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  • 432 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
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排序:
金属氧化物pH传感器的研究进展
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微纳电子技术 2023年 第2期60卷 184-194页
作者: 李曼曼 吕旖雯 居家奇 金妍 上海应用技术大学理学院 上海201418 中国科学院、上海微系统与信息技术研究所、传感技术联合国家重点实验室 上海200050
围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感... 详细信息
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基于金刚石量子色心的温度磁场同步测量技术
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微纳电子技术 2022年 第11期59卷 1226-1233,1241页
作者: 王曹 刘启慧 程建功 陈浩 武震宇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海大学微电子学院 上海200444 上海微技术工业研究院 上海201800
金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对... 详细信息
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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2156-2159页
作者: 董培涛 李昕欣 陈聪 夏保佳 王跃林 封松林 李圣怡 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073
针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定... 详细信息
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MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析
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电子元件与材料 2006年 第1期25卷 19-22,26页
作者: 杨尊先 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有... 详细信息
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细胞外基质蛋白模式对成肌细胞分化的影响
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中国生物医学工程学报 2019年 第1期38卷 70-76页
作者: 邱昌俊 浑婷婷 赵莹彤 詹悦维 赵峰 孙艳 北京航空航天大学生物与医学工程学院 生物力学与力生物学教育部重点实验室北京100191 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
成肌细胞分化机理至今尚不明确,为此主要研究细胞外基质蛋白模式对成肌细胞分化的影响。采用微接触印刷技术制备4种不同的纤维粘连蛋白微图案(平行组、随机组、垂直组、对照组)培养成肌细胞,用免疫荧光染色法分析7 d后各组成肌细胞的分... 详细信息
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新型侧壁绝缘体硅微机械工艺
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仪表技术传感 2005年 第1期 7-9页
作者: 程保罗 李昕欣 王跃林 焦继伟 车录锋 张鲲 戈肖鸿 宋朝晖 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能... 详细信息
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电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
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腐蚀科学与防护技术 2004年 第5期16卷 287-290页
作者: 黄卫东 王旭洪 王莉 盛玫 徐立强 Frank Stubhan 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海新代车辆技术有限公司 上海200050 上海新代车辆技术有限公司
测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽... 详细信息
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压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响
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传感器与微系统 2008年 第12期27卷 17-20,23页
作者: 杨尊先 李昕欣 于映 林丽华 陈国南 福州大学食品安全分析与检测教育部重点实验室 福建福州350002 福州大学电子科学与技术系 福建福州350108 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
采用有限元方法研究在不同压阻工作温度下压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态冲击性能的影响。结果表明:器件动态冲击响应是受迫振动与悬臂梁固有振动叠加的结果,且压阻灵敏度系数与工作温度成正比。当T〈20℃时,悬臂梁固有振动明显,... 详细信息
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A Generalized Reynolds' Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS
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Journal of Semiconductors 2002年 第12期23卷 1245-1248页
作者: 鲍敏杭 孙远程 杨恒 王跃林 复旦大学微电子学系专用电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室 上海200050
A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is *** perforated plate,the thickness and the dimensions of th... 详细信息
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半导体蓝光二极管的发光之路
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现代物理知识 2014年 第6期26卷 42-55页
作者: 鲍海飞 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
一、前言2014年10月7日,瑞典皇家科学院将诺贝尔物理奖授予了日本科学家赤崎勇(Isamu Akasaki),天野浩(Hiroshi Amano)和中村修二(Shuji Nakamura),表彰他们成功研制出一种有效的、环境友好的光源——蓝光发光二极管(LED,light-emitting... 详细信息
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