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机构

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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感国家重点实验室"
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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
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中国化学会第30届学术年会-第二十分会:光电功能器件
作者: 贺庆国 付艳艳 徐炜 范天驰 姚俊俊 高宜逊 程建功 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全,这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来,荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。通过聚集态活化、聚集态发... 详细信息
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ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响
ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响
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第十五届全国固体薄膜学术会议
作者: 李静杰 程新红 郑理 沈玲燕 王谦 张栋梁 钱茹 俞跃辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京 101407 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能国家重点实验室上海200050
本文采用SF6和O2两种不同的气体对SiC进行ICP沟槽刻蚀,当O2的流量增加时,O2和F离子会与C生成易挥发的CO,CO2和COF2,进而增加了SiC的刻蚀速率(如图1所示)。
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FTIR测量的量子型光电探测器响应光谱校正
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红外与毫米波学报 2015年 第6期34卷 737-743页
作者: 张永刚 周立 顾溢 马英杰 陈星佑 邵秀梅 龚海梅 方家熊 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 上海200083
针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详细讨论.用两种方案对... 详细信息
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集成式多参数水质监测光学传感器研制
集成式多参数水质监测光学传感器研制
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中国环境科学学会2016年学术年会
作者: 刘思乡 范卫华 赵辉 王帅超 金庆辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学 上海师范大学
水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求。紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点。本文介... 详细信息
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一种基于压力传感器的穿戴式呼吸监测系统设计
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传感器与微系统 2016年 第2期35卷 126-129页
作者: 肖小玉 黄善洛 陈淑靖 宋元林 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 复旦大学附属中山医院 上海200032
为指导慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者完成标准的呼吸操康复训练,设计了一种穿戴式呼吸监测系统,系统包括呼吸波传感器、数据采集电路板和手机APP软件。通过该系统,患者能实时观测自身呼吸波形和各项呼吸参数,通过比对标准呼吸曲线,根据同... 详细信息
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同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究
同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究
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2016中国环境科学学会学术年会
作者: 金妍 黄善洛 宿子琪 郭慧 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海师范大学 上海200234 上海师范大学 上海200234 中国科学院大学 北京100049
采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度.考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染.实验结果表明,在pH=4.... 详细信息
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多通道超导全张量读出电路系统研制
多通道超导全张量读出电路系统研制
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第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
作者: 徐小峰 王永良 张国峰 张树林 邱隆清 荣亮亮 谢晓明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室
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“万能离子刀”
“万能离子刀”
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第16届全国荷电粒子源粒子束学术会议
作者: 欧欣 信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
载能离子与固体相互作用的效果是多方面的。其中一个重要现象和作用是通过气体离子与固体的相互作用可以在固体材料表面或内部产生空体积缺陷,如空位、空洞和气泡等。通过有效控制离子束产生的空体积缺陷并实现“Defect induce Effect...
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应用于RSFQ超导数字电路的Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结的制备与表征
应用于RSFQ超导数字电路的Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结的制备与表征
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第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
作者: 熊伟 应利良 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
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用于电子器件的石墨烯薄膜化学气相沉积制备
用于电子器件的石墨烯薄膜化学气相沉积制备
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2016中国国际石墨烯创新大会
作者: 吴天如 王浩敏 狄增峰 谢晓明 信息功能材料国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国
石墨烯要在电子学领域发挥重要作用还需要克服多项技术挑战,包括晶元级石墨烯薄膜制备和带隙调控等.本报告将介绍中科院上海微系统所在石墨烯晶元以及大晶畴AB堆垛双层石墨烯薄膜方面的研究进展.通过向具有适中碳固溶度的Cu85Ni15合金...
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