检索结果-内蒙古大学图书馆

中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：许磊李铁高秀丽王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS技术低功耗微型加热器各向异性腐蚀

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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

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测试技术学报 2010年第5期24卷 377-380页

作者：高安然李铁刘翔焦继伟王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100049

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.

关键词：微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构

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石墨烯复合修饰电极的电化学应用

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化学传感器 2010年第4期30卷 9-13页

作者：陈志华葛玉卿金庆辉柳建设赵建龙东华大学环境科学与工程学院上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物... 详细信息

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物修饰后的复合电极对各种生物小分子的检测分析,同时对各种基于石墨烯材料的电化学传感器进行了简单介绍。展望了石墨烯修饰电极在生物检测与环境监测等方面的电化学应用前景。

关键词：石墨烯电化学生物检测传感器

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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：高安然李铁刘翔焦继伟王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

关键词：微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构

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高K栅介质材料的研究现状与前景

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材料导报 2010年第21期24卷 25-29页

作者：余涛吴雪梅诸葛兰剑葛水兵苏州大学物理系苏州215006 苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室苏州215006 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 苏州大学分析测试中心苏州215006

论述了45～32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性... 详细信息

论述了45～32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性以及电学特性,但与此同时也存在如何优化掺杂量、沟道载流子迁移率下降以及中间层引起的界面退化等难题。针对这些挑战,探讨了新型"堆垛结构"和引起载流子迁移率下降的物理机制,展望了高K材料在未来先进COMS器件中的应用。

关键词：高K栅介质 HfO2 Hf基高K栅介质材料 MOSFET器件

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CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

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中国光学学会2010年光学大会

作者：徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院研究生院

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结... 详细信息

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,本文设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。测试结果表明方形热电堆结构可以获得大的输出电压及响应率,圆形热电堆结构则可以获得快的响应和大的探测率。

关键词：微机械热电堆红外探测器自对准 CMOS兼容微机电系统

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InP基2—3μm波段量子阱研究

InP基2—3μm波段量子阱研究

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第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

作者：顾溢张永刚中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050

针对InP基2.3μm波段应变InGaAs量子阱结构,采用In0.53Ga0.47As/InaAs三角量子阱结构代替传统方势阱结构改善量子阱的应变情况,使得在相同应变量下量子阱的发光波长更长。利用气态源分子束外延生长In0.53Ga0.47As/InAs数字超晶格来等效... 详细信息

针对InP基2.3μm波段应变InGaAs量子阱结构,采用In0.53Ga0.47As/InaAs三角量子阱结构代替传统方势阱结构改善量子阱的应变情况,使得在相同应变量下量子阱的发光波长更长。利用气态源分子束外延生长In0.53Ga0.47As/InAs数字超晶格来等效构成三角量子阱结构,通过优化三角量子阱结构和生长条件参数,使样品在室温下光致发光波长大于2.4 μm,并采用数字超晶格生长垒层材料进一步改善了量子阱的发光特性。

关键词：应变量子阱 InP基发光特性

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连续工作7.7μm分布反馈量子级联激光器

连续工作7.7μm分布反馈量子级联激光器

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第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

作者：李耀耀李爱珍魏林张永刚李好斯白音中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050

本文报导了窄脊条、205K下连续工作的7.7μmInP基分布反馈量子级联激光器(DFB QCLs)。该60级InP基DFB QCL采用气态源分子束外延原子层技术生长,通过降低激光器脊条的宽度和采用电镀厚膜金属电极的方法改善激光器的散热特性,研制出波长为... 详细信息

本文报导了窄脊条、205K下连续工作的7.7μmInP基分布反馈量子级联激光器(DFB QCLs)。该60级InP基DFB QCL采用气态源分子束外延原子层技术生长,通过降低激光器脊条的宽度和采用电镀厚膜金属电极的方法改善激光器的散热特性,研制出波长为7.7μm腔面未镀膜的分布反馈晕子级联激光器,激光器裸管的连续工作温度最高达到205K,150K下的最高工作功率达到30mW,边模抑制比为30dB,阈值电流密度为420A/cm2(150K)和920A/cm2(205K)。

关键词：中红外分布反馈量子级联激光器

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超导纳米线单光子探测器件的制备

超导纳米线单光子探测器件的制备

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第十一届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会

作者：杨晓燕尤立星信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

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短波红外(1-3μm)波段光电探测器及其非通讯应用

短波红外(1-3μm)波段光电探测器及其非通讯应用

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第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

作者：张永刚顾溢李成王凯李好斯白音方祥中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050

本文概述了短波红外波段光电探测器在非通讯领域的一些主要应用,对涉及此波段的一些化合物半导体光电探测材料及其特点进行了综述,侧重介绍了波长延伸的InGaAs在此波段的应用和我们的重要研究结果。

关键词：短波红外光电探测器化合物半导体非通讯应用

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