的InAs/GaAs量子点激光器。在室温连续波模式下,研究了激光器的输出性能和光谱性能,激光器的阈值电流为91... 详细信息

利用气态源分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点材料,研制出激射波长为1.3μm波段由5层量子点组成的3 mm腔长、3μm脊条宽度的InAs/GaAs量子点激光器。在室温连续波模式下,研究了激光器的输出性能和光谱性能,激光器的阈值电流为91 mA,相应的阈值电流密度为1 011.1 A/cm^2,激光输出功率斜效率为115 mW/A,最高输出功率达到30 mW。在温度范围10~50℃内,测得激光器的特征温度为40K。另外,研究了改变注入电流和改变激光器的工作温度条件下的器件激射波长的调谐特性。

关键词：量子点激光器分子束外延阈值电流密度特征温度

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NbTiN与NbN薄膜超导纳米线单光子探测器性能比较

NbTiN与NbN薄膜超导纳米线单光子探测器性能比较

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第十四届全国超导学术研讨会

作者：杨晓燕尤立星张露陈思井吕超林李浩刘晓宇周慧王镇中国科学院超导电子学卓越创新中心信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

超导纳米线单光子探测器(SNSPD)具有探测效率高、计数率高、暗计数低、时间抖动小等特点。目前在量子密钥分发、量子纠缠、量子随机数发生器，以及星地测距、地月测距、成像等应用方面具有大量的器件需求。

关键词：

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对DC-SQUID磁通调制读出方案的分析

对DC-SQUID磁通调制读出方案的分析

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第十三届全国超导学术研讨会

作者：王海洪韬孔祥燕张懿中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海20050 中国科学院大学北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海20050 Peter Grünberg Institute (PGI-8) Forschungszentrum Jülich (FZJ) D-52425 Jülich Germany

通过升压变压器连接SQUID与前放的磁通调制方案(FMS)是一种标准的SQUID读出技术。变压器的初级线圈串联一个大电容后并联到SQUID两端,次级线圈连接到前放。一个典型频率在100 kHz调制磁通会在SQUID两端产生一个交流的电压信号V(Φ),该...

通过升压变压器连接SQUID与前放的磁通调制方案(FMS)是一种标准的SQUID读出技术。变压器的初级线圈串联一个大电容后并联到SQUID两端,次级线圈连接到前放。一个典型频率在100 kHz调制磁通会在SQUID两端产生一个交流的电压信号V(Φ),该电压信号会被变压器放大。由于电容的隔直作用,习惯上认为恒定的直流偏置电流Ib只流经SQUID,在该技术方案中SQUID工作于电流偏置模式。然而,在FMS中SQUID的工作模式既不是纯粹的电流偏置也不是电压偏置,而是混合偏置。通过分析,并定量比较了FMS与直读方案(DRS)的SQUID电流电压(I-V)特性曲线实验测量数据,我们发现：由于变压器的并联分流作用使得流经SQUID的电流Is≠Ib,且不是恒定的,,使得SQUID在FMS中的V(Φ)信号与DRS相比减小了。更重要的是,变压器的通带效应使得SQUID信号变得接近正弦波,这就降低了SQUID工作点附近的(e)V/(e)Φ。

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X射线能谱方法在稀土能源材料中的研究应用

X射线能谱方法在稀土能源材料中的研究应用

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中国稀土学会2021学术年会

作者：余毅章辉刘志上海科技大学大科学中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

基于二氧化铈的稀土能源催化材料具有可逆氧化还原对Ce/Ce、可调控氧空位和表面酸碱性质等优异性质,在能源催化和有机合成等领域取得了广泛的应用和研究。探究氧化铈电催化体系中的微观化学机制、理解电催化过程的界面构效关系,对设计... 详细信息

基于二氧化铈的稀土能源催化材料具有可逆氧化还原对Ce/Ce、可调控氧空位和表面酸碱性质等优异性质,在能源催化和有机合成等领域取得了广泛的应用和研究。探究氧化铈电催化体系中的微观化学机制、理解电催化过程的界面构效关系,对设计下一代高活性稀土能源材料具有重要的科学价值和实践意义。本报告将围绕原位X射线能谱方法展开,基于氧化铈模型电化学器件,讨论X射线能谱方法在稀土能源材料研究中的应用,并结合多种X射线原位谱学方法,探讨稀土材料设计和研究的新范式,展望X射线原位技术在稀土材料催化和电催化研究中的应用。

关键词： X射线能谱方法原位氧化铈电催化

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