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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室"
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一种新颖的光调制热成像器件设计
一种新颖的光调制热成像器件设计
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第八届敏感元件与传感器学术会议
作者: 冯飞 熊斌 焦继伟 王跃林 传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海)
基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F... 详细信息
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应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究
应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 刘玉菲 刘文平 李四华 吴亚明 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050
应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃条件下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃条件下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过5atmHe气保压2... 详细信息
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一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关
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功能材料与器件学报 2004年 第3期10卷 350-354页
作者: 黄蓉 焦继伟 王跃林 传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院研究生院 北京100039
提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000... 详细信息
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玻璃-PDMS薄膜-玻璃夹心微流控芯片制作
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传感器与微系统 2016年 第1期35卷 101-103页
作者: 王丽 李刚 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 重庆大学光电工程学院 重庆400044
聚二甲基硅氧烷(PDMS)是目前微流控芯片中应用的最广泛的基质材料,但基于PDMS材料的微流控芯片在应用中存在溶剂易挥发、难以进行较长时间检测分析的问题。针对这些问题,发展了一种简便高效的"玻璃—PDMS薄膜—玻璃"(G—P—G... 详细信息
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对分子作用超灵敏识别的微纳机电(MEMS/NEMS)传感
对分子作用超灵敏识别的微纳机电(MEMS/NEMS)传感器
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
作者: 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 上海 200050
在微纳米尺度的机电敏感结构表面进行功能分子层修饰,通过与目标靶分子特异性结合,在表面形成了表面能的变化,所产生的纳机械表面应力被在集成MEMS/NEMS结构上的机电敏感结构与元件转换成实时电信号输出。研究中首先对固体结构表面...
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ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响
ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响
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中国化学会第28届学术年会
作者: 朱德峰 贺庆国 付艳艳 华康毅 曹慧敏 程建功 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院研究生院
<正>微纳结构因大比表面积和光调制等特性被大量用作发光材料光波导[1]。亚波长纳米线作光波导时,其倏逝波传输特性可被用来提高表面荧光聚合物包层的激发能量场密度,继而增强荧光发射[2-3]。本工作研究
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石墨烯复合修饰电极的电化学应用
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化学传感 2010年 第4期30卷 9-13页
作者: 陈志华 葛玉卿 金庆辉 柳建设 赵建龙 东华大学环境科学与工程学院 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物... 详细信息
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塑性形变对单晶硅微结构的影响研究
塑性形变对单晶硅微结构的影响研究
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者: 蒋万里 姚邵康 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海 200050 中国科学院大学 北京100049
在MEMS器件高温工艺过程中,单晶硅微结构在载荷的作用下会产生塑性变形.本文以MEMS器件中常见的单晶硅圆膜微结构为研究对象,研究其发生塑性变形的临界条件以及发生塑性变形后对微结构应力分布的影响.基于Von Mises屈服准则,微结构发生... 详细信息
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微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能
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功能材料与器件学报 2003年 第2期9卷 133-138页
作者: 宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 陈刚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 香港理工大学应用物理系 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海200050
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对... 详细信息
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 刘玉菲 赵本刚 吴亚明 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学 杭州310027
本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息
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