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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室"
428 条 记 录,以下是371-380 订阅
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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测试技术学报 2010年 第5期24卷 377-380页
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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用于生物微流控荧光激发的片上集成光学模块研制
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物理化学进展 2024年 第3期13卷 375-384页
作者: 颜泽军 史清 张恩嘉 张凯欢 冯世伦 冯吉军 赵建龙 上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2020 X-Lab前沿实验室上海
片上集成光学模块具有集成小型化、低成本等优点,可在芯片尺度上实现“样品进、结果出”的即时定点检测。本文研制了一个工作波长为647 nm的荧光激发模块,集成聚合酶链式反应(PCR)生物微流控芯片和光电探测器,实现了片上荧光激发和病原... 详细信息
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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原... 详细信息
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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
高性感荧光传感材料的设计、性能及应用
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中国化学会第30届学术年会-第二十分会:光电功能器件
作者: 贺庆国 付艳艳 徐炜 范天驰 姚俊俊 高宜逊 程建功 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全,这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来,荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。通过聚集态活化、聚集态发... 详细信息
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CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
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第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
作者: 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 上海 200050 中国科学院研究生院北京 100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 上海 200050
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文设计并制造了两种2.2微机械热电堆红外探测器阵列,热电堆的热电偶材料采用N型多晶硅和铝,结构支撑膜为氧化硅-氮化硅-氧化硅的复... 详细信息
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集成式多参数水质监测光学传感器研制
集成式多参数水质监测光学传感器研制
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中国环境科学学会2016年学术年会
作者: 刘思乡 范卫华 赵辉 王帅超 金庆辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学 上海师范大学
水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求。紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点。本文介... 详细信息
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一种基于压力传感器的穿戴式呼吸监测系统设计
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传感器与微系统 2016年 第2期35卷 126-129页
作者: 肖小玉 黄善洛 陈淑靖 宋元林 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 复旦大学附属中山医院 上海200032
为指导慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者完成标准的呼吸操康复训练,设计了一种穿戴式呼吸监测系统,系统包括呼吸波传感器、数据采集电路板和手机APP软件。通过该系统,患者能实时观测自身呼吸波形和各项呼吸参数,通过比对标准呼吸曲线,根据同... 详细信息
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基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究
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传感器与微系统 2016年 第2期35卷 39-41,45页
作者: 杨力建 游卫龙 张磊 杨恒 李昕欣 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100040
MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实... 详细信息
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反向原子转移自由基法制备SiO2/PMMA复合粒子
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大连工业大学学报 2008年 第1期27卷 54-57页
作者: 郭爽 颜培力 马铁成 大连工业大学化工与材料学院 辽宁大连116034 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用反向原子转移自由基法,制备了SiO2/PMMA复合粒子。用硅烷偶联剂γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷对纳米SiO2进行表面改性,通过亲水亲油性实验,确定了硅烷偶联剂的最佳用量(质量分数为10%)。通过红外光谱和热重分析,证明聚甲基丙... 详细信息
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院 北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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