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  • 428 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室"
428 条 记 录,以下是321-330 订阅
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静电计检测微位移的原理和实验
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上海计量测试 2008年 第2期35卷 8-11页
作者: 陆德仁 鲍海飞 刘民 传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移... 详细信息
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Pyrex7740玻璃深刻蚀研究
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微细加工技术 2007年 第1期 51-55页
作者: 明安杰 李铁 刘文平 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室
研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝... 详细信息
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基于专家PID控制和卡尔曼滤波的恒压进样系统
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电子设计工程 2018年 第18期26卷 54-58,63页
作者: 李路 齐同 郜晩蕾 王晓冬 贾春平 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
基于目前的压力控制和微小体积控制系统不能满足微流控芯片自动化进样的需求,本文提出一种新型的基于专家PID控制和卡尔曼滤波的恒压控制系统,通过精确控制压力实现精确控制进样体积。MATLAB仿真和实际测量表明,该系统的阶跃响应时间提... 详细信息
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参数自适应误差自校准的Sigma-Delta闭环微机械陀螺仪
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飞控与探测 2023年 第5期6卷 47-53页
作者: 周景川 熊瑞宏 陈方 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
提出并实现了一种用于MEMS谐振陀螺仪的新型自适应自校准多级噪声整形(MASH)微机电sigma-delta闭环测控电路方案。该技术针对高精度MEMS音叉陀螺仪的误差校准,开发了在线自适应误差校准的MASH2-0闭环测控电路,且无需使用任何额外的机械... 详细信息
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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米
先进体硅机械加工技术——从微米到纳米
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第一届长三角地区传感技术学术交流会
作者: 李昕欣 王跃林 李铁 杨恒 焦继伟 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻... 详细信息
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壳聚糖修饰氧化铁磁性纳米颗粒的制备和性能研究
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功能材料与器件学报 2012年 第2期18卷 147-152页
作者: 葛玉卿 张宇 顾宁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 东南大学生物科学与医学工程学院 生物电子学国家重点实验室江苏省生物材料与器件实验室南京210009
通过共沉淀法制备氧化铁磁性纳米颗粒,用壳聚糖对其表面进行修饰得到样品(CS@MNPs);表征其形貌结构、尺寸、表面基团、表面电荷、磁学性质和在不同介质中的稳定性等。实验结果表明,CS@MNPs具有典型的立方反尖晶石晶体结构;粒径为16.5nm... 详细信息
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气体探测用低功耗微型加热器研究
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测试技术学报 2010年 第5期24卷 410-413页
作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 上海200050
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息
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硅基MEMS振荡器的静电反馈技术研究
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电子设计工程 2016年 第21期24卷 156-159页
作者: 张磊 游卫龙 杨恒 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100040
硅基MEMS振荡器的频率温度系数高达-30 ppm/℃,是石英晶体振荡器的100倍以上,因此必须进行频率温度补偿。静电反馈是一种低功耗补偿技术,但是静电力小,对于频率较高的振荡器效果不理想。设计了一种具有高Q值的I2BAR结构的高频振荡器,通... 详细信息
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智能家居与电器用先进传感
智能家居与电器用先进传感器
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2019《家电科技》学术年会
作者: 于海涛 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
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微机械光读出热成像系统
微机械光读出热成像系统
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室(上海)
本文提出了一种新颖的非致冷热成像系统—光读出热成像系统,其焦平面阵列是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成的可动微镜阵列,红外热效应、双材料梁的双金属片效应以及光调制原理是该系统的工作基础.采用体硅MEMS技术,成功地制作出... 详细信息
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