检索结果-内蒙古大学图书馆

Journal of Semiconductors 2007年第10期28卷 1630-1635页

作者：段飞焦继伟王育才张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院

设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏... 详细信息

设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s.

关键词：微机械陀螺 x轴音叉式陀螺 “8悬臂梁-质量块”结构限制槽 (111)硅晶圆

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应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展

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传感器与微系统 2014年第6期33卷 5-8,12页

作者：杨天天江南大学江苏无锡214122 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 详细信息

针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面能变化、位阻作用、静电力、氢键作用等与表面应力大小及方向之间的关系,总结了应力型微悬臂梁生化传感器的响应机理的研究。

关键词：微悬臂梁生化传感器表面应力响应机制

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基于聚苯胺的pH电极及其在CO2检测中的应用研究

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传感技术学报 2013年第10期26卷 1468-1472页

作者：金妍瞿晓虎陈淼金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 CSIRO Process Science and Engineering Box 312Clayton southVictoria 3169Australia 中国科学院大学北京100049

研制了一种基于聚苯胺（ PANI）的石墨pH电极，并将其成功地应用于CO2的检测中。在苯胺和盐酸的混合液中采用循环伏安法实现苯胺在石墨电极上的电聚合。实验表明，此基于聚苯胺的石墨pH电极在pH 1~pH 12的范围内呈现出很好的响应：-63.8... 详细信息

研制了一种基于聚苯胺（ PANI）的石墨pH电极，并将其成功地应用于CO2的检测中。在苯胺和盐酸的混合液中采用循环伏安法实现苯胺在石墨电极上的电聚合。实验表明，此基于聚苯胺的石墨pH电极在pH 1~pH 12的范围内呈现出很好的响应：-63.80 mV/pH（T=23℃），-65.81 mV/pH（T=48℃）。根据Severinghaus原理，研究了此传感器在pH 4~pH 9内的pH响应情况，证明此聚苯胺修饰的石墨pH电极可被成功地应用于CO2的检测中，此CO2传感器在CO2浓度为0~1000 mbar的范围内，呈现很好的响应特性：S=42.25 mV/pCO2（mbar）=0.61 pH/pCO2（mbar），且线性度为0.9839。因此，所研制的基于PANI的石墨pH电极可应用于生物冶金中pH和CO2的检测中。

关键词： pH电极聚苯胺循环伏安法 CO2 检测生物冶金

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利用基因芯片快速检测多种临床常见致病菌及其耐药性基因

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中华传染病杂志 2006年第6期24卷 372-377页

作者：毛红菊林东昉徐晓刚张宏莲张婴元汪复赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 复旦大学附属华山医院抗生素研究所

目的快速、准确、灵敏地检测临床常见的致病菌及其耐药基因。方法采用基因芯片技术，利用细菌23S rRNA基因序列信息和某些耐药基因作为检测靶基因，设计针对不同菌属的寡核苷酸探针和耐药基因探针的基因芯片，聚合酶链反应（PCR）扩增... 详细信息

目的快速、准确、灵敏地检测临床常见的致病菌及其耐药基因。方法采用基因芯片技术，利用细菌23S rRNA基因序列信息和某些耐药基因作为检测靶基因，设计针对不同菌属的寡核苷酸探针和耐药基因探针的基因芯片，聚合酶链反应（PCR）扩增并荧光标记目的DNA片段，通过杂交反应检测致病菌及其耐药基因。结果在理想状态下（检测试剂盒抽提的细菌基因组DNA）检测的结果与国内外文献报道的灵敏度相当（10^3～10^6细菌／ml），并在部分临床分离株、耐药标准菌株中进行验证，显示该方法有良好的特异性及可重复性。细菌种类能鉴别到种水平的有16种，能鉴别到属水平的有7类。覆盖了临床常见的多种病原菌，并且还可同期检测超广谱β内酰胺酶（ESBLs）基因耐药。结论DNA芯片检测具有快速、高特异性和高灵敏度的特点，是常规鉴定方法的一种有益补充。

关键词：寡核苷酸序列分析抗药性微生物基因细菌

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利用吸合电极实现亚微米电极间隙的可制造性设计

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传感器与微系统 2024年第1期43卷 103-106,110页

作者：郑超越孙珂钟朋王放杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

提出一种利用吸合电极结构的可制造性设计手段,实现亚微米电极间隙的方法。利用静电力拉动可动电极位移实现超出光刻和刻蚀能力的超窄间隙,使得敏感电极间隙由1.3μm减小至300nm,通过该方法获得的亚微米电极间隙对工艺离散性不敏感,电... 详细信息

提出一种利用吸合电极结构的可制造性设计手段,实现亚微米电极间隙的方法。利用静电力拉动可动电极位移实现超出光刻和刻蚀能力的超窄间隙,使得敏感电极间隙由1.3μm减小至300nm,通过该方法获得的亚微米电极间隙对工艺离散性不敏感,电极间隙的不一致性可以下降1个数量级。结合本文提出的I2BAR结构的可制造性设计方法,可以实现完整的微机电系统(MEMS)振荡器可制造性设计。

关键词：吸合电极结构可制造性设计亚微米电极间隙工艺离散性微机电系统振荡器

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基于膜显色结果判读的基因芯片快速检测丙型肝炎基因型方法的研究

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中华肝脏病杂志 2004年第5期12卷 301-303页

作者：张翼冠毛红菊顾士民许宝建赵建龙董子明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 郑州大学基础医学院上海传染病医院

目的研制一种新型基于膜显色的芯片,用于丙型肝炎病毒(HCV)及其基因分型的快速检测。方法根据HCV 5′端非编码区(5′NCR)设计特异型探针和引物,制作DNA芯片。实验组为60份HCVRNA阳性血清,对照组为20份健康人血清。获得目的片段后与芯... 详细信息

目的研制一种新型基于膜显色的芯片,用于丙型肝炎病毒(HCV)及其基因分型的快速检测。方法根据HCV 5′端非编码区(5′NCR)设计特异型探针和引物,制作DNA芯片。实验组为60份HCVRNA阳性血清,对照组为20份健康人血清。获得目的片段后与芯片杂交,通过尼龙膜上的显色信息判读基因型。同时以测序法进行双盲HCV基因分型对照检测。结果实验组HCV芯片检测结果均为阳性,对照组均为阴性。实验组基因分型检测结果与测序结果两者符合率为96.7％。结论用DNA芯片来检测HCV基因分型具有快速、高特异性和高灵敏度的特性,可以应用于HCV及其基因分型临床检测。

关键词：丙型肝炎病毒 HCV 基因型 DNA芯片 5’端非编码区 5’NCR 尼龙膜显色法干扰素

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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计

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机械强度 2003年第2期25卷 148-150,214页

作者：董健李昕欣王跃林张鲲宋朝晖浙江大学信息与电子工程系杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全... 详细信息

给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ;悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面 ,一方面有效地提高悬臂梁的过载保护能力 ,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼 ,使之接近临界阻尼 ,有效抑制自由振动模态 ,提高测量精度。

关键词：曲面过载保护冲击硅微机械加速度传感器压膜阻尼

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传感器Q值对加速度计量化噪声的影响

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传感器与微系统 2013年第11期32卷 40-43页

作者：李刚车录锋黎晓林王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039

高品质因数(Q)的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma-Delta(∑Δ)数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化... 详细信息

高品质因数(Q)的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma-Delta(∑Δ)数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化对数字量化噪声的影响,并且适当的Q值能降低数字接口电路基带内的量化噪声。设计和测试了基于三明治加速度计的PCB板级电路,测试结果表明:传感器的高Q特性会在基带引入一对共轭零点,抑制了基带内的量化噪声。

关键词：加速度计 Q值 ∑Δ 量化噪声

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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究

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电源技术 2006年第4期30卷 261-265,268页

作者：陈聪郑丹张熙贵杨辉夏保佳李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 上海应用技术学院化学工程系上海200235

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 详细信息

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193W·L-1,189.2、172.9、89.2W·kg-1。通过比较上述三种不同mPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素。用Nafion1135MEA组装的mPEMFC以50mA·cm-2进行累计260h长时间放电实验,电池电压保持在0.6V以上。

关键词：微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) 微机电系统(MEMS)技术单晶硅片

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三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计

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传感技术学报 2007年第8期20卷 1752-1756页

作者：董培涛周伟李昕欣张屯国王跃林封松林李圣怡国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计，量程范围为2000gn．为满足技术性能要求，加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构，从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性（包括高谐振频率及精确阻... 详细信息

研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计，量程范围为2000gn．为满足技术性能要求，加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构，从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性（包括高谐振频率及精确阻尼控制）．这种加速度计采用n型（100）普通硅片制作，主要工艺过程包括双面ICP深刻蚀和压阻集成工艺．振动台测试结果表明，加速度计的灵敏度为0．1lmV／gn／5V，谐振频率为31kHz，灵敏度士5％变化下平坦带宽大于5kHz．采用落杆测试法测试了加速度计的冲击响应及0～2000g。满量程范围内的非线性度．封装后的加速度计承受15000g。的冲击测试后没有受到损坏．

关键词：硅微机械加工技术压阻碰撞加速度计

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