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  • 1,137 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感国家重点实验室"
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气态源分子束外延生长扩展波长InGaAs探测器性能分析(英文)
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红外与毫米波学报 2006年 第4期25卷 241-245页
作者: 郝国强 张永刚 顾溢 李爱珍 朱诚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
从理论与实验两方面对截止波长为1.7μm(x=0.53),1.9μm(x=0.6)和2.2μm(x=0.7)p in InxGa1-xAs探测器性能进行了研究.对探测器暗电流的研究结果表明,扩展波长In0.6Ga0.4As,In0.7Ga0.3As探测器在反向偏置低压区,欧姆电流占据主导地位;... 详细信息
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短波红外InGaAs/InP光伏探测器系列的研制
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红外与毫米波学报 2006年 第1期25卷 6-9页
作者: 张永刚 顾溢 朱诚 郝国强 李爱珍 刘天东 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用气态源分子束外延方法及应用有源区同质结构及较薄的组分渐变InxGa1-xAs缓冲层,研制了波长扩展的InGaAs/InP光伏探测器系列,其温下的截止波长分别约为1.9μm,2.2μm.和2.5μm.对此探测器系列在较宽温度范围内的性能进行了细致表征... 详细信息
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全息光刻和二次显影法制备柱形二维光子晶体(英文)
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红外与毫米波学报 2014年 第1期33卷 45-49页
作者: 曹远迎 张永刚 李耀耀 顾溢 李爱珍 李好斯白音 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用全息光刻和二次显影的方法制备了柱形二维光子晶体.在此过程中,二维点状的周期结构首先在正性光刻胶上直接形成,然后经由Si3N4硬掩模转移到衬底材料上.利用二次显影的方法,曝光强度最强和曝光强度中等区域的光刻胶能够被同时充分显... 详细信息
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InAs/GaAs表面量子点的压电调制反射光谱研究
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物理学报 2006年 第9期55卷 4934-4939页
作者: 余晨辉 王茺 龚谦 张波 陆卫 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室上海200083 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
运用压电调制反射光谱(PzR)方法测量了在以GaAs(311)B为衬底的In0.35Ga0.65As模板上生长的InAs表面量子点结构的反射谱.在77K温度下,观察到了来自样品各个组成结构(包括表面量子点本身、被覆盖层覆盖的量子点、In0.35Ga0.65As模板以及G... 详细信息
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基于纳米金复合探针-蛋白芯片检测心肌损伤标志物
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高等学校化学学报 2015年 第9期36卷 1687-1693页
作者: 黄丽君 张丽华 毛红菊 王萍 蒋友旭 李盼盼 金庆辉 赵建龙 郑州大学第二附属医院 郑州450014 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
运用纳米金复合探针结合蛋白芯片,建立了一种检测心肌损伤标志物的新方法.构建了2种纳米金探针:标记有检测抗体和DNA探针1的检测探针和标记有DNA探针2(与DNA探针1的碱基互补配对)的信号探针.当目的抗原存在时,检测探针经检测抗体和抗原... 详细信息
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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
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光学精密工程 2011年 第1期19卷 97-102页
作者: 刘翔 皋华敏 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水... 详细信息
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一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感
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传感技术学报 2008年 第2期21卷 230-232页
作者: 徐玮鹤 林友玲 车录锋 李玉芳 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线... 详细信息
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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1705-1708页
作者: 赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原... 详细信息
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基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作
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传感技术学报 2008年 第2期21卷 280-283页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载... 详细信息
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多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制
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光学精密工程 2011年 第8期19卷 1816-1823页
作者: 李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多... 详细信息
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