检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2014年第8期33卷 48-51页

作者：赵璐冰徐静钟少龙李绍良吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌... 详细信息

光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌陷率。键合后的BCB胶厚约为11.6μm,剪切强度为18MPa,He细检漏率小于5.0×10-8atm·cm3/s。此键合工艺可应用于制作需要低温工艺且不能承受高电压的MEMS器件。

关键词：光敏BCB 光刻低温键合剪切强度气密性

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作

引用

传感器与微系统 2014年第5期33卷 91-94,98页

作者：李绍良徐静吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺... 详细信息

加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺膜上的2组Pt线圈分别对芯片进行加热和温度检测。实验证明:聚酰亚胺隔热悬挂结构由热传导引起的功耗仅为没悬挂结构时的0.95%,大大降低了由热传导引起的功耗,即便在没有真空封装的情况下,在芯片工作在100℃时,功耗也可降低到36.7%;同时该结构也具有良好的机械性能,承载体积为14 mm×7 mm×1 mm的硅基芯片时,安全系数可达到56.58,具有很好的应用前景。

关键词：聚酰亚胺隔热悬挂结构 MEMS技术低功耗绝热封装

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

四电极电化学MEMS加速度传感器仿真

引用

传感器与微系统 2014年第1期33卷 18-21页

作者：苏荣涛李伟车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039

基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变,从而使电极电流发生变化等电化学原理,建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极—阴极—阴极—阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过... 详细信息

基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变,从而使电极电流发生变化等电化学原理,建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极—阴极—阴极—阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过理论分析,该传感单元可以局部电解液为惯性质量,利用电解液中带电离子相对于电极的运动来产生并输出附加电流;进一步的建模仿真证明:在一定的加速度范围内(0传感单元成为加速度传感器。

关键词：电化学加速度传感器 ACCA四电极阵列 Comsol仿真微机电系统

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

酸性环境中基于Ta_2O_5的场效应管pH传感器的研究

引用

传感器与微系统 2014年第1期33卷 26-30,34页

作者：金妍陈淼金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 CSIRO Process Science and Engineering 中国科学院大学北京100049

研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1—7的范围内呈现出-57．4mV／pH的响应，漂移性约为3mV，迟滞效应小于5mV，且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究，并采用不同的等... 详细信息

研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1—7的范围内呈现出-57．4mV／pH的响应，漂移性约为3mV，迟滞效应小于5mV，且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究，并采用不同的等效电路来拟合此Si／SiO2／Ta2O5／电解液体系的响应机理，得出最佳的等效电路模型为RC（CR）（C（RW））。对拟合参数进行分析，此Ta2O5敏感膜与不同pH的电解液接触时，敏感膜与电解液的界面作用最终会引起半导体硅中空间电荷的变化，进而引起整个传感器结构的电容变化。制作的pH传感器稳定性好，适合于生物冶金过程（pH为1-4）的长时间连续监测。

关键词： Ta2O5 pH传感器电化学阻抗谱原子力显微镜等效电路模型

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

GaAs基In0.83Ga0.17As探测器结构中InAlAs缓冲层的优化

GaAs基In0.83Ga0.17As探测器结构中InAlAs缓冲层的优化

引用

第十一届全国分子束外延学术会议

作者：陈星佑张永刚顾溢奚苏萍郭作兴周立李爱珍李好斯白音中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 吉林大学教育部材料科学与工程学院汽车材料重点实验室长春130025

波长位于1～3μm波段的短波红外光电探测器及其阵列在航天遥感、夜视、光谱测量等领域都有重要的应用[1].而In Ga1-xAs材料通过调节In组分波长可以覆盖0.87～3.5μm波段,且具有高迁移率等优点,尤其是InGaAs探测器能够室温工作,因此备受...

波长位于1～3μm波段的短波红外光电探测器及其阵列在航天遥感、夜视、光谱测量等领域都有重要的应用[1].而In Ga1-xAs材料通过调节In组分波长可以覆盖0.87～3.5μm波段,且具有高迁移率等优点,尤其是InGaAs探测器能够室温工作,因此备受关注.

关键词：

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于压缩感知的无线阵列及协同信号处理

引用

计算机研究与发展 2014年第1期51卷 180-188页

作者：余恺印明宗晓杰王营冠王智工业控制技术国家重点实验室(浙江大学) 浙江工商大学计算机与信息工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所

传感器阵列信号处理是目标监测重要手段之一,传感器节点向后端数据融合中心发送原始信号不可避免地导致传输延时大、能耗高等问题.为实现低功耗、高精度、灵活部署的目标监测,提出了基于压缩采样的无线阵列.借助新兴的压缩感知理论,解... 详细信息

传感器阵列信号处理是目标监测重要手段之一,传感器节点向后端数据融合中心发送原始信号不可避免地导致传输延时大、能耗高等问题.为实现低功耗、高精度、灵活部署的目标监测,提出了基于压缩采样的无线阵列.借助新兴的压缩感知理论,解决低功耗低速率无线通信难以满足阵列原始信号的实时传输的问题,并保证阵列测向性能;同时根据相邻节点信号的相关性,设计了基于模型先验知识的信号协同重构算法,以较低的运算负荷完成信号的重构.仿真表明基于压缩感知的无线阵列能实现有效的目标测向,同时在数据量严重受限时性能明显优于传统方法.最后,通过简易实验验证了该方法在低成本平台上的可行性.

关键词：阵列信号处理压缩感知随机压缩采样无线通信声阵列

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

添加Mn和Co对V_(80)Ti_8Cr_(12)合金储氢性能的影响

引用

功能材料与器件学报 2015年第5期21卷 145-149页

作者：李朵娄豫皖杜俊霖蒲朝辉黄铁生李志林吴铸李重河中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心上海200050 省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海200072 上海特种铸造工程技术研究中心上海201605

研究了添加Mn和Co对V_(80)Ti_(8-x-y)Cr_(12)Mn_xCo_y(x=0,1,2,3;y=0,0.1,0.2,0.4,0.8,1.0)合金组织结构和储氢性能的影响。结果表明:所有的合金均为bcc单相结构。Mn的添加减小了合金bcc相的晶格常数,平台压升高,平台斜率因子减小,残余... 详细信息

研究了添加Mn和Co对V_(80)Ti_(8-x-y)Cr_(12)Mn_xCo_y(x=0,1,2,3;y=0,0.1,0.2,0.4,0.8,1.0)合金组织结构和储氢性能的影响。结果表明:所有的合金均为bcc单相结构。Mn的添加减小了合金bcc相的晶格常数,平台压升高,平台斜率因子减小,残余氢量减少,然而合金的吸放氢量均有所降低。在V_(80)Ti_7Cr_(12)Mn_1基础上添加Co,随着Co含量的增加,合金的平台压升高,斜率因子减小,吸氢量和有效放氢量均先增加后降低,但有效放氢量均能保持在2.2%以上。当Co含量为0.2at%时,得到合金V_(80)Ti_(6.8)Cr_(12)Mn_1Co_(0.2)在273K吸氢量达到最大为3.81%(质量分数),313K有效放氢量为2.45%,平台压为0.68Mpa。对V_(80)Ti_(6.8)Cr_(12)Mn_1Co_(0.2)合金进行短期循环性能测试得到合金具有良好的循环稳定性,随着循环次数的增加合金的吸氢量变化缓慢,15次循环后的有效放氢量为2.38%。

关键词：钒基储氢合金吸放氢性能放氢平台压,循环性能

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展

引用

传感器与微系统 2014年第6期33卷 5-8,12页

作者：杨天天江南大学江苏无锡214122 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 详细信息

针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面能变化、位阻作用、静电力、氢键作用等与表面应力大小及方向之间的关系,总结了应力型微悬臂梁生化传感器的响应机理的研究。

关键词：微悬臂梁生化传感器表面应力响应机制

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

0．13μm抗辐射SOICMOS标准单元库建库流程研究与实现

引用

固体电子学研究与进展 2014年第3期34卷 273-279页

作者：吕灵娟刘汝萍林敏杨根庆邹世昌中国科学院上海微系统与信息技术研究所、信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(SOI)互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线,开发了全套0.13μm抗辐射SOI CMOS工艺的标准单元库。针对深亚微米SOI器件的辐射效应,在电路设计和版图设计上进行了加固,达到了比较好的抗辐射效果。对SOI标准单... 详细信息

基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(SOI)互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线,开发了全套0.13μm抗辐射SOI CMOS工艺的标准单元库。针对深亚微米SOI器件的辐射效应,在电路设计和版图设计上进行了加固,达到了比较好的抗辐射效果。对SOI标准单元库的建库流程的各方面做了比较深入的介绍,通过Hspice仿真验证单元库中加固D触发器(DFF)抗单粒子效应的能力并对不同加固方式的性能开销进行了对比。利用已建立的0.13μm抗辐射SOI CMOS标准单元库设计了测试芯片以验证库的可靠性。

关键词： 0 13μm抗辐射绝缘体上硅互补金属氧化物半导体标准单元库建库流程测试芯片

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

离子注入剥离法制备绝缘体上应变硅及其表征

引用

半导体技术 2014年第7期39卷 522-526+558页

作者：陆子同母志强薛忠营刘林杰陈达狄增峰张苗中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

基于弛豫锗硅衬底上生长双轴应变硅技术、离子注入工艺以及选择性腐蚀方法,制备了8英寸(1英寸=2.54 cm)双轴张应变的绝缘体上应变硅(sSOI)材料。利用喇曼光谱分析、缺陷优先腐蚀以及透射电子显微镜(TEM)等方法表征了sSOI材料的应变度、... 详细信息

基于弛豫锗硅衬底上生长双轴应变硅技术、离子注入工艺以及选择性腐蚀方法,制备了8英寸(1英寸=2.54 cm)双轴张应变的绝缘体上应变硅(sSOI)材料。利用喇曼光谱分析、缺陷优先腐蚀以及透射电子显微镜(TEM)等方法表征了sSOI材料的应变度、缺陷密度以及晶体质量;制备了基于sSOI材料的n型金属-氧化层-半导体场效晶体管(n-MOSFET)以表征其电学性能,同时在相同工艺下制备了基于SOI材料的n-MOSFET器件作对比。结果表明,制备的sSOI材料顶层应变硅薄膜的应变为1.01%,并且在800℃热处理后仍能保持;应变硅薄膜厚度为18 nm,缺陷密度为4.0×104cm-2,具有较高的晶体质量;制备的sSOI n-MOSFET器件的开关电流比(Ion/Ioff)达到108,亚阈值斜率为69.31 mV/dec,相比SOI n-MOSFET,其驱动电流提高了10倍。

关键词：离子剥离绝缘体上应变硅 n-MOSFET 器件电学性能电子迁移率

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：