检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2021年第1期40卷 74-77页

作者：胡凯凯尹加文麦裕良栾安博郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 广东省石油化工研究院技术开发中心广东广州510665 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgC... 详细信息

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

关键词：海洋温/盐/酸度微纳传感器微机电系统(MEMS)技术批量制造高精度网格化测量

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用于MEMS结构的光刻胶牺牲层接触平坦化技术

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功能材料与器件学报 2006年第2期12卷 135-138,154页

作者：邢向龙焦继伟 Mark Daffron 王跃林 Hyung Choi 中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室 Brewer Science Inc.RollaMo.65401USA Samsung Advanced Institute of Technology 416 Maetan-DongYeongtong-GuSuwonKyungki-Do 442-742Korea

实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化（contact planarization）技术，应用于MEMS结构制作。实验研究了温度与光刻胶流动性的关系，以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响，在优化条件下，牺... 详细信息

实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化（contact planarization）技术，应用于MEMS结构制作。实验研究了温度与光刻胶流动性的关系，以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响，在优化条件下，牺牲层的起伏台阶从2μm减小到20～40nm。与化学机械抛光技术相比，接触平坦化无明显凹陷（Dishing）效应，无衬底损伤，同时呈现出良好的局部和总体均匀性。

关键词： MEMS 接触平坦化化学机械抛光均匀性凹陷效应

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基于数字电路的二阶Σ-Δ调制微加速度计

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传感器与微系统 2015年第1期34卷 91-93页

作者：李洋黎晓林吴健周晓峰车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039

为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使... 详细信息

为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使用分立元件搭建了PCB板级电路,实现了采样频率为50 k Hz的二阶Σ-Δ闭环调制接口电路。测试结果表明:该加速度计灵敏度为1.4 V/gn,系统基带内闭环噪声密度小于400μgn/Hz1/2。

关键词：数字电路微加速度计 Σ-Δ 现场可编程门阵列

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基于Android的穿戴式脉搏波监测系统的设计与实现

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电子设计工程 2017年第4期25卷 46-49,55页

作者：张菡阁肖小玉黄善洛金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

脉搏波作为一种监护人类心血管健康的重要生理病理特征,能反映心血管功能参数的变化趋势。为了研制一款功能强大、经济便携的脉搏波监测系统,设计了一种基于MSP430单片机和Android的穿戴式脉搏波监测系统。通过实验测试,验证了系统具有... 详细信息

脉搏波作为一种监护人类心血管健康的重要生理病理特征,能反映心血管功能参数的变化趋势。为了研制一款功能强大、经济便携的脉搏波监测系统,设计了一种基于MSP430单片机和Android的穿戴式脉搏波监测系统。通过实验测试,验证了系统具有准确、灵敏、便携、经济和实时等优点,能较好地满足使用者的需求。

关键词：脉搏波穿戴式 Android MSP430单片机

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高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析

高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析

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第11届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：鲍海飞李昕欣宋朝辉张鲲刘民陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度... 详细信息

文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度自由落下与放置在地面上的金属砧发生相互碰撞,利用双通道放大器和计算机数据采集系统同时记录两路信号。实验中分别对6000g和60000g的压阻加速度传感器进行了研究,该方法具有较好的重复性和可靠性,并分析了测试偏差来源对横向响应的影响。

关键词：高量程压阻加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统

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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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比色法研究二硫苏糖醇诱导12 nm粒径纳米金的聚集作用

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分析试验室 2018年第5期37卷 509-513页

作者：陈俊俊费佳钰娄新徽赵建龙袁敏上海理工大学医疗器械与食品学院上海200093 首都师范大学化学系北京100048 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DT... 详细信息

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DTT可迅速桥联纳米金粒子使其聚集,致使溶液发生明显的颜色变化;降低纳米金溶液浓度可有效缓解DTT的聚集作用。为基于纳米金比色反应的检测方法研究提供了一定的理论基础,也对纳米金粒子和DTT在生物化学和分析化学领域的进一步应用具有指导意义。

关键词：纳米金二硫苏糖醇比色法生物传感器

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基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究

基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究

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中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：肖素艳车录锋李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

本文基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载... 详细信息

本文基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃.

关键词：温度传感器柔性衬底 MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻

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便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

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第十二届全国化学传感器学术会议

作者：葛玉卿许宝建景奉香金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信... 详细信息

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信息快速检测与传感,并基于物联网技术构成致病菌无线监控平台与微系统,使用免疫磁珠分离肠出血性大肠杆菌，经验证使用便携式微生物检测仪检测灵敏度可达到lOCFU/mL，检测时间不超过50min。本传感器和微系统技术在典型食品安全领域获得重要应用，为保证我国食品安全提供先进可靠的传感检测技术。

关键词：微生物检测仪微生物试剂盒制备工艺肠出血性大肠杆菌致病菌信息

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MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用

MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用

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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海 200050

利用多种传感器可以对地球进行透视探测，从而指导资源勘探。检波器研制是地震勘探的关键技术，其性能直接影响到地震数据采集的质量，已成为制约石油物探技术发展的主要瓶颈。基于MEMS加速度传感器的数字检波器在频带、动态范围和轴向...

利用多种传感器可以对地球进行透视探测，从而指导资源勘探。检波器研制是地震勘探的关键技术，其性能直接影响到地震数据采集的质量，已成为制约石油物探技术发展的主要瓶颈。基于MEMS加速度传感器的数字检波器在频带、动态范围和轴向抗干扰性等性能指标上优于传统检波器，将在高分辨率、高保真、高精度地震勘探方面实现重大突破。介绍了国外MEMS检波器的研究现状以及国内取得的重要进展。自主设计制造了基于硅硅四层键合的高性能加速度传感器，进行了多次野外地震勘探试验，取得了良好的应用效果。

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