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  • 428 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室"
428 条 记 录,以下是141-150 订阅
排序:
基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究
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传感技术学报 2009年 第10期22卷 1417-1421页
作者: 张灵霖 车录锋 李玉芳 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法——阶跃响应测试法,详细分析了其测试原理及测试结果,并与传统的静电激励扫频测试... 详细信息
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基于非接触电导检测的PCR液滴检测芯片的研究
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分析测试学报 2020年 第5期39卷 561-568页
作者: 廖承悦 彭伙 高则航 齐同 周洪波 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海科技大学 上海201210
数字PCR是继实时定量PCR之后新兴发展起来的一种绝对定量分析技术,广泛应用于疾病早期检测诊断和微生物检测分析等领域。然而,在数字PCR的微反应器检测环节,常规的光学检测方法需要复杂的光学设备,应用环境有限,成本高。因此研究了一种... 详细信息
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基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
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传感器与微系统 2014年 第5期33卷 59-61,65页
作者: 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM... 详细信息
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服务于IC产业的MEMS探卡
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微纳电子技术 2009年 第12期46卷 705-714页
作者: 程融 蒋珂玮 汪飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应... 详细信息
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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
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微纳电子技术 2010年 第6期47卷 350-356页
作者: 甘小华 刘民 于海涛 许鹏程 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满... 详细信息
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基于振动能量采集器的无源无线传感节点技术研究
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传感技术学报 2016年 第8期29卷 1260-1266页
作者: 李梦阳 董川 唐翘楚 徐大诚 李昕欣 苏州大学电子信息学院微纳传感技术研究中心 江苏苏州215100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
随着以MEMS技术为依托,结合压电效应的振动能量采集技术的日臻完善,如何利用振动能量采集器构成高效的无源无线传感节点成为近期研究热点,而能量采集器输出的电能储存控制和低功耗发射技术是实现该节点的难点。在设计出对储能电容电压... 详细信息
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一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法(英文)
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红外与毫米波学报 2017年 第1期36卷 15-19页
作者: 张亚光 庄新港 王绪泉 刘俊良 方家熊 邵秀梅 王丽丽 山东大学光学高等研究中心 山东济南250100 山东大学晶体材料国家重点实验室 山东济南250100 山东大学信息科学与工程学院 山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200083
新型短波红外单片集成光谱传感器(MCSS)是光谱传感物联网的核心感知部件.提出了一种MCSS的波长定标方法,根据相对光谱响应度和波长分配原则把相邻像素组成一个定标通道.分别采用MCSS和两款商用光谱仪测量标准物质的光谱.实验结果表明,... 详细信息
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压阻式高量程微加速度计的冲击校准
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传感技术 2003年 第11期22卷 78-80页
作者: 郇勇 张泰华 杨业敏 王钻开 陆德仁 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京100080 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室 上海200050
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情... 详细信息
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用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究
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中国科学(E辑) 2009年 第5期39卷 948-953页
作者: 金钦华 王跃林 李铁 李昕欣 许钫钫 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术国家实验室上海200050 中国科学院硅酸盐研究所 上海200050
透射电镜内的原位拉伸测试是研究纳米尺度的单晶硅材料的力学性质的一种很有发展前景的研究方法.开展了集成单晶硅纳米梁的微电子机械系统测试芯片的设计、制作,并完成了原位拉伸的测试实验.集成的微电子机械系统芯片由基于静电梳齿结... 详细信息
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台面型InP/InGaAs PIN光伏探测器的p-InP低阻欧姆接触
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红外与激光工程 2011年 第12期40卷 2309-2313页
作者: 魏鹏 朱耀明 邓洪海 唐恒敬 李雪 张永刚 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院研究生院 北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
研究了电子束蒸发淀积的非合金膜系Au/Pt/Ti/p-InP(2×1018cm-3)接触的物理特性,通过450℃、4 min的快速退火,获得了欧姆接触,其比接触电阻为7.3×10-5Wcm2。接触电极退火后,采用离子溅射法淀积加厚电极Cr/Au。利用俄歇电子能谱... 详细信息
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