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  • 432 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
432 条 记 录,以下是261-270 订阅
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MEMS传感器性能提高相关技术研究
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仪表技术传感 2003年 第1期 8-9,25页
作者: 黄树森 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 复旦大学微电子学系 上海200433
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
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矩形微流道内三维水力聚焦效应理论计算
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微电子学 2013年 第5期43卷 698-703页
作者: 周林峰 曾静 彭艳 刘梅 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
在矩形微流道内二维水力聚焦计算的基础上,对三维对称和非对称水力聚焦进行了详细的理论计算。根据质量守恒定律和泊肃叶速度剖面等式建立数学方程组,详细推导被聚焦样品流的位置和尺寸,绘制它们与各流速比之间的关系曲线,对影响聚焦的... 详细信息
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非晶硅薄膜的红外热敏特性
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Journal of Semiconductors 2008年 第11期29卷 2265-2269页
作者: 马铁英 李铁 刘文平 王跃林 中国计量学院光学与电子科技分院 杭州310018 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
用PECVD技术制备了不同掺磷比的非晶硅薄膜,然后退火改性.红外透射光谱揭示了薄膜内部的键合模式随生长工艺条件变化的规律;测量和分析了非晶硅红外热吸收及电阻温度系数与薄膜结构之间的关系.综合考虑非晶硅电阻率和电阻温度系数两个因... 详细信息
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一维纳米材料组装技术研究进展
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材料导报 2013年 第5期27卷 6-13,28页
作者: 刘梅 周林峰 彭艳 吴智政 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加... 详细信息
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一种基于表面张力的硅通孔互连快速填充技术
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半导体技术 2016年 第9期41卷 700-705页
作者: 刘冰杰 顾杰斌 杨恒 上海大学机电工程与自动化学院 上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200000
硅通孔互连(TSV)技术是三维电子封装中主要的电互连技术之一。针对常用的电镀填充方式对于尺寸较大的TSV存在填充速度慢的问题,提出了一种基于表面张力的TSV快速填充技术。该技术利用毛细现象和液桥夹断现象通过喷嘴实现液态金属在TSV... 详细信息
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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制
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华东师范大学学报(自然科学版) 2004年 第1期 49-55页
作者: 郭方敏 朱守正 魏华征 郑莹 朱荣锦 忻佩胜 朱自强 赖宗声 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室 华东师范大学信息科学技术学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海技术物理所
MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布... 详细信息
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单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试
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Journal of Semiconductors 2007年 第9期28卷 1482-1487页
作者: 董培涛 李昕欣 张鲲 吴学忠 李圣怡 封松林 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度... 详细信息
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基于微阀流阻控制单液滴分离的研究
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传感器与微系统 2024年 第12期43卷 54-57页
作者: 兰宇伟 周扬 吴嫚 贾春平 赵建龙 传感技术国家重点实验室、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院大学 北京100049
目前的液滴分离方法难以克服流体中液滴随机分布的问题,导致难以实现稳定的单液滴分离,因此分离过程中存在较多的液滴损失。针对上述问题,通过对液滴进行密排减少其间距来消除这一影响,而后间距被增加来控制液滴的间隔。使用微阀将液滴... 详细信息
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肿瘤微血管芯片的制备及其应用
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功能材料与器件学报 2011年 第5期17卷 505-512页
作者: 翟万银 吴蕾 贾春平 邵建波 徐元森 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200068 中国科学院研究生院 北京100049 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海200050
肿瘤血管结构不同于正常组织血管,由内皮细胞松散地围成不完整的管道,呈高通透性。为建立体外简便、有效、低廉的肿瘤血管模型,本研究采用微加工技术,制作了肿瘤血管微流控芯片。芯片包括24 mm长50μm宽40μm深的微管道和一侧的微腔体... 详细信息
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气敏材料表征的悬臂梁微称重温控系统设计
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仪表技术传感 2021年 第12期 81-86页
作者: 陆天海 费超 徐大诚 于海涛 苏州大学微纳传感技术研究中心 江苏苏州215006 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050
针对传统气敏材料表征实验中微悬臂梁称重装置存在温控系统体积大、能效比低及升降温速度慢等问题。文中设计了采用双层帕尔贴结构的微型温控腔体,拓宽了温度控制范围,减小了温控腔体体积。同时提出高精度自校准温度测量电路和模糊自适... 详细信息
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