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机构

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作者

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  • 1,138 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感国家重点实验室"
1138 条 记 录,以下是151-160 订阅
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硅基石墨烯场效应管关键工艺研究
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功能材料 2013年 第B12期44卷 344-349页
作者: 张凤 方新心 成霁 唐逢杰 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院与德国于利希研究中心超导与生物电子学联合实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
石墨烯由于其独特的电学特性受到关注,工艺的研究促使石墨烯材料的实际应用。着重于石墨烯场效应管关键工艺(目标衬底的预处理、石墨烯的转移、金属沉积、石墨烯刻蚀与退火)的优化。通过实验发现,衬底上硅醇基的密度以及碳氢化合物分子... 详细信息
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微波退火和快速热退火下钛调制镍与锗锡反应
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物理学报 2021年 第11期70卷 248-253页
作者: 刘伟 平云霞 杨俊 薛忠营 魏星 武爱民 俞文杰 张波 上海工程技术大学数理与统计学院 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
本文研究了1 nm钛作为插入层的条件下,镍与锗锡合金在不同退火温度下的固相反应,比较了微波退火和快速热退火对镍锗锡化物形成的影响.研究结果表明:在微波退火300℃、快速热退火350℃条件下,可以形成连续平整的镍锗锡薄膜.通过进一步分... 详细信息
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梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响
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传感技术学报 2005年 第3期18卷 525-530页
作者: 董林玺 孙玲玲 车录锋 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 杭州电子科技大学微电子CAD研究所 杭州310018
分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板... 详细信息
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130 nm加固SOI工艺的抗辐射控制芯片设计
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国防科技大学学报 2020年 第3期42卷 17-21页
作者: 常永伟 余超 刘海静 王正 董业民 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049
针对航天电子系统控制模块对集成电路的抗辐射需求,在130 nm部分耗尽绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator,SOI)工艺平台上设计了一款基于比例、积分、微分控制算法的控制芯片,并分别从晶圆材料、制备工艺、版图设计的角度对芯片进行了总剂... 详细信息
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石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
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传感器与微系统 2007年 第1期26卷 41-44页
作者: 王俊杰 车录锋 吴浩 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEM... 详细信息
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一种高精度微芯片用于微环境中细胞温度波动监测
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生物化学与生物物理进展 2021年 第8期48卷 959-965页
作者: 赵雪飞 郜晚蕾 尹加文 管轶华 金庆辉 宁波大学信息科学与工程学院 宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
温度是生物体中重要的参数,准确测量细胞在代谢过程中的温度波动可为更深入地探究细胞的能量产生和扩散过程提供有价值的信息,从而促进癌症和其他疾病的研究.本文基于微机电加工和微流控技术制备一批可在微环境下监测细胞代谢过程中温... 详细信息
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视觉传感器和惯性传感器的时间标定方法
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光学学报 2021年 第24期41卷 193-202页
作者: 付凤杰 李辰懋 吴丽 刘衍青 朱冬晨 李嘉茂 张晓林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室-仿生视觉系统实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海科技大学信息科学与技术学院 上海201210
视觉惯性信息融合的同时定位和建图(SLAM)技术是机器人导航领域的热点问题。多模态数据同步是数据融合算法的前提,其关键在于获取不同传感器采集时刻的准确时间戳。视觉传感器的时间戳可通过硬件方法准确获得,而惯性传感器的时间戳通常... 详细信息
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微机械Golay腔型红外探测器的研究
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传感器与微系统 2007年 第3期26卷 20-23页
作者: 高翔 徐静 赵本刚 万助军 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/... 详细信息
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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感
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Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1620-1624页
作者: 徐玮鹤 车录锋 李玉芳 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线... 详细信息
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高效、偏振不敏感超导纳米线单光子探测器
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物理学报 2021年 第18期70卷 346-352页
作者: 张文英 胡鹏 肖游 李浩 尤立星 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院超导电子学卓越创新中心 上海200050 中国科学院大学 北京100039 中国科学院空间主动光电技术重点实验室 上海200050
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)因其优异的综合性能被广泛应用于量子通信等众多领域,然而其独特的线性结构会导致SNSPD的探测效率对入射光的偏振态具有依赖性,从而限制了SNSPD在非常规光纤链路或其他非相干光探测环境中的应用.本文基于... 详细信息
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