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机构

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作者

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语言

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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感国家重点实验室"
1137 条 记 录,以下是1071-1080 订阅
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300 mm硅片技术发展趋势探讨
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微纳电子与智能制造 2022年 第1期4卷 14-29页
作者: 刘赟 薛忠营 魏星 李炜 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海新昇半导体科技有限公司 上海201306 上海硅产业集团股份有限公司 上海201306
单晶硅片是半导体行业最重要的衬底材料,广泛应用于逻辑电路、存储器、射频器件与功率器件等电子器件。集成电路制造技术随摩尔定律的不断发展,半导体器件对硅片几何形貌与品质提出了越来越高的要求。本文梳理了硅片发展的历史,并对新一... 详细信息
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直拉单晶硅晶体缺陷研究进展
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微纳电子与智能制造 2022年 第1期4卷 64-74页
作者: 刘赟 薛忠营 魏星 李炜 信息功能材料国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海新昇半导体科技有限公司 上海201306 上海硅产业集团股份有限公司 上海201306
直拉单晶硅是目前用于制造集成电路的主流衬底材料。随着集成电路的特征尺寸不断减小,对单晶硅衬底的晶体缺陷类型、密度、尺寸等提出日益苛刻的要求。因此,深入研究掌握直拉单晶硅晶体缺陷的形成机理并且快速准确地表征这些晶体缺陷,... 详细信息
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纳米SiO2抛光液的制备及其在蓝宝石CMP中的应用
纳米SiO2抛光液的制备及其在蓝宝石CMP中的应用
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第十三届全国LED产业发展与技术研讨会
作者: 张泽芳 刘卫丽 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室纳米技术研究室上海200050 上海新安纳电子科技有限公司 上海201506
本文制备了一种纳米氧化硅抛光液,采用扫描电镜、激光粒度仪、大颗粒计数仪对其进行了表征.进而研究了其在蓝宝石表面的抛光性能,采用FRT、Candela、原子力显微镜等对抛光后的表面进行了表征.结果表明制备的纳米氧化硅抛光液在LED蓝... 详细信息
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纸基微流控芯片技术及在水质检测中的应用
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传感器世界 2021年 第8期27卷 19-29页
作者: 杨洋春 胡敬芳 肖疏雨 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室 北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感器联合国家重点实验室上海200050
纸基微流控芯片技术是一种以纸张为基底材料,通过喷墨、光刻等技术进行加工的新型微流控技术。纸张具有造价低廉、样品消耗少、简单便携和环境友好等优点,很大程度上促进了芯片实验室集成化和微型化的发展。近些年,随着社会经济的不断发... 详细信息
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基于无线射频技术的环境监测系统研究与应用综述
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传感器世界 2021年 第8期27卷 1-7页
作者: 刘耀辉 胡敬芳 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 北京信息科技大学 现代测控技术教育部重点实验室北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感器联合国家重点实验室上海200050
射频识别(radio frequency identification,RFID)技术是实现目标自动识别的关键技术,在物联网技术中发挥着重要作用。文章对无线射频技术的构成、原理及特点等进行介绍,并结合传感器的使用,综合论述了无线射频技术在环境监测领域的研究... 详细信息
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Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究
Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 刘奇斌 张楷亮 王良咏 封松林 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程研究中心 信息功能材料国家重点实验室中国科学院研究生院
Ge2Sb2Te5目前被公认为在相变存储器(PCRAM)中最好的材料.本文主要是从电化学角度考查Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中作用.我们研究了Ge2Sb2Te5薄膜在不同的PH值和H2O2浓度下的电化学特性.在实验中我们用的电化学设备是SolartronSI12... 详细信息
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阵列波导光栅的研制及其发展
阵列波导光栅的研制及其发展
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第五届全国光子学大会
作者: 杨建义 江晓清 贾科淼 唐衍哲 王跃林 王明华 浙江大学信息与电子工程学系 杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 杭州210027
本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG,包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜,构成波导阵列,提出并研制了具有集成微镜的AWG,这种AWG可以具有紧凑的结构与灵活的设... 详细信息
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立方相ZnMgO的电学特性研究
立方相ZnMgO的电学特性研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
作者: 金国芬 梁军 吴惠桢 劳燕锋 余萍 徐天宁 浙江大学物理系固体电子材料物理与器件实验室 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 浙江大学物理系固体电子材料物理与器件实验室 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
立方相ZnMgO合金薄膜是一种新型宽带隙材料,为研究立方相ZnMgO(C-ZnMgO)材料的电学性能,我们在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲线,计算得C-ZnMgO材料的介电常数为10.5... 详细信息
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微振动传感与声振特征识别的输电线路环境异变预警研究
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电力信息与通信技术 2020年 第9期18卷 57-63页
作者: 何冰 孟夏卿 顾俊杰 俞杰 李伟 国网上海市电力公司检修公司 上海200063 中光华研电子科技有限公司 上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
输电线路常常遭受施工机械破坏导致停电事故,而传统的人工巡检和视频监控不具有实时性,光纤传感“后知后觉”,不能起到及时预警的作用。针对上述情况,文章通过研究声信号的特性及其在传播过程中的衰减特性,分析工程机械声信号的产生机... 详细信息
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一种高参数容差的SQUID自举电路
一种高参数容差的SQUID自举电路
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第十一届全国超导学术研讨会暨超导发现100周年纪念大会
作者: 张国峰 张懿 董慧 谢晓明 Hans-Joachim Krause Andreas Offenh(a)usser 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海 200050 Peter Grünberg Institute (PGI-8) Forschungszentrum Jülich Peter Grünberg Institute (PGI-8) Forschungszentrum Jülich (FZJ)Jülich 52425 Germany Joint Research 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海 200050 Joint Research Laboratory on Superconductivity and Bioele
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