检索结果-内蒙古大学图书馆

科技通讯（上海） 2004年第1期10卷 54-58页

作者：杨艺榕刘文平王跃林吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试... 详细信息

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。

关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀 MEMS 光开关微机械静电耦合分析有限元

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种超薄硅薄膜的制作方法

引用

功能材料与器件学报 2002年第4期8卷 388-390页

作者：李忻车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在... 详细信息

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。

关键词：超薄硅薄膜制作方法内应力形变电容式微差压传感器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

集成Ti/TiO_(2)敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器

引用

微纳电子技术 2022年第3期59卷 250-256,263页

作者：黄旭东张井合胡凯凯蒋晨星王振宇郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 北航金华北斗应用研究院浙江金华321002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏... 详细信息

常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏感电极。采用电化学氯化的方法对银电极进行阳极氯化,再将饱和KCl溶液(3 mol/L)注入参比槽制成Ag/AgCl参比电极。铂电阻丝作为测温元件用于对pH值进行校准,电阻灵敏度约为14.21Ω/℃。在室温下、溶液温度为(13±1)℃时,测试芯片在不同pH值(4~10)溶液中的电压。通过线性分析得到传感器的分辨率约为17.92 mV/pH。控制溶液温度不变,对芯片在不同pH值(4.00、6.00、8.00和10.00)溶液中的电压进行测试,并得到该温度下的传感器分辨率。在不同溶液温度下对传感器的分辨率进行测试。测得不同溶液温度(25、20、15和10℃)下传感器的分辨率分别为28.31、23.45、19.33和13.62 mV/pH。通过温度补偿公式对pH值进行校准,计算得到的理论pH值与实际测量值的偏差≤0.25。传感器芯片具有体积小且易于集成的特点,可应用于各种水环境的检测。

关键词： pH微纳传感器 Ti/TiO_(2)敏感电极液接式参比电极微纳集成制造电化学氧化/氯化

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

细胞外基质硬度和厚度对细胞生长的影响

引用

中国组织工程研究 2018年第5期22卷 815-820页

作者：李珊刘晓艺孙艳赵峰何静雯北京航空航天大学生物与医学工程学院北京市100191 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海市200050

背景:细胞外基质的力学性质会影响细胞的铺展、增殖和分化,对于组织工程和再生医学研究及应用均有极其重要的意义。目的:总结近年来有关基质力学性质对细胞生长的影响,并分析基质厚度和硬度之间是否存在关系,为体外构建功能性组织提供... 详细信息

背景:细胞外基质的力学性质会影响细胞的铺展、增殖和分化,对于组织工程和再生医学研究及应用均有极其重要的意义。目的:总结近年来有关基质力学性质对细胞生长的影响,并分析基质厚度和硬度之间是否存在关系,为体外构建功能性组织提供实验方法参考。方法:作者检索1988至2016年百链云数据库和PubMed数据库,选择与基质力学性质对细胞生长影响有关的文献,进行系统整理、总结归纳和分析。结果与结论:检索到文章254篇,最终纳入43篇。通过总结及分析发现黏附在基质上的细胞结构和功能与其所处的外环境有很大的关系。体外模拟实验表明基质硬度的增大会使得细胞的形态发生变化,铺展面积增大,增殖水平提高,同样也会对细胞的分化有影响。当基质厚度在一定范围内时,细胞可以感知到基质厚度的变化。当基质厚度超过一定范围,细胞则感知不到基质的厚度,影响细胞的主要是基质的硬度及其交联程度,此厚度范围从几微米到60μm不等,与接种细胞的水平尺寸有关。

关键词：基质硬度基质厚度细胞铺展细胞增殖细胞分化干细胞国家自然科学基金

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪

引用

仪表技术与传感器 2018年第3期 46-50页

作者：徐善轩任伟吴伟任艳波刘民彭欣李昕欣于海涛上海大学量子与分子结构国际中心物理系上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采... 详细信息

针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采用DFT(离散傅里叶变换)算法提取相位差,提高了运算的速度和计算相位差的精度。软件设计跟踪算法使其能够一直跟踪频率变化,使锁相更快,精度更高。结合实验室研制的微悬臂梁传感器制备了便携式二甲苯气体检测仪,并对浓度低至30 ppm的二甲苯气体进行了实测,验证了该仪器具有快速的响应速度和检测重复性。

关键词：气体检测仪 DSP 接口电路软件锁相环谐振式微悬臂梁频率跟踪

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作

传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作

引用

第一届长三角地区传感技术学术交流会

1 引言进入上世纪八十年代,随着微电子技术的飞速发展,使得起着人“大脑”作用的计算机功能越来越强,而起着人“五官”作用的传感器却没有大的进展,形成了聪明的“大脑”指挥笨拙的“五官”局面,传感器的矛盾显得越来越突出,因此,传感... 详细信息

1 引言进入上世纪八十年代,随着微电子技术的飞速发展,使得起着人“大脑”作用的计算机功能越来越强,而起着人“五官”作用的传感器却没有大的进展,形成了聪明的“大脑”指挥笨拙的“五官”局面,传感器的矛盾显得越来越突出,因此,传感器的研究受到了极大的重视。也就是在1981年正式举办了第一届国际传感器和执行器会议(Transducers’81),带来了传感器研究的热潮。当时,我国对传感器的研究也较为重视,从八十年代初开始有关部委立了传

关键词：传感器中国科学院上海微系统与信息技术研究所技术平台传感技术国家重点实验室

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC

新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC

引用

上海市化学化工学会2006年度学术年会

作者：郑丹张熙贵田娟夏保佳中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室哈尔滨工程大学中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

“自呼吸式”μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料电池。在微型化手段上,微电子机械(MEMS)技术由于其加工的微小性、精确的加工分辨率(小于1μm)、高度的... 详细信息

“自呼吸式”μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料电池。在微型化手段上,微电子机械(MEMS)技术由于其加工的微小性、精确的加工分辨率(小于1μm)、高度的加工重复性等优点,不但突破了燃料电池制作

关键词：微型质子交换膜燃料电池自呼吸阴极结构 MEMS技术

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

刺激因子提升梅奇酵母抑制苹果青霉病机制研究

引用

食品工业科技 2024年

作者：杜静婷蔺楠丛龙美胡俊月施俊凤葛玉卿张茜山西农业大学食品科学与工程学院山西省果蔬贮藏保鲜与加工技术创新中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

实验室筛选所得梅奇酵母（Metschnikowia rubicola， M. rubicola）能有效抑制苹果采后青霉病的发生，为提高梅奇酵母对苹果青霉病的抑制效果，筛选与梅奇酵母具有协同效应的刺激因子，通过对比添加刺激因子前后梅奇酵母生活量、扩展青... 详细信息

实验室筛选所得梅奇酵母（Metschnikowia rubicola， M. rubicola）能有效抑制苹果采后青霉病的发生，为提高梅奇酵母对苹果青霉病的抑制效果，筛选与梅奇酵母具有协同效应的刺激因子，通过对比添加刺激因子前后梅奇酵母生活量、扩展青霉（Penicillium expansum， P. eaxpansum）的孢子萌发和菌丝生长、苹果果肉中抗性相关酶活测定及对展青霉素（Patulin， PAT）的降解方面，探讨刺激因子对梅奇酵母抗青霉病的提升机制。研究结果表明，添加5 g/L的褐藻寡糖（alginate oligosaccharides， AOS）或4 μmol/L的植酸（Phytic acid， PA）能降低扩展青霉的孢子萌发和菌丝生长速率，其中添加AOS效果更加显著，抑制率分别提升21.67%和31.40%。添加AOS或PA还可增强M. rubicola在果实伤口和表面定殖能力，显著提高苹果中苯丙烷代谢途径相关酶（PPO、POD、PAL、CAD、C4H、4CL、CHI、GLU）活性和物质（木质素、总酚、类黄酮）含量；经AOS诱导还能增强酵母降解PAT的能力。综上，添加AOS或PA均可有效提升梅奇酵母对苹果青霉病的防治效果，添加AOS还能增强M. rubicola降解PAT的能力。

关键词：苹果青霉病梅奇酵母刺激因子

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

大型起重机械在线监测的无线传感器网络节点设计

引用

传感器与微系统 2015年第9期34卷 76-79页

作者：刘大洋赵伟杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行... 详细信息

从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行了现场实验,证明了节点能够很好地完成结构健康监测数据的采集与发送,能够满足在实际现场环境中大型起重机械结构健康监测对通信距离和可靠性以及节点功耗的要求。

关键词：起重机械结构健康监测无线传感器网络

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

面向大行程垂直运动的电磁驱动式MEMS微反射镜

引用

功能材料与器件学报 2023年第3期29卷 202-209页

作者：宋柯宇凌必赟陈栋徐巧吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在... 详细信息

本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在垂直方向位移。其中,电磁力由固定于镜体结构的永磁体和置于镜体结构周围的电磁驱动组件共同产生。本文通过MEMS工艺加工实现了该MEMS微反射镜的镜体结构部分,并通过机械装配将电磁驱动组件与镜体结构相对固定。机械结构仿真表明:该MEMS微反射镜的杠杆机构的扭转角度与驱动扭矩成正比。电磁仿真表明:基于电磁力的驱动扭矩与线圈电流正相关。实验结果表明:初步设计的镜体结构和电磁驱动组件构成的MEMS微反射镜可以在±70mA的驱动电流情况下实现4mm的垂直位移,并表现出较好的重复性。由于线圈匝数、驱动电路和杠杆结构都有很大的优化潜力,因此该MEMS微反射镜的垂直位移在理论上还可以进一步提高。

关键词： MEMS微镜电磁驱动放大杠杆弹性铰链

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：