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第十届全国分子束外延学术会议

作者：曹远迎张永刚顾溢陈星佑周立李好斯白音中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050

波长3μm左右的半导体激光器在分子光谱学,气体检测和医学诊断方面有许多重要的应用.对于该波段的激光器,通常是GaSb基结构的激光器.然而,InP基无锑结构的激光器与GaSb基结构的激光器相比有其自身优势,如衬底更便宜,工艺更成熟,导热性更... 详细信息

波长3μm左右的半导体激光器在分子光谱学,气体检测和医学诊断方面有许多重要的应用.对于该波段的激光器,通常是GaSb基结构的激光器.然而,InP基无锑结构的激光器与GaSb基结构的激光器相比有其自身优势,如衬底更便宜,工艺更成熟,导热性更好.在之前的工作中,本文描述了在InP基InAlAs异变缓冲层复合衬底上生长InAs/In0.53Ga0.47As量子阱,该量子阱室温光致发光波长达3.05μm.本文阐述了在InP基InxAl1-xAs数字递变缓冲层上生长InAs/In0.6Ga0.4As量子阱激光器.77K时,该激光器实现激射波长2.7μm,对应的阈值电流密度为145 A/cm2.在400 mA的连续注入电流下,激射功率超过5 mW.

关键词：量子阱激光器磷化铟基材料制造工艺结构分析外延材料

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无屏蔽环境下多通道SQUID极低场MRI研究

无屏蔽环境下多通道SQUID极低场MRI研究

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：邱隆清刘超董慧常宝林谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

在无屏蔽实验室环境中,我们搭建了一套基于低温超导量子干涉器件(SQUID)的4通道二阶梯度计系统用于极低场核磁共振及其成像(ULF-NMR/MRI)研究.为了提高测量的信噪比,采用了一对软铁屏蔽的永磁体作为预极化场,磁体中心磁场达0.65 T;为了...

在无屏蔽实验室环境中,我们搭建了一套基于低温超导量子干涉器件(SQUID)的4通道二阶梯度计系统用于极低场核磁共振及其成像(ULF-NMR/MRI)研究.为了提高测量的信噪比,采用了一对软铁屏蔽的永磁体作为预极化场,磁体中心磁场达0.65 T;为了精确快速地在永磁体和SQUID探测器之间传输样品,我们采用了一套电动执行器,,在传送距离为1m的情况下,传输时间可在300ms以内.

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多个Josephson结及SQUID器件性能测试系统与实验验证

多个Josephson结及SQUID器件性能测试系统与实验验证

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：陈桦张国峰邱阳徐小峰王永良孔祥燕中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 20050

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高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究

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物理学报 2012年第3期61卷 510-516页

作者：王文荣。周玉修李铁王跃林谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

石墨烯因其奇特的能带结构和优异的物理性能而成为近年来研究的热点,但是目前单层石墨烯的质量与尺寸制约了其实际应用的发展.本文采用常压化学气相沉积(CVD)方法,基于铜箔衬底,利用甲烷作为碳源制备了高质量大面积的单层与多层石墨烯.... 详细信息

石墨烯因其奇特的能带结构和优异的物理性能而成为近年来研究的热点,但是目前单层石墨烯的质量与尺寸制约了其实际应用的发展.本文采用常压化学气相沉积(CVD)方法,基于铜箔衬底,利用甲烷作为碳源制备了高质量大面积的单层与多层石墨烯.研究发现:高温度、稀薄的甲烷浓度、较短的生长时间以及合适的气体流速是制备高质量、大面积石墨烯的关键.Raman光谱、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等表征结果表明:制备的石墨烯主要为单层,仅铜箔晶界处有少量多层石墨烯.电学测试表明CVD制备的石墨烯在低温时呈现出较明显的类半导体特性;薄膜电阻随外界磁场的增大而减小.

关键词：石墨烯化学气相沉积 Raman光谱电学性能

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超导纳米线单光子探测抖动分析

超导纳米线单光子探测抖动分析

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：尤立星中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 中国科学院上海超导中心上海 200050

超导纳米线单光子探测(SNSPD)技术在过去10年间已经发展成为超导电子学的一个重要应用领域,其主要性能指标已经明显超越传统的半导体探测器件.本报告将介绍上海微系统所在SNSPD领域的研究进展.主要包括SNSPD器件研制,器件的性能表征以...

超导纳米线单光子探测(SNSPD)技术在过去10年间已经发展成为超导电子学的一个重要应用领域,其主要性能指标已经明显超越传统的半导体探测器件.本报告将介绍上海微系统所在SNSPD领域的研究进展.主要包括SNSPD器件研制,器件的性能表征以及系统集成应用(量子通信、测距及成像等).重点探讨SNSPD器件和系统的抖动起源,分析了信号信噪比对系统抖动的影响.

关键词：

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张应变对Ge迁移率的改善

张应变对Ge迁移率的改善

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第十届全国分子束外延学术会议

作者：王凯龚谦周海飞康传振严进一柳庆博王庶民中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 曲阜师范大学物理工程学院曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 Department of Microtechnology Chalmers University of Techn

随着集成电路技术步入纳米级,一系列由于沟道微尺寸而引发的效应将影响晶体管性能.迁移率退化是其中最为严重的效应之一.本论文工作讨论了在InAIP虚拟衬底上生长张应变Ge，通过改变In组分获得了不同张应变Ge，并对张应变对Ge迁移率的影... 详细信息

随着集成电路技术步入纳米级,一系列由于沟道微尺寸而引发的效应将影响晶体管性能.迁移率退化是其中最为严重的效应之一.本论文工作讨论了在InAIP虚拟衬底上生长张应变Ge，通过改变In组分获得了不同张应变Ge，并对张应变对Ge迁移率的影响进行了研究。本文中所有样品均在V90气态源分子束外延设备上进行材料生长，其中As和P由AsH3和PH:经1000℃高温裂解获得，其束流大小由压力控制;In,Al,Ga都使用固态源，束流大小由温度进行精确控制。测试结果表明，随着InAIP中In组分的增大，Ge的张应变量随之增大，表明在InAIP虚拟衬底上生长Ge可以对其张应变量进行很好地控制;原子力显微镜测试结果表明即使Ge的张应变量达到2.0％，仍然能够保持二维生长和高质量的表面;霍尔测试结果表明Ge迁移率随着张应变量的增大而增大，显示出其在未来集成电路应用的良好前景。

关键词：集成电路半导体技术锗材料迁移率张应变量分子束外延

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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性

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光学精密工程 2012年第8期20卷 1772-1781页

作者：翟雷应徐静钟少龙吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039

为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 详细信息

为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。

关键词：微机电系统(MEMS) 光相位调制器无交叠垂直梳齿驱动器平动微镜保角变换法静电驱动

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基于双纳米金探针杂交法检测HBV DNA

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高等学校化学学报 2012年第7期33卷 1420-1425页

作者：邢亚斯邹能利毛红菊徐霞葛玉卿金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 郑州大学药学院郑州450001

利用双纳米金探针结合基因芯片平台建立了一种检测乙肝病毒基因(HBV DNA)的新方法.根据HBVDNA的保守序列设计捕获探针和信号报告探针,通过一对互补的纳米金检测探针的双杂交法对HBV DNA进行信号放大,最后进行银染,达到对HBV DNA的可视... 详细信息

利用双纳米金探针结合基因芯片平台建立了一种检测乙肝病毒基因(HBV DNA)的新方法.根据HBVDNA的保守序列设计捕获探针和信号报告探针,通过一对互补的纳米金检测探针的双杂交法对HBV DNA进行信号放大,最后进行银染,达到对HBV DNA的可视化检测.该方法的灵敏度高,可检测10 fmol/L的HBV DNA,且能在1.5 h内完成检测.其具有的快速、高灵敏度及低成本等优势使其有望发展成为一种检测HBV DNA的新方法.

关键词：双纳米金探针杂交基因芯片银染乙肝病毒基因(HBV DNA)

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电压偏置下欠阻尼SQUID研究

电压偏置下欠阻尼SQUID研究

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：刘超张懿张树林孔祥燕谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 德国于利希研究中心 PGI-8 于利希 52425

在电压偏置的直读电路下,我们研究了不同结旁路电阻RJ的低温SQUID,发现大RJ可以提高SQUID的磁通-电压转换系数(e)V/(e)Φ,进而抑制前置放大器的噪声贡献.当RJ增大到一定值时,由于(e)V/(e)Φ已经足够高,可以用一个商业化的前置放大器(比...

在电压偏置的直读电路下,我们研究了不同结旁路电阻RJ的低温SQUID,发现大RJ可以提高SQUID的磁通-电压转换系数(e)V/(e)Φ,进而抑制前置放大器的噪声贡献.当RJ增大到一定值时,由于(e)V/(e)Φ已经足够高,可以用一个商业化的前置放大器(比如AD797)直接读出SQUID,而无须再借助任何附加的反馈电路比如APF、SBC等来抑制前置放大器的噪声.

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超导磁测量数据采集系统的信号量化与电磁兼容特性研究

超导磁测量数据采集系统的信号量化与电磁兼容特性研究

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：伍俊荣亮亮常凯侍文王永良孔祥燕谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 Joint Research Laboratory on Superconductivity & Bioelectronics Collaboration between CAS-Shanghai & FZJ

由SQUID构建的超导磁传感器需要与高性能的数据采集模块相匹配,才能充分发挥磁测量系统中超导磁传感器的极高灵敏度优势,其中量化精度和电磁兼容是评估超导磁测量数据采集系统性能的关键指标.本文基于新型的低温SBC(SQUID Bootstrap Cir...

由SQUID构建的超导磁传感器需要与高性能的数据采集模块相匹配,才能充分发挥磁测量系统中超导磁传感器的极高灵敏度优势,其中量化精度和电磁兼容是评估超导磁测量数据采集系统性能的关键指标.本文基于新型的低温SBC(SQUID Bootstrap Circuit)分别在超导屏蔽和磁屏蔽环境中对多种常见的数据采集模块的量化精度和电磁兼容进行了定性和定量分析.实验结果表明数据采集模块在无屏蔽环境下对SQUID的干扰以辐射为主,其中基于USB和PXI的数据采集设备在100Hz左右的低频段引入的干扰将SQUID本底噪声抬高2～3个数量级,而嵌入式数据采集设备Compact RIO对SQUID的干扰甚微.

关键词：

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